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    RETICLE COMPARTMENT AND DIFFUSOR PLATE
    7.
    发明公开
    RETICLE COMPARTMENT AND DIFFUSOR PLATE 审中-公开
    RETICLE COMPARTMENT和DIFFUSOR PLATE

    公开(公告)号：EP3291289A1

    公开(公告)日：2018-03-07

    申请号：EP16186441.8

    申请日：2016-08-30

    申请人： Brooks Automation (Germany) GmbH

    发明人： Rebstock, Lutz

    IPC分类号： H01L21/673

    CPC分类号： H01L21/67359 ,  H01L21/67393

    摘要： The invention relates to a reticle compartment defining an enclosed interior (12) adapted to store at least two reticles (22) in a reticle storage portion (14), comprising an inlet port (16), through which a purge gas can enter the enclosed interior (12), and an outlet port (18), through which the purge gas can exit the enclosed interior, wherein the reticle compartment further comprises a first diffusor plate (24) arranged in the enclosed interior between the inlet port (16) and the reticle storage portion (14), wherein the first diffusor plate (24) is provided with openings (25a, 25b), through which the purge gas can flow, the openings (25a) in a central section of the first diffusor plate (24) being provided with a larger individual opening area and/or providing a larger total opening area per unit area than openings (25b) in a peripheral section of the first diffusor plate (24).

    摘要翻译： 本发明涉及一种标线片隔间，其限定封闭的内部（12），其适于在标线存储部分（14）中存储至少两个标线（22），包括入口端口（16），吹扫气体可通过入口端口 内部（12）和出口端口（18），净化气体可通过该出口排出封闭的内部，其中掩模版隔间还包括布置在封闭内部的入口端口（16）与第一扩散板 （14），其中第一扩散板（24）设置有吹扫气体可以流过的开口（25a，25b），第一扩散板（24）的中心部分中的开口（25a） ）设置有比第一扩散板（24）的周边部分中的开口（25b）更大的单独开口面积和/或每单位面积提供更大的总开口面积。

    RFID-Kommunikationssystem zur Konfiguration und Parametrierung
    8.
    发明公开
    RFID-Kommunikationssystem zur Konfiguration und Parametrierung 有权
    用于配置和参数化RFID通信系统

    公开(公告)号：EP2302557A3

    公开(公告)日：2011-09-07

    申请号：EP10175966.0

    申请日：2010-09-09

    申请人： BROOKS Automation (Germany) GmbH

    发明人： Buchmann, Harald

    IPC分类号： G06K7/00

    CPC分类号： G06K7/0008

    摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein RFID-Kommunikationssystem (1) zur Konfiguration und Parametrierung eines darin enthaltenen RFID-Geräts (4). Das RFID-Kommunikationssystem (1) umfasst zusätzlich zu dem RFID-Gerät (4) einen Transponder (2) und eine erste Antenne (3). Der Transponder wiederum umfasst eine zweite Antenne (5) und einen Speicher (6). Beide Antennen (3, 5) sind fähig Konfigurationsdaten auf der Basis elektromagnetischer Felder zu senden und zu empfangen. In dem Speicher (6) werden die Konfigurationsdaten für das RFID-Gerät (4) gespeichert und bei Bedarf mit Hilfe der zwei Antennen (3, 5) dem RFID-Gerät (4) drahtlos zur Verfügung gestellt.
    Die vorliegende Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren ein RFID-Gerät eines RFID-Kommunikationssystems mittels eines Transponders zu konfigurieren.