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公开(公告)号：EP0774652A2
公开(公告)日：1997-05-21
申请号：EP96308165.8
申请日：1996-11-12
申请人： HONEYWELL INC.
CPC分类号： G01L19/148 , G01L13/025 , G01L19/0038 , G01L19/0645 , G01L19/142
摘要： A pressure transmitter comprises a first housing having a first and second diaphragm for receiving a first and second process fluid under a first and second pressure, respectively. The first and second diaphragm is deflected in response to the first and second pressure of the process fluid. A second housing includes a printed wire board. A first and second capillary tube is included, the first capillary tube being operatively coupled to the first diaphragm and the second capillary tube being operatively coupled to the second diaphragm, each corresponding capillary tube having an internal fluid therein. A sensor package, having a sensor element, is mounted internally within the second housing, and is coupled to the first and second capillary tubes such that the sensor element provides a first signal which is coupled to electrical circuit components mounted on the printed wire board to output a signal representative of the differential pressure of the process fluid.
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公开(公告)号：EP0753728A2
公开(公告)日：1997-01-15
申请号：EP96105497.0
申请日：1996-04-04
IPC分类号： G01L13/06
CPC分类号： G01L13/025 , G01L9/0054 , G01L9/045 , G01L15/00
摘要： This is a semiconductor differential pressure measuring device comprising two measurement diaphragms and two detection sensors provided in a semiconductor substrate using micromachining techniques, and a computing circuit which computes the differences between these two sensor outputs:
for each of the two measurement diaphragms, the measuring pressure transmission communicating hole being provided respectively so that these two measurement diaphragms operate in opposite phases by the differential pressure; and
the above two sensors being provided on each relevant measurement diaphragm and detecting the displacement or strain of each measurement diaphragm generated by the differential pressure applied to each measurement diaphragm.
Detecting the differences in the displacement or strain of each of these two measurement diaphragms cancels the static pressure error and temperature error and, thus, offers a semiconductor differential pressure measuring device which is excellent in temperature and static pressure characteristics.
Further, the computing circuit can be configured simply by composing a required bridge circuit using at least one first sensor and one second sensor, each located on each of the two measurement diaphragms, leading to a reduction in manufacturing costs.-
公开(公告)号：EP0639761A1
公开(公告)日：1995-02-22
申请号：EP94109142.3
申请日：1994-06-15
发明人： Felix, Rudolf , Philippe, Renaud
CPC分类号： G01L9/0042 , G01L9/0072 , G01L9/0073 , G01L9/0075
摘要： L'invention concerne un capteur de pression différentielle de type capacitif comportant des moyens définissant une première chambre soumise à une première pression, des moyens définissant une deuxième chambre soumise à une deuxième pression, des moyens définissant une troisième chambre dite de référence, isolée desdites première et deuxième chambres par des membranes respectives et dans laquelle règne une pression dite pression de référence, le capteur comportant en outre deux condensateurs ayant chacun une paire d'électrodes, l'une des électrodes de chaque paire étant associée à l'une desdites membranes pour faire varier la capacité du condensateur sous l'action de la pression à laquelle sa membrane est soumise, caractérisé en ce que lesdites électrodes garnissent des portions de paroi de ladite troisième chambre et en ce que les autres électrodes de chacune desdites paires d'électrodes sont prévues sur la même face d'un substrat commun formant la base de la structure dudit capteur.
摘要翻译： 本发明涉及一种电容式差压传感器（换能器），包括限定经受第一压力的第一室的装置，限定经受第二压力的第二室的装置，以及限定第三所谓参考室 ，通过相应的膜片从所述第一和第二腔室隔离，并且其中以所谓的参考压力占优势，传感器还包括两个电容器，每个电容器具有一对电极（板），每对电极中的一个电极与 所述膜片中的一个用于在其隔膜受到的压力作用下改变电容器的电容，其特征在于，所述第三室的所述电极线壁部分和每个的另一个电极 所述电极对设置在形成所述传感器的结构的基底的公共基板的相同面上。
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54.发明公开
公开(公告)号：EP0506491A3
公开(公告)日：1993-08-11
申请号：EP92302799.9
申请日：1992-03-30
申请人： THE FOXBORO COMPANY
发明人： Fung, Clifford D. , Panagou, John G. , Chau, Kevin, H.-L. , Dahrooge, Gary A. , Harris, P. Rowe
CPC分类号： G01L9/0055 , G01L9/0042 , Y10T29/49103 , Y10T29/49812 , Y10T29/49996
摘要： An overpressure-protected, differential pressure sensor 37 is formed by depositing diaphragm material 24 over a cavity 23 formed and filled with sacrificial material 22 into a front surface of a substrate. The sacrificial material 22 is then removed to create a free diaphragm. The floor of the cavity 23 defines a first pressure stop to limit the deflection of the diaphragm in response to pressure applied to the top of the diaphragm. A port 33 is created to allow pressure to be applied to the bottom side of the diaphragm 24. An optional second pressure stop, which limits the deflection of the diaphragm in response to pressure applied to the bottom side of the diaphragm, is formed by bonding a cap 35 to standoffs 34 placed around the top of the diaphragm. The standoffs are spaced to allow pressure to be applied to the top of the diaphragm.
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公开(公告)号：EP0508517A3
公开(公告)日：1993-03-03
申请号：EP92200830.5
申请日：1992-03-23
IPC分类号： G01L13/06
CPC分类号： G01L9/125
摘要： Differenzdruckmeßgerät (10) mit einer flüssigkeitsgefüllten Einkammer-Differenzdruckmeßzelle (14) mit zwei Meßkondensatoren (30) und (31), deren Kapazitäten (C₁) und (C₂) sich mit einem zu erfassenden Differenzdruck (ΔP) gegensinnig, und mit der Temperatur und einem anstehenden Prozeßdruck (P S ) gleichsinnig ändern und ferner mit einer Auswerteschaltung (12) zur Umwandlung der Meßsignale und Berechnung des Differenzdruckes (ΔP) unter Berücksichtigung einer Temperaturkorrekturgröße, wobei an der Differenzdruckmeßzelle (14) ein zusätzlicher Sensor (13) zur Erfassung des Prozeßdruckes (P S ) angeordnet und mit der Auswerteschaltung (12) verbunden ist, welche eine Korrekturgröße daraus ableitet und zusammen mit der Temperaturkorrekturgröße und den Meßsignalen der Meßkondensatoren (30) und (31) ein vollständig fehlerkorrigiertes Differenzdrucksignal (ΔP) ausgangsseitig erzeugt.
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公开(公告)号：EP0524550A1
公开(公告)日：1993-01-27
申请号：EP92112193.5
申请日：1992-07-17
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L9/125
摘要： Der beschriebene Relativdrucksensor besteht aus einer Trägerplatte 31, an welcher beidseitig einerseits zur Bildung einer Meßkammer 30 und andererseits zur Bildung einer Referenzdruckkammer 40 elastisch verformbare Membranen 32 und 42 angebracht sind. Die Membranen sind im Randbereich über dichtende Abstandsringe 33 und 43 mit der Trägerplatte 31 gasdicht verbunden. Die Kammern 30 und 40 sind miteinander über eine Bohrung 34 der Trägerplatte 31 verbunden. Über eine verschließbare Querbohrung 35 lassen sich die Kammern evakuieren und mit einem neutralen Gas füllen. Auf die Membran 32 wirkt der Prozeßdruck P p eines zu überwachenden Mediums, auf die Membran 42 ein bekannter Referenzdruck P Ref . Die Membranen 32 und 42 sind mit Wandlern verbunden, welche die mechanische Auslenkung in elektrische Signale verwandeln. Diese elektrischen Signale werden einer elektrischen Schaltung 45 zugeführt, welche ein dem Relativdruck, also der Differenz zwischen Prozeß- und Referenzdruck, proportionales Ausgangssignal erzeugt.
摘要翻译： 所描述的相对压力传感器由一个支撑板31组成，一个侧面上安装有支撑板31，一方面为了形成一个测量室30，另一方面为了形成一个参考压力室40弹性变形膜片 膜片通过密封间隔环33和43以气密方式连接到边缘区域到支撑板31.腔室30和40通过支撑板31中的孔34彼此连接 通过可密封的横向孔35，这些室可被排空并填充中性气体。 要监测的介质的过程压力Pp作用在隔膜32上，已知的参考压力PRef作用在隔膜42上。隔膜32和42由将机械偏转转换成电信号的换能器连接。 这些电信号被馈送到电路45，电路45产生与相对压力成比例的输出信号，也就是说过程和参考压力之间的差。
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57.发明公开SOLID STATE DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR WITH OVERPRESSURE STOP AND FREE EDGE CONSTRUCTION 失效具有超压停止和自由边缘结构的固态差压传感器
公开(公告)号：EP0439494A4
公开(公告)日：1992-04-01
申请号：EP89911696
申请日：1989-10-17
申请人： ROSEMOUNT INC.
CPC分类号： G01L9/0042 , F01B19/00
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公开(公告)号：EP0431345A3
公开(公告)日：1991-09-18
申请号：EP90121519.4
申请日：1990-11-10
发明人： Mall, Horst
CPC分类号： G01F1/46 , G01F1/40 , G01L19/0007
摘要： Es wird eine Sonde zur dynamischen Druckmessung eines in einem Rohr strömenden Fluids vorgeschlagen, die gegenüber Verunreinigungen, die vom Strömungsmedium mitgeführt werden, unempfindlich ist und einen gleichbleibend geringen Meßfehler über Jahre hinweg sicherstellt. Die erfindungsgemäße Sonde weist mindestens ein sich quer zur Strömungsrichtung des Fluids erstreckendes Aufnahmerohr mit mindestens einer Druckaufnahmeöffnung auf, deren Normale parallel zur Strömungsrichtung gerichtet ist und ist zur Lösung der Aufgabe derart ausgebildet, daß die Druckaufnahmeöffnung (8, 8a) ein einziger, sich über den größten Teil des Rohres in dessen Längsrichtung erstreckender Schlitz (8, 8a) ist.
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公开(公告)号：EP0316343A4
公开(公告)日：1990-09-26
申请号：EP87905079
申请日：1987-07-23
申请人： ROSEMOUNT INC.
发明人： KNECHT, THOMAS, A. , ROMO, MARK, G.
CPC分类号： G01L19/147 , G01L13/025 , G01L19/0038 , Y10S73/04
摘要： A deflecting diaphragm differential pressure sensor (10) is formed so all electrical elements (30A-30D) and connections (34B) from external circuitry to the sensor (10) are isolated from the pressure media. The deflecting, pressure sensing diaphragm (22) is made of a semi-conductor material, having piezoresistors disposed on a surface (25) thereof to form strain gages to sense deflection of the diaphragm (22). The strain gage resistors are media isolated by a layer that overlies the strain gage resistors. All forms of the invention provide environmental protection for the electrical connections for external circuitry, which are subject to corrosion from the pressure media.
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公开(公告)号：EP0010569B1
公开(公告)日：1983-10-05
申请号：EP79101998.7
申请日：1979-06-18
申请人： PALL CORPORATION
CPC分类号： B01D35/143
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