公开(公告)号：EP0280044A3

公开(公告)日：1991-10-23

申请号：EP88101007.8

申请日：1988-01-23

申请人： MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA

发明人： Nishimae, Junichi c/o MITSUBISHI DENKI K.K. ,  Yoshizawa, Kenji c/o MITSUBISHI DENKI K.K. ,  Taki, Masakazu c/o MITSUBISHI DENKI K.K. ,  Ueda, Yoshihioro c/o MITSUBISHI DENKI K.K. ,  Yanagi, Tadashi c/o MITSUBISHI DENKI K.K. ,  Iwata, Akihiko c/o MITSUBISHI DENKI K.K.

IPC分类号： H05H1/46 ,  H05H1/30 ,  H01S3/097 ,  H01S3/03 ,  H05K1/18

CPC分类号： H01J37/32192 ,  H01J37/32339 ,  H01S3/0315 ,  H01S3/0975 ,  H05H1/46

摘要： The invention relates to a plasma apparatus where plasma is generated utilizing microwave discharge and laser excitation is performed and plasma processing is performed. More specifically, in a plasma apparatus where microwave from a microwave oscillator (1) is transmitted through a microwave transmission path (2) to a microwave circuit (6), and plasma is generated by microwave discharge within the microwave circuit, a plasma generating medium for generating the plasma is filled in a space formed between the conductor wall to constitute a part of the microwave circuit and dielectrics installed opposite to the conductor wall, and the microwave circuit forms microwave mode having the electric field component orthogonal to the boundary between the dielectrics and the plasma.

公开(公告)号：EP0244474B1

公开(公告)日：1991-05-22

申请号：EP86907067.2

申请日：1986-10-28

申请人： Hughes Aircraft Company

发明人： BRASKI, Michael, T. ,  EVERETT, Dwight, H. ,  HAMACHER, John, C. ,  MUELLER, J., Samuel ,  ROBUSTO, Paul, F. ,  TILTON, Richard, A.

IPC分类号： H01S3/038

CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0975

摘要： An RF laser structure (10) which includes an elongated laser excitation cavity (27) and an electrode structure (20) for suppressing extraneous RF discharges outside of the laser cavity. The electrode structure includes an electrode (41) adjacent the elongated laser cavity (27) and extending along the laser cavity; a conductive structure (43, 45) adjacent and conductively coupled to the electrode (41) for shielding the electrode and for providing smooth conductive surfaces; and a dielectric filler (47) encapsulating the electrode and the conductive structure, and for controlling the electric field generated by the electrode structure so that extraneous discharges are suppressed. Also disclosed is a method for making a laser electrode structure which includes the steps of forming an electrode adjacent the elongated laser cavity, and encapsulating the electrode with a dielectric potting material.

公开(公告)号：EP0392485A1

公开(公告)日：1990-10-17

申请号：EP90106910.4

申请日：1990-04-11

申请人： CARL ZEISS JENA GmbH

发明人： Seunik, Horst, Dr. Ing. ,  Krüger, Hans. Dipl.-Phys. ,  Weber, Hubert, Dipl.-Phys.

IPC分类号： H01S3/03 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/036 ,  H01S3/07

CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/036 ,  H01S3/076 ,  H01S3/0975

摘要： Ein Gasentladungsraum 2, in den ü`ber einen Hohlleiter 1 Mikrowellen eingespeist werden, bildet ein Lasergehäuse 5 in der Form eines Hohlleiters mit Längssteg 11, wobei das Lasergehäuse 5 vorzugsweise so dimensioniert ist, daß seine kritische Wellenlängeλ k kleiner oder gleich ist der Wellenlängeλ o der Mikrowellenfrequenz.
Die Erfindung ist für CO₂-Laser vorteilhaft anwendbar.

摘要翻译： 通过波导管1向其提供微波的气体放电室2形成具有纵向腹板11的波导形式的激光器壳体5，激光器壳体5的尺寸优选使其临界波长λk小于 或等于微波频率的波长λo。 本发明可有利地用于CO2激光器。 ... ...

公开(公告)号：EP0355757A3

公开(公告)日：1990-05-09

申请号：EP89115336.3

申请日：1989-08-19

申请人： DEUTSCHE FORSCHUNGSANSTALT FÜR LUFT- UND RAUMFAHRT e.V.

发明人： Opower, Hans, Dr.

IPC分类号： H01S3/23 ,  H01S3/08 ,  H01S3/07 ,  H01S3/03

CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/076 ,  H01S3/08081

摘要： Um ein elektrisch angeregtes, diffusionsgekühltes Laser­system (10) mit zwei in geringem Abstand voneinander angeord­neten, einen optischen Wellenleiter (12) bildenden Wandflächen (14, 16), deren Breite ein Vielfaches ihres Abstandes beträgt und die einen strömungsfreien Entladungsraum (30) zwischen sich einschließen, und mit einem optisch instabilen Resonator (34), dessen Resonatorstrahlenverlauf zumindest einen Teil (30a) des Entladungsraums (30) durchsetzt und sich längs einer Resonator­achse (44) erstreckt, sowie eine zur Resonatorachse (44) transver­sale Ausdehnung bis zu mindestens einem aus dem Resonator (34) austretenden Laserstrahl aufweist, wobei die transversale Ausdehnung quer zu einer Längsrichtung des Wellenleiters (12) und ungefähr parallel zu den Wandflächen (14, 16) verläuft, derart zu verbessern, daß ohne Verlust der Strahlqualität beim austretenden Laserstrahl der Wellenleiter (12) möglichst groß­flächig ausgeführt werden kann, wird vorgeschlagen, daß dem Resonator (34) ein Laserverstärker (40) nachgeordnet ist, welcher mit seinem Verstärkerstrahlenverlauf einen weiteren Teil (30b) des Entladungsraums (30) durchsetzt.

公开(公告)号：EP0341259A1

公开(公告)日：1989-11-15

申请号：EP88901193.0

申请日：1987-12-17

申请人： ELECTRO-OPTICAL TECHNOLOGY, INC.

发明人： GURSKI, Thomas, R.

IPC分类号： H01S3

CPC分类号： H01S3/032 ,  H01S3/0315 ,  H01S3/041

摘要： Un laser à gaz (10) présente un orifice de décharge (14) défini par un tube de décharge en céramique extrudée à un seul orifice (12). Un tube externe (16) est placé par dessus le tube de décharge (12) de manière à définir un espace annulaire (18) entre les deux. Des capuchons (20, 26) sont placés aux deux extrémités des tubes (12, 16), et chaque capuchon (20, 26) est pourvu d'au moins un passage de transport de gas (64, 66) de sorte que l'orifice de décharge (14) et l'espace annulaire (18) communiquent. L'espace annulaire (18) est rempli de composants électriquement isolants et thermiquement conducteurs tels que des rondelles (44), des chicanes (36) et des granules de céramique (46). Lorsque le laser (10) fonctionne, l'espace annulaire (18) joue le rôle d'un chemin de retour de gas de sorte qu'une pression d'équilibre uniforme est maintenue dans l'orifice de décharge (14). Les composants (36, 44, 46) se trouvant dans l'espace annulaire (18) empêchent le passage de courant électrique dans l'espace annulaire de sorte que la totalité du courant en circulation se fait au travers de l'orifice de décharge (14) pour exciter le gaz se trouvant à l'intérieur. Les composants (36, 44, 46) se trouvant dans l'espace annulaire (18) constituent également un chemin thermiquement conducteur entre le tube de décharge (12) et le tube externe (16) de manière à diffuser et enlever la chaleur de l'orifice de décharge (14).

公开(公告)号：EP0276443A3

公开(公告)日：1989-03-29

申请号：EP87118520.3

申请日：1987-12-14

申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

发明人： Heynisch, Hinrich, Dr. rer. nat. ,  Hübner, Klemens, Dipl.-Ing. (FH) ,  Krüger, Hans, Dipl.-Phys. ,  Weber, Hubert, Dipl.-Phys.

IPC分类号： H01S3/041

CPC分类号： H01S3/041 ,  H01S3/0315

摘要： Ein Wellenleiter-Laser mit einem Entladungskanal 11 und mehr als einem Kühlkanal 12, in dem die verschiedenen Kanäle in Keramikteilen 1 bis 3 untergebracht sind, wird im Bezug auf seinen Wirkungsgrad verbessert und für höhere Leistungen ein­satzfähig gemacht, indem der Entladungskanal 11 und je ein Kühlkanal 12 in gesonderten Keramikprofilen 2 untergebracht werden, indem die Kühlkanäle 12 breiter sind als der Entladungs­kanal 11 und indem auf das den Entladungskanal 11 enthaltende Entladungsprofil, welches beispielsweise aus dem Kanalteil 1 und dem Abdeckteil 4 zusammengesetzt ist, beidseitig Kühlprofi­le 2, die die Kühlkanäle 12 enthalten, aufgelötet sind. Die Erfindung eignet sich für CO₂-Wellenleiter-Laser mit hohem Wirkungsgrad und hoher Leistung.

公开(公告)号：EP0305893A2

公开(公告)日：1989-03-08

申请号：EP88113843.2

申请日：1988-08-25

申请人： Deutsche Forschungsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V.

发明人： Opower, Hans, Dr.

IPC分类号： H01S3/03

CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08081 ,  H01S3/08095

摘要： Um einen elektrisch angeregten diffusionsgekühlten Hochleistungslaser (10) mit zwei in geringem Abstand voneinander angeordneten, einen optischen Wellen­leiter bildenden Wandflächen (16, 18), deren Breite ein Vielfaches ihres Abstandes beträgt und die einen strömungsfreien Entladungsraum zwischen sich ein­schließen, und mit einem optischen Resonator, dessen Resonatorspiegel (38, 44) an beiden Enden (22, 24) des Wellenleiters angeordnet sind, derart zu verbessern, daß ein gut fokussierbarer Laserstrahl entsteht, wird vorgeschlagen, daß der Resonator ein optisch instabiler Resonator (50) mit einem sich längs einer Resonatorachse (52) erstreckenden und eine zur Resonator­achse (52) transversale Ausdehnung (54) bis zu mindestens einem austretenden Laserstrahl (55) aufweisenden Strahlen­verlauf ist und daß die transversale Ausdehnung quer zu einer Längsrichtung (20) des Wellenleiters und ungefähr parallel zu den Wandflächen (16, 18) verläuft.

摘要翻译： 电兴奋扩散冷却的高功率激光器（10），布置有两个以小的距离彼此，光波导形成板（16，18）的宽度为它们的间隔的倍数，并且其封闭在它们之间的自由流动的放电空间;以及光学谐振腔， 波导的谐振镜（38，44）在两端（22,24）被布置成提高这样一种方式，良好的可聚焦激光束产生的，所以建议共振器为光学不稳定谐振器（50）具有纵向的谐振器 （52）延伸，并且，以所述谐振器轴线（52）的横向尺寸（54）到至少一个具有光学路径和横向尺寸横向于波导的纵向方向（20）和（近似平行于壁表面16出射的激光束（55） ，18）。

公开(公告)号：EP0098302B1

公开(公告)日：1988-12-14

申请号：EP83901029.5

申请日：1983-02-14

申请人： UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION

发明人： CHENAUSKY, Peter P. ,  MONGEON, Robert J. ,  LAUGHMANN, Lanny M. ,  DRINKWATER, Erroll H.

IPC分类号： H01S3/03

CPC分类号： H01S3/076 ,  H01S3/0315 ,  H01S3/081 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/2383

公开(公告)号：EP0283488A1

公开(公告)日：1988-09-28

申请号：EP87905973.0

申请日：1987-08-10

申请人： HUGHES AIRCRAFT COMPANY

发明人： HENDERSON, Alan, R.

IPC分类号： H01S ,  H01S3

CPC分类号： H01S3/0315

摘要： Un appareil laser à guides d'ondes à cavités multiples est formé d'une paire de blocs diélectriques contigus (70, 72) disposés face à face, dans les surfaces opposées desquels sont ménagées des paires de rainures de guides d'ondes d'accouplement (78, 80, 82, 84) ayant une électrode de séparation (92) disposée entre les blocs d'accouplement adjacents auxquels elle est scellée, de façon à séparer une paire de cavités de guides d'ondes d'une autre, formant ainsi quatre cavités de guides d'ondes étroitement espacées. Dans un autre mode de réalisation, la séparation (26) entre les deux blocs diélectriques (10, 12) est constituée par un matériau conducteur fin et des séparations diélectriques (36, 38) sont prévues entre des cavités de chaque paire dans un seul bloc diélectrique. Les surfaces internes (40, 42, 44, 47) de chaque cavité opposée à l'électrode commune (26) sont recouvertes d'un matériau électroconducteur et des connexions électriques appropriées (56, 58, 18) sont établies depuis les électrodes internes jusqu'à l'extérieur des blocs. Les deux blocs (10, 12) sont fixés l'un à l'autre par un composé de brasage et de scellement (18) disposés sur leurs surfaces et pouvant faire partie de la connexion électrique qui part des électrodes internes. Des miroirs communs aux quatre cavités sont montés aux extrémités (62, 64) des blocs et une énergie à haute fréquence est couplée aux électrodes internes pour l'excitation du gaz à effet laser à l'intérieur des cavités.

公开(公告)号：EP0085948B1

公开(公告)日：1985-12-04

申请号：EP83101001.2

申请日：1983-02-03

申请人： COMPAGNIE GENERALE D'ELECTRICITE Société anonyme dite:

发明人： Le Goff, Denis

IPC分类号： H01S3/03

CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/036