MIKROVENTIL MIT EINEM NORMALERWEISE GESCHLOSSENEN ZUSTAND
    44.
    发明公开
    MIKROVENTIL MIT EINEM NORMALERWEISE GESCHLOSSENEN ZUSTAND 有权
    与正常关闭状态下微型阀

    公开(公告)号:EP1320686A1

    公开(公告)日:2003-06-25

    申请号:EP01969770.5

    申请日:2001-09-25

    发明人: RICHTER, Martin

    IPC分类号: F15C5/00

    摘要: The invention relates to a micro valve normally in a closed position, comprising a membrane (80), an activating device (100) for controlling the deformation of the membrane (80) and a valve seal (180) which is deformed by the controllable deformation of the membrane (80). The valve seal (180) is situated at least partially opposite the membrane (80) and is arranged in a first position in the normally closed position of the valve, along a sealing lip (130) disposed between the valve seal (180) and the membrane. The sealing lip (130) is so arranged that an outlet of the valve, which is fluidly connected to an interrupted section of the sealing lip (130), is fluidically sealed in relation to an inlet channel (170) which boarders on the valve seal (180). The valve seal can also be deformed in a second position in order to enable a fluidic connection between the outlet (140) and the inlet channel (170) when the valve is in an open position.

    Mikromechanische Aktorstruktur und Mikroventil

    公开(公告)号:EP1008765A3

    公开(公告)日:2003-01-22

    申请号:EP99124326.2

    申请日:1999-12-06

    IPC分类号: F15C5/00

    摘要: Eine mikromechanische Aktorstruktur besitzt ein Wirkelement (20) und eine Trägerstruktur (24), wobei das Wirkelement durch eine Aufhängungseinrichtung (22) an der Trägerstruktur (24) angebracht ist. Die Aufhängungseinrichtung (22) umfaßt zumindest zwei Bereiche, die sich in unterschiedlichen Richtungen von dem Wirkelement (20) weg erstrecken und jeweils mit dem Wirkelement (20) und der Trägerstruktur (24) verbunden sind. Auf zumindest zwei derartigen Bereichen der Aufhängungseinrichtung (22) ist jeweils ein separates Aktorelement (30, 32) angeordnet, derart, daß das Wirkelement (20) durch Betätigen der Aktorelemente (30, 32) bewegbar ist. Die Aufhängungseinrichtung (22) besitzt eine Koppeleinrichtung (28), die mit dem Wirkelement (20) verbunden ist, wobei die Koppeleinrichtung (28) derart ausgebildet ist, daß bei einer Betätigung der Aktorelemente (30, 32) die Aufhängungseinrichtung (22) in Ihrer Erstrekkung zwischen dem Wirkelement (20) und der Trägerstruktur (24) verlängerbar ist. Bei einem Mikroventil ist das Wirkelement (20) durch einen Ventilstößel und die Trägerstruktur (24) durch einen Ventilgrundkörper mit einer Durchlaßöffnung (34) durch denselben gebildet.

    摘要翻译: 微型机械致动器在悬架系统(22)的至少两个部分上具有单独的致动器元件(30,32),以使气门挺杆(20)跳闸。 悬架系统(22)具有结合到气门挺杆(20)的联接器(28),使得当致动器(30,32)跳闸时,悬架(22)在气门挺杆(20)和 通过改变悬架(22)的角度来确定阀体承载结构(24)。

    Microfabricated elastomeric valve and pump systems
    48.
    发明公开
    Microfabricated elastomeric valve and pump systems 有权
    弹性微型泵或微型阀系统

    公开(公告)号:EP1195523A3

    公开(公告)日:2003-01-08

    申请号:EP01128819.8

    申请日:2000-06-27

    IPC分类号: F04B43/04 F15C5/00

    CPC分类号: F04B43/043 F15C5/00

    摘要: A method of fabricating an elastomeric structure, comprising: forming a first elastomeric layer on top of a first micromachined mold, the first micromachined mold having a first raised protrusion which forms a first recess extending along a bottom surface of the first elastomeric layer; forming a second elastomeric layer on top of a second micromachined mold, the second micromachined mold having a second raised protrusion which forms a second recess extending along a bottom surface of the second elastomeric layer; bonding the bottom surface of the second elastomeric layer onto a top surface of the first elastomeric layer such that a control channel forms in the second recess between the first and second elastomeric layers; and positioning the first elastomeric layer on top of a planar substrate such that a flow channel forms in the first recess between the first elastomeric layer and the planar substrate.