摘要:
La présente invention concerne un résonateur muni d'un organe pesant (20) comprenant un carter (25) fixé à une lame élastique. L'organe pesant (20) comprend un ensemble massique (40) qui est mobile en translation dans ledit carter (25) selon une direction longitudinale (D1). Une vis sans fin (80) entraînée par un moyen d'entraînement (90) est engagée dans un écrou de coulissement dudit ensemble massique (40). L'ensemble massique (40) comporte deux masses (50) coulissant respectivement dans deux espaces cylindriques (31) du carter. Chaque masse (50) présente au moins deux moyens de pression (60) interposés entre cette masse (50) et le carter, chaque moyen de pression (60) comprenant une gorge ménagée dans une circonférence d'une masse (50), chaque moyen de pression (60) comprenant au moins un organe élastique disposé dans ladite gorge et une bague fendue plaquée contre le carter par ledit au moins un organe élastique du moyen de pression (60).
摘要:
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bearbeitungseinheit (7) für eine Werkzeugmaschine, mit einer Trägerkopfbasis (8) welche an deren Rückseite einen an Achsführungen (6) ankoppelbaren und längsverschiebbar Schlitten aufweist, wobei ein Spindelträgerkopf (10) an der Trägerkopfbasis (8) verschwenkbar gehalten ist, wobei der Spindelträgerkopf (10) eine Spindel (11) mit einer Werkzeugaufnahme (12) aufweist. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Bearbeitungseinheit (7) anzugeben, mit welcher die Präzision einer Werkzeugmaschine erhöht werden kann. Erfindungsgemäß ist die Trägerkopfbasis (8) mit einer Dämpfungseinheit (17) versehen. Gemäß eines nebengeordneten Aspektes betrifft die Erfindung eine Werkzeugmaschine, die die erfindungsgemäße Bearbeitungseinheit umfasst.
摘要:
Es wird eine Tilgeranordnung angegeben mit einer Befestigungsanordnung (9) und mehreren aktiven Tilgern (1a, 1b), von denen jeder eine Reaktionsmassenanordnung und eine Aktoreinrichtung, durch die die Reaktionsmassenanordnung entlang einer Bewegungsachse bewegbar ist, aufweist, wobei die Bewegungsachsen von mindestens zwei Tilgern (1a, 1b) voneinander abweichen. Man möchte eine derartige Tilgeranordnung möglichst vielseitig verwendbar machen. Hierzu ist vorgesehen, dass die Bewegungsachsen am Massenschwerpunkt der Befestigungsanordnung (9) vorbei gerichtet sind und für jede Richtung der Bewegungsachsen (1a, 1b) eine Sensoreinrichtung vorgesehen ist.
摘要:
The active/passive absorber for extended vibration and sound radiation control includes principally two layers. The first layer has a low stiffness per unit area which allows motion in the direction perpendicular to its main plane. The second layer is principally a mass layer. These two combined layers have a frequency of resonance close to one of the main structure, The dynamic behavior of the coupled system makes the active/passive absorber a passive absorber; however, the first layer can be electrically actuated to induce motion in the direction perpendicular to its main plane. This addition property induces and/or changes the motion of the mass layer and therefore improves the dynamic properties of the active/passive absorber system. The active/passive absorber can have multiple mass layers and multiple elastic layers stacked one on top of the other. In addition, the mass layers can be continuous or discretized, and have varying thicknesses and shapes for sections and/or segments in the mass layer.
摘要:
A lithographic apparatus comprises an illumination system configured to condition a radiation beam and a support constructed to support a patterning device. The lithographic apparatus further comprises a substrate table constructed to hold a substrate; and a projection system configured to project the patterned beam onto a target portion of the substrate. An active damping system is provided to dampen a vibration of at least part of the projection system. The active damping system comprises a combination of a sensor to measure a position quantity of the projection system and an actuator to exert a force on the projection system in dependency of a signal provided by the sensor. The active damping system is connected to a damping mass, the damping mass being connected to the projection system.