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    Gyromètre a capacités parasites reduites
    24.
    发明公开
    Gyromètre a capacités parasites reduites 有权
    Gyroskop mit reduzierterparasitärerKapazität

    公开(公告)号：EP2520900A1

    公开(公告)日：2012-11-07

    申请号：EP12165811.6

    申请日：2012-04-26

    申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

    发明人： Walther, Arnaud ,  Diem, Bernard ,  Robert, Philippe ,  Willemin, Jérôme

    IPC分类号： G01C19/5762

    CPC分类号： G01C19/5762 ,  G01C19/5712

    摘要： Gyromètre comportant un substrat et une masse inertielle (2) suspendue au dessus du substrat, la masse inertielle (2) comportant une partie d'excitation (6) et une partie de détection (8), des moyens de mise en mouvement de la partie d'excitation (6) dans au moins une direction (X) contenue dans le plan de ladite masse inertielle (2), et des moyens de détection capacitifs du mouvement de ladite partie de détection (8) en dehors du plan de ladite masse, lesdits moyens de détection capacitifs comportant au moins une électrode suspendue (16), disposée au-dessus de la partie de détection (8) qui est située à l'opposé du substrat de sorte à former un condensateur à capacité variable avec ladite partie de détection (8, 108), ladite électrode (16) étant maintenue au-dessus de ladite partie de détection (8) par au moins un pilier (22) traversant la masse inertielle (2).

    摘要翻译： 陀螺仪（G1）具有悬浮在基板上方的惯性质量块（2）。 质量体设置有激励部分和检测部分（8）。 位移装置沿着沿质量平面的方向使激发部分移位。 电容检测器检测检测部件在质量平面外的移动。 检测器具有面向基板的悬置检测电极（16），以便与检测部分形成可变电容器。 电极通过穿过质量块的柱（22）放置在检测部分上方。 还包括以下独立权利要求：（1）旋转测量系统（2）制造陀螺仪或测量系统的方法。

    MICROELECTROMECHANICAL GYROSCOPE WITH DETECTION OF ANGULAR VELOCITY ALONG A VERTICAL AXIS
    25.
    发明公开
    MICROELECTROMECHANICAL GYROSCOPE WITH DETECTION OF ANGULAR VELOCITY ALONG A VERTICAL AXIS 审中-公开

    公开(公告)号：EP4361560A1

    公开(公告)日：2024-05-01

    申请号：EP23202344.0

    申请日：2023-10-09

    申请人： STMicroelectronics S.r.l.

    发明人： CARULLI, Paola ,  FALORNI, Luca Giuseppe ,  FEDELI, Patrick ,  GUERINONI, Luca

    IPC分类号： G01C19/5762 ,  G01C19/5747

    CPC分类号： G01C19/5762 ,  G01C19/5747

    摘要： A microelectromechanical gyroscope (10) with detection along a vertical axis is provided with a detection structure (10) having a movable structure (12), suspended above a substrate (13) so as to perform, as a function of an angular velocity (Ωz) around the vertical axis a sense movement along a first horizontal axis (x). The movable structure has at least one drive mass (14) internally defining a window (16), elastically coupled to a rotor anchor (20'), at an anchoring region (A), through elastic anchoring elements (21); at least one bridge element (18), rigid and of a conductive material, cantilevered suspended and extending within the window along the first horizontal axis, elastically coupled to the drive mass; movable electrodes (23), carried integrally by the bridge element with extension along a second horizontal axis (y). The detection structure (10) also has stator electrodes (28, 29), arranged in the window and interdigitated with the movable electrodes, at a certain separation distance below the bridge element (18), which extends longitudinally above the same stator electrodes and the movable electrodes.

    COMPOSITE VIBRATORY IN-PLANE ACCELEROMETER
    26.
    发明公开
    COMPOSITE VIBRATORY IN-PLANE ACCELEROMETER 审中-公开

    公开(公告)号：EP3491395A1

    公开(公告)日：2019-06-05

    申请号：EP17749073.7

    申请日：2017-07-27

    申请人： Lumedyne Technologies Incorporated

    发明人： ANAC, Ozan ,  HUANG, Xiaojun

    IPC分类号： G01P15/097 ,  G01P15/125 ,  G01C19/5762 ,  G01P15/08

    摘要： Systems and methods are described herein for detecting and measuring inertial parameters, such as acceleration. In particular, the systems and methods relate to vibratory inertial sensors implementing time-domain sensing techniques. Within a composite mass sensor system, a sense mass may oscillate at a frequency different from its actuation frequency, allowing flexibility when integrating the sensor into drive systems without sacrificing sensitivity.