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31.发明公开
公开(公告)号：EP3648150A1
公开(公告)日：2020-05-06
申请号：EP18203938.8
申请日：2018-11-01
发明人： Birkner, Andreas
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/68 , B25J9/16 , H01L21/677
摘要： Verfahren zum Anlernen oder Kontrollieren eines Roboters zum Bewegen eines Wafers oder einer Maske, wobei zumindest eine Kamera verwendet wird, die die Bewegung des Roboters oder des Wafers oder der Maske aufnimmt. Das Verfahren wird insbesondere für das Teach-In eines Roboters mit einem Endeffektor zum Transportieren eines Wafers bzw. einer Maske verwendet.
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公开(公告)号：EP3597959A1
公开(公告)日：2020-01-22
申请号：EP18183879.8
申请日：2018-07-17
发明人： van Loon, Guido
摘要： Stationäres Schwingungsisolationssystem zur schwingungsisolierten Lagerung von Geräten zur Prozessierung von Halbleiterbauelementen, welches eine schwingungsisoliert gelagerte Last umfasst, welche auf Schwingungsisolatoren gelagert ist. Das Schwingungsisolationssystem umfasst dabei Dämpfer, wobei die Dämpfer ein magneto-rheologisches Fluid umfassen, über das ein Dämpfkörper, der mit der schwingungsisoliert gelagerten Last verbunden ist, gedämpft wird. Die Viskosität des magneto-rheologisches Fluids ist über einen bewegbaren Permanentmagneten veränderbar.
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公开(公告)号：EP3098654B1
公开(公告)日：2019-08-21
申请号：EP15169675.4
申请日：2015-05-28
发明人： Hartgers, Han , Riemann, Bernd
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公开(公告)号：EP3260733B1
公开(公告)日：2019-08-07
申请号：EP16175910.5
申请日：2016-06-23
发明人： Evers, Arndt , Scharf, Till
IPC分类号： F16F15/027
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35.发明授权
公开(公告)号：EP3260732B1
公开(公告)日：2019-03-27
申请号：EP16175909.7
申请日：2016-06-23
发明人： Evers, Arndt , Hofmann, Frank , Hartgers, Han , Scharf, Till
IPC分类号： F16F15/027
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36.发明公开
公开(公告)号：EP3319118A1
公开(公告)日：2018-05-09
申请号：EP17198116.0
申请日：2017-10-24
发明人： BIRKNER, Andreas , EVERS, Arndt , Schadt, Simon
IPC分类号： H01L21/677 , F16H19/04 , G03F7/20 , B66F17/00 , B66F7/00
CPC分类号： B66F7/00 , B66F17/00 , F16H19/04 , G03F7/70716 , G03F7/70816 , H01L21/677 , H01L21/67742
摘要： Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Prozessierung von Halbleiterbauelementen. Diese umfasst eine Hebeeinrichtung für einen Anlagenteil oder ein Anlagenmodul, welche seitlich neben oder unter dem Anlagenteil oder dem Anlagenmodul angebracht ist.
摘要翻译： 本发明涉及一种用于处理半导体器件的系统。 这包括用于设备部件或设备模块的提升设备，其侧向安装在设备部件或设备模块的旁边或下方。
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37.发明授权Integrierbare Magnetfeldkompensation für den Einsatz an Raster- und Transmissionselektronenmikroskopen 有权Integrierbare Magnetfeldkompensationfürden Einsatz an Raster- und Transmissionselektronenmikroskopen
公开(公告)号：EP2544214B1
公开(公告)日：2017-09-06
申请号：EP12004906.9
申请日：2012-07-02
发明人： Kropp, Peter A., Dr.
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/147
CPC分类号： H01J37/1475 , H01J37/09 , H01J37/1471 , H01J37/26
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公开(公告)号：EP2128700B1
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：EP09006796.8
申请日：2009-05-20
发明人： Heiland, Peter
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/709 , G03F7/70825 , G03F7/70833
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39.发明公开
公开(公告)号：EP3093879A1
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：EP15167537.8
申请日：2015-05-13
发明人： Birkner, Andreas
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68707 , H01L21/68 , H01L21/681
摘要： Die Erfindung betrifft einen Endeffector mit integriertem Prealigner, welcher vorzugsweise eine verschiebbare Zunge mit einem Drehteller umfasst.
摘要翻译： 本发明涉及一种具有集成的预对准器，其优选地包括可动舌与转台末端执行器。
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公开(公告)号：EP2706034B1
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：EP12183680.3
申请日：2012-09-10
发明人： Kropp, Dr. Peter , Sinn, Wolfram
IPC分类号： B66C13/06
CPC分类号： F16F7/1005 , B66C13/066 , G01N23/02 , G01V5/0016
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