公开(公告)号：CN118915235A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202410974430.7

申请日：2024-07-19

申请人： 哈尔滨工程大学

发明人： 党凡阳 ,  李玉峰 ,  王宴华 ,  孙希元 ,  朱瑶 ,  朱云龙 ,  苑勇贵

IPC分类号： G02B6/35 ,  G02B6/32 ,  G02B6/26 ,  G01B9/02 ,  G01B9/02015

摘要： 本发明专利涉及干涉测量技术领域，具体涉及一种含有预埋式参考面的光纤探头。包括导光光纤、内置光纤、玻璃套管、光学透镜、封装壳体、45°反射镜和密封件，玻璃套管设置在封装壳体内部前端，导光光纤和内置光纤分别同轴嵌入设置在玻璃套管的左右两侧，密封件设置于玻璃套管与导光光纤的连接处，45°反射镜设置在封装壳体内部后端，光学透镜设置在玻璃套管和45°反射镜之间。通过在光纤探头的玻璃套管内预埋一段光纤，在产生参考光的同时实现了参考光和测量光共光路设计，大幅降低了环境因素对测量的影响。此外，该方案在光纤探头前端封装了45°反射镜，使光束产生90°折转，实现光束在光纤探头侧面出射，有利于空间受限目标的内腔测量。

公开(公告)号：CN118913087A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202410957922.5

申请日：2024-07-17

申请人： 中山大学

发明人： 郭长磊 ,  龚学珍 ,  徐洁 ,  谭定银 ,  叶贤基 ,  段会宗

IPC分类号： G01B9/02015 ,  G01B9/02001

摘要： 本发明提供频移激光自反馈干涉仪及其频移方法，包括：泵浦源、耦合透镜、双色镜、频移‑谐振结构和分光元件；其中，所述泵浦源、耦合透镜、双色镜和频移‑谐振结构依次连接，所述频移‑谐振结构的出射端与分光元件连接，所述分光元件的透射光出射端与探测目标连接，所述分光元件的反射光出射端与光电探测器连接，所述光电探测器的输出端与信号分析仪的输入端连接，所述双色镜与频移‑谐振结构出射的双向信号光的第二方向光束的夹角处于第一阈值范围。通过永磁体或电激励螺线圈的简易磁场发生器进行频移量的调节，降低频移激光自反馈干涉仪的系统复杂性、使用成本以及功耗。

公开(公告)号：CN118746259A

公开(公告)日：2024-10-08

申请号：CN202410786003.6

申请日：2024-06-18

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 冯鹏 ,  李中梁 ,  王向朝

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B9/02055 ,  G01B9/02015

摘要： 一种双光纤点衍射面形测量仪，由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、第一理想波前产生单元、聚焦透镜一、第二理想波前产生单元、聚焦透镜二、分束镜、被测镜、成像透镜、探测器、数据处理单元组成。本发明的特点是测量精度高、干涉条纹密度可调节、不需要标准镜、干涉对比度可调节、相移单元在成像光路之外、可测不同反射率待测镜的优点。

公开(公告)号：CN118670278A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202410857389.5

申请日：2024-06-28

申请人： 南京航空航天大学 ,  南京航空航天大学苏州研究院

发明人： 张航瑛 ,  孟凯 ,  楼佩煌 ,  钱晓明 ,  武星

IPC分类号： G01B11/06 ,  G01B11/22 ,  G01B9/02015

摘要： 本发明公开一种基于宽光谱干涉的大深宽比过硅孔深度测量装置和方法，宽谱段光源发出的光经过光束整形单元整形后，通过分光调节单元分成两束，一束经由光强衰减装置、第一显微物镜组和参考镜单元的反射，返回分光调节单元；一束经由第二显微物镜组，照射到待测件表面，经由待测件界面反射，返回分光调节单元；返回的两束光再经过成像镜片组由成像相机接收；通过精密位移台使测量装置相对于待测件上下移动扫描，获得干涉强度随相对高度的变化信号，进而计算得到待测件表面的高度信息。采用本发明的技术方案，可以提高测量精度。

公开(公告)号：CN109990727B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN201910423601.6

申请日：2019-05-21

申请人： 中国计量大学

发明人： 沈常宇 ,  张崇 ,  刘姝仪

IPC分类号： G01B11/16 ,  G01B9/02015

摘要： 本发明公开了一种基于双芯光纤‑光子晶体光纤结构的应变传感器，由放大自发辐射光源，固定台，光纤传感头，移动台和光谱分析仪组成，所述光纤传感头是由双芯光纤和光子晶体光纤级联而成，一端熔接单模光纤通过固定台固定与放大自发辐射光源连接，另一端熔接单模光纤通过移动台固定和光谱分析仪连接形成光通路，通过观察光谱分析仪可得到随应变变化而移动的干涉光谱。该发明具有制作简单、体积小、灵敏度高、条纹可见度好等优点。

公开(公告)号：CN118328837A

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202410559480.9

申请日：2024-05-08

申请人： 深圳大学

发明人： 刘丽炜 ,  邓有为 ,  冯悦姝 ,  黄伟楠

IPC分类号： G01B9/02015 ,  G01B9/02 ,  G01B9/02055

摘要： 本发明提供了一种基于单光栅复用的共路相移干涉装置，包括：显微成像模块，所述显微成像模块对样本进行透射式照明；相位调制模块，所述相位调制模块包括非偏振立方体分束镜、朗奇光栅、衍射光束过滤组件和相位型空间光调制器，所述朗奇光栅将透射经过非偏振立方体分束镜的光束衍射为多个级次，经过衍射光束过滤组件后，零级衍射光束和一级衍射光束被相位型空间光调制器处理并返回朗奇光栅再次衍射产生多个级次；干涉成像模块，所述干涉成像模块接收经非偏振立方体分束镜反射的光束并生成干涉图像。本发明通过单光栅复用设计方式显著减少光学结构的长度及系统复杂度，并配合相位型空间光调制器简化滤波过程，避免相移误差，显著提高成像速度。

公开(公告)号：CN117553675B

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202311538445.0

申请日：2023-11-17

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 付海金 ,  苏晓博 ,  于亮 ,  胡鹏程 ,  刘熙正 ,  杨欣

IPC分类号： G01B9/02015 ,  G01B11/02

摘要： 基于一体式双偏振分光组件的外差激光干涉仪及测量方法，属于激光应用技术领域。本发明解决了现有的空间分离式外差激光干涉仪难以同时满足传感测头体积小、易于集成、热稳定性好及亚纳米级周期非线性误差需求的问题。技术要点：一体式双偏振分光组件的第一偏振分光棱镜和第二偏振分光棱镜并列设置，第一偏振分光棱镜上贴附有第一偏振片、第三偏振片、第一四分之一波片；第二偏振分光棱镜上贴附有第二偏振片、第四偏振片、第二四分之一波片；第一四分之一波片和第二四分之一波片的输出光路上目标反射镜，第三四分之一波片和第四四分之一波片的输出光路上设置有光电探测器。本发明设计装调更加灵活并降低了加工难度和加工误差。

公开(公告)号：CN117980689A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202280063946.5

申请日：2022-08-30

申请人： 莱斯穆勒激光技术有限责任公司

发明人： 埃克哈德·莱斯穆勒 ,  克里斯蒂安·特鲁肯布罗特

IPC分类号： G01B9/02015 ,  G01B9/02091

摘要： 本发明涉及一种用于加工系统(12；12a)的测量设备(10；10a)，该加工系统(12；12a)通过高能加工光束(16；16a)来加工工件(14；14a)，测量设备(10；10a)包括：光束生成单元(18；18a)，该光束生成单元(18；18a)被配置为生成测量光束(20；20a)和参考光束(22；22a)，该测量光束(20；20a)和参考光束(22；22a)能够引起干涉以进行诸如光学相干断层扫描之类的光学干涉测量；测量臂(24；24a)，该测量臂(24；24a)光学地连接到光束生成单元(18；18a)，并且在测量臂(24；24a)中，测量光束(20；20a)被光学地引导，使得后者可以被投射到工件(14；14a)上；参考臂(26；26a)，该参考臂(26；26a)光学地连接到光束生成单元(18；18a)，并且在参考臂(26；26a)中，参考光束(22；22a)被光学地引导；以及测量接口(28；28a)，通过测量接口(28；28a)，样本光束(20；20a)可被耦合到加工光束(16；16a)；其中测量设备(10；10a)包括基本模块(30；30a)和可连接到或连接到基本模块(30；30a)的可互换模块(32；32a)。可互换模块(32；32a)包括光束引导部分(48a)，该光束引导部分(48a)包括用于引导测量光束(20a)和/或参考光束(22a)的光学部件(50a)，并且被配置为形成测量臂(24；24a)和/或参考臂(26；26a)的中央部分(52；52a)。本发明还涉及一种具有测量设备(10；10a)和多个可互换模块(32，32'，32")的系统、一种加工系统(12；12a)以及一种用于调节测量设备(10；10a)的方法。

公开(公告)号：CN113834421B

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202111032064.6

申请日：2021-09-03

申请人： 南京理工大学

发明人： 马骏 ,  王念枫 ,  朱日宏

IPC分类号： G01B9/02015

摘要： 本发明公开了一种成像镜组及应用该成像镜组的干涉仪，所述成像镜组包括沿光轴从物侧至像侧依次设置的第一透镜、第二透镜和第三透镜，三面透镜的前后表面均为球面。应用该成像镜组的干涉仪，利用双远心成像的特点，使用分辨率板对干涉仪分辨率标定，同时使得干涉仪成像更清晰，相位求解更加精确。

公开(公告)号：CN117804346A

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202311694109.5

申请日：2023-12-11

申请人： 复旦大学

发明人： 贾波 ,  宋秋衡 ,  吴红艳

IPC分类号： G01B11/02 ,  G01B9/02001 ,  G01B9/02015

摘要： 本发明属于光纤测量技术领域，具体为一种光纤干涉绝对长度差测量系统。本发明系统包括：窄线宽激光器，3×3耦合器，两个光探测器，双通道数据采集卡，相位解调处理软件模块；此外还包括两个法拉第旋转镜，具体地组成构成迈克尔逊干涉仪或马赫‑曾德尔干涉仪；其测量原理是，激光器发出的光波被相位调制后，由3×3耦合器分成两束，经过两臂光纤后，再次汇合时将发生干涉现象，而两束光经过的光纤长度不一致时，即对应干涉相位差。通过解调干涉信号获得的相位差幅值，可以计算出两臂光纤长度差值。在测量光纤干涉系统长度差时，硬件上仅需要额外增加一个相位调制器即可实现厘米量级的高精度测量，在工程应用中具有广阔应用前景。