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公开(公告)号：CN119573638A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411708658.8
申请日：2024-11-27
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于齿轮波度的蜗杆砂轮磨齿误差溯源方法，利用齿轮测量中心测量齿面波度和单个齿距偏差，基于齿轮啮合原理合成齿轮全齿面波度曲线，并对该波度曲线进行傅里叶分析，并对频谱结果进行分析。包括：步骤1：基于齿轮测量中心的齿面波度获取；步骤2：齿轮全齿面波度曲线合成；步骤3：基于正弦拟合的齿轮波度傅里叶分析；步骤4：计算频谱；步骤5：异常阶次误差溯源；通过傅里叶分析对测得的齿轮误差进行频谱分析，结合加工数据对可能的误差来源进行识别和分类。随后，利用数据处理技术对加工过程中的关键因素进行深入分析，从而精准定位异常阶次误差的根本原因，并通过调整工艺参数、优化设备性能等手段，减少甚至消除这些误差。
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公开(公告)号：CN119573549A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411647355.X
申请日：2024-11-18
Applicant: 北京航天计量测试技术研究所
Abstract: 一种自适应光轴视轴一致性校正方法，包括：首先，标定相机坐标系和激光坐标系之间的角度，利用标准长直线导轨，将图像视轴与导轨轴线调平行，控制垂直导轨的平面靶在直线导轨上移动，在最近工作距和最远工作距位置拍摄图像，同时记录两个位置处的距离值，通过图像处理获取激光点在图像中的像素坐标，并根据相机成像模型，通过相机的焦距、像元尺寸参数计算两处光点在相机坐标系下的空间坐标，在相机坐标系下建立激光轴线的直线方程；然后，根据激光测距获得的距离、相机的实际焦距、像元尺寸，利用激光轴线直线方程，解算当前位置处激光光点偏离图像中心的像素坐标，通过以激光点像素坐标为中心对原始图像进行剪切显示，实现视轴的实时校正。
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公开(公告)号：CN119554958A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411670944.X
申请日：2024-11-21
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于光学平尺检测的非直线导轨拼接仪精度及空间位置标定方法，包括以下步骤：利用经纬仪自准直原理，使用直角棱镜将非直线导轨基准面引出，并完成非直线拼接仪Y轴滑块与非直线拼接仪Y轴基准面之间标定，确定非直线导轨最低基准点位置；使用光学平尺在非直线拼接仪本体上找正对准，读取显微镜头中观测的标记点位置；通过计算分析得到非直线拼接仪显微镜头工作点实际空间位置均方根值。本发明的标定方法基于光学平尺来检测拼接仪精度并标定空间位置不仅适用于直线运动，更解决了非直线拼接仪精度检测和空间位置标定问题，且标定检测操作方便、周期短，可在每次焦平面拼接前进行标定，有效提高仪器精度标定效率。
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公开(公告)号：CN118913174B
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202410954709.9
申请日：2024-07-16
Applicant: 枣庄恒嘉智能制造有限公司
Abstract: 本发明公开了一种工件加工用测量影像仪校准装置，属于测量影像仪校准装置技术领域。该工件加工用测量影像仪校准装置，包括放置在地面上的支撑座，以及与所述支撑座顶部后半段适配的影像测量仪本体，所述影像测量仪本体的上端下表面安装有视频十字线显示器。本发明通过电动伸缩杆一和电动伸缩杆二，分别设置在凹槽为围绕工作区域均匀分布，且各有四组，多方向的调整能力，通过精确控制电动伸缩杆的伸缩长度，可以实现对工作板或与之相连的部件在X、Y、Z轴的灵活调整，实现了对工作板或部件的多维度、高精度调整校准，同时提供了直观的视觉反馈和定位指导，还通过风琴防护布等保护措施增强了系统的可靠性和安全性。
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公开(公告)号：CN119413112A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202510007383.3
申请日：2025-01-03
Applicant: 天津市天锻压力机有限公司
Inventor： 宋秀燕 , 刘春朋 , 杜丽峰 , 董秀丽 , 刘盼中 , 崔明光 , 王宏伟 , 陈莉雅 , 米新征 , 别旭辉 , 崔鹏 , 王秋书 , 孙伟 , 宋卫杰 , 刘红俊 , 李晨 , 郝嘉楠 , 周正 , 杨莎 , 赵丹丹 , 张君宇 , 刘志军 , 刘俊杰 , 田峣 , 徐博文
Abstract: 本发明提供一种大型筒形结构件的自动测量校正方法及装置，属于高精度测量技术领域，包括大型筒形结构件表面形状的在线检测、校正过程中的精确送料和送料后的双向校正。本发明采用随动三点测量法，避免由于大型筒形结构件摆放位置偏差造成的测量误差，摆放位置误差不会影响测量精度，且本发明的在线检测装置结构小，可安装于双向校正装置中进行在线自动测量，同时提高了测量效率，减少了大型筒形结构件的搬运。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119022856B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202411495921.X
申请日：2024-10-25
Applicant: 河南交院工程技术集团有限公司 , 济南三越测试仪器有限公司
IPC: G01B21/02 , G06F18/2433 , G01B21/04
Abstract: 本申请涉及电数字数据处理技术领域，具体涉及一种二维位移传感器数据有效性检测方法及系统，该方法包括：获取结构物上任一测点在各采集时刻的二维位移数据、轴向力负载数据、水平力负载数据、竖直位移和水平位移；结合各采集时刻所在时间段内二维数据点的变化趋势、以及二维数据点分布的离散程度，确定各采集时刻所在时间段的竖直位移特征值；确定各采集时刻的第一位移异常值和第二位移异常值，并结合各采集时刻的二维位移数据的异常程度，得到各采集时刻的二维位移数据的离群修正值；对所有二维位移数据进行有效性检测。本申请旨在提高对二维位移数据检测的有效性，降低将异常的二维位移数据识别为正常数据的可能性。
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公开(公告)号：CN119394235A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202311132344.3
申请日：2023-09-04
Applicant: 芯恩(青岛)集成电路有限公司
IPC: G01B21/04 , G01B21/08 , H01L23/544 , H01L21/66
Abstract: 本发明公开了一种膜厚测量校准片及制作和监测方法，校准片制作方法包括：提供晶片；在所述晶片上定义多个校准区域；在各所述校准区域中形成数量相同的多个校准单元，使各所述校准单元由形成于所述晶片上的同质薄膜形成，并使每个所述校准区域中的各所述校准单元之间具有与所在处的所述薄膜厚度对应的梯度变化的表面高度。本发明可对膜厚测量设备精准校准，明显提高设备利用率，且能进行日常实时监控，因此能提高产品膜厚测量精度，确保了校准和测量时数据的高度准确性，同时节约了有关成本。
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公开(公告)号：CN119394143A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411572515.9
申请日：2024-11-06
Applicant: 南京中船绿洲机器有限公司
Inventor： 郭继平
Abstract: 本发明公开了一种齿圈检测及校正装置，包括：检测台、驱动组件、连接组件、检测组件和校正组件，检测台包括可拆卸连接的台面和基座，基座上设有安装腔，且基座底部设有多个与其固定连接的支撑腿，驱动组件包括驱动电机、驱动轴、驱动齿轮和安装板，安装板位于多个支撑腿中间位置，且其分别与多个支撑腿固定连接，驱动电机固定连接于安装板上，驱动齿轮位于安装腔中间位置，驱动轴一端与驱动电机连接，另一端穿过基座与驱动齿轮键连接，且驱动轴与基座轴承连接，连接组件与检测台活动连接，检测组件活动连接于台面上，所述校正组件与所述检测台相匹配。
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公开(公告)号：CN119347411A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411541546.8
申请日：2024-10-31
Applicant: 北京斯贝克科技有限责任公司
Abstract: 本发明提供一种仪表接头安装校准方法和系统，所述方法包括：获取机械手夹爪的标准坐标位置；机械手夹爪抓取仪表的表壳，并保持第一空间姿态将仪表的接头朝向传感器移动，直到感测到仪表的接头时停止移动，计算出机械手夹爪在第一空间姿态时的第一偏移向量；机械手夹爪调整至第二空间姿态，并将仪表的接头朝向传感器移动，直到传感器感测到仪表的接头时停止移动，计算出机械手夹爪在第二空间姿态时的第二偏移向量；基于第一偏移向量和第二偏移向量对机械手夹爪的安装坐标进行修正，以将仪表的接头准确插装至连接接口中。本发明的方法能够使机械手自适应仪表的尺寸进行精准接头安装。
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公开(公告)号：CN119340243A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202411498376.X
申请日：2024-10-24
Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司
Abstract: 本申请公开了一种测量装置及半导体工艺设备，属于测量技术领域。测量装置应用于半导体工艺腔室，半导体工艺腔室包括旋转机械手和沿旋转机械手的旋转轴的周向均匀设置的至少两个加工工位，每一加工工位均设有一个基座，测量装置包括旋转测量机构，旋转测量机构包括旋转板和第一测量组件，旋转板用于与旋转机械手连接，并用于随旋转机械手在各加工工位之间旋转；第一测量组件设于旋转板上，第一测量组件用于测量每个基座的中心的位置。该方案中，通过旋转机械手带动旋转测量机构在各个加工工位之间旋转，使对各个加工工位的基座的中心的位置进行测量，无需反复拆装测量装置，可简化测量操作和减小或消除安装误差，有利于提高测量精度和准确性。
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