摘要:
Ein überlastfester kapazitiver Drucksensor ist von zwei elektrisch voneinander isolierten Platten gebildet, die im Randbereich über ein Glaslot (3) miteinander verbunden sind. Mit Druck beaufschlagbare Platten (1, 4), von denen mindestens eine als druckempfindliche Membran (4) ausgebildet ist, bilden eine Kammer (9), deren Innenflächen dergestalt mit Schichtelektroden (5, 6, 7) belegt sind, daß diese mindestens zwei Kapazitäten bilden, die eine unterschiedliche Druckabhängigkeit aufweisen. Auf mindestens einer der Platten (1 oder 4) ist mindestens ein kreisringförmiger Stützring (2, 10, 11) ausgebildet. Dieser erstreckt sich bis in den Randbereich, in dem das Glaslot (3) angeordnet ist. Der Abstand der Platten (1, 4) wird durch die Höhe des Glaslots (3) und des Stützrings (2) oder der Stützringe (2) bestimmt.
摘要:
Der beschriebene Relativdrucksensor besteht aus einer Trägerplatte 31, an welcher beidseitig einerseits zur Bildung einer Meßkammer 30 und andererseits zur Bildung einer Referenzdruckkammer 40 elastisch verformbare Membranen 32 und 42 angebracht sind. Die Membranen sind im Randbereich über dichtende Abstandsringe 33 und 43 mit der Trägerplatte 31 gasdicht verbunden. Die Kammern 30 und 40 sind miteinander über eine Bohrung 34 der Trägerplatte 31 verbunden. Über eine verschließbare Querbohrung 35 lassen sich die Kammern evakuieren und mit einem neutralen Gas füllen. Auf die Membran 32 wirkt der Prozeßdruck P p eines zu überwachenden Mediums, auf die Membran 42 ein bekannter Referenzdruck P Ref . Die Membranen 32 und 42 sind mit Wandlern verbunden, welche die mechanische Auslenkung in elektrische Signale verwandeln. Diese elektrischen Signale werden einer elektrischen Schaltung 45 zugeführt, welche ein dem Relativdruck, also der Differenz zwischen Prozeß- und Referenzdruck, proportionales Ausgangssignal erzeugt.
摘要:
Der beschriebene optische Sensor weist einen aus Glas bestehenden Sensorkörper (10) auf. Das von einer Lichtquelle erzeugte Licht (30) wird einem Detektor (32) nach Totalreflexion an den optischen Grenzflächen (11 und 12) zugeführt. Taucht der Sensorkörper (10) mit seinen Grenzflächen (11 und 12) in einen Flüssigkeitsspiegel, so erfolgt an den Grenzflächen (11 und 12) nur noch eine Teil-Reflexion. Um zu verhindern, daß in dampfgesättigter Atmosphäre befindlichen Grenzflächen (11 und 12) schon vor dem Eintauchen mit einer Flüssigkeit benetzt werden, ist unterhalb der Strukturspitze (13) ein Saugkörper (50) vorgesehen. Dieser besteht aus einem Kapillarrohr, über dessen verjüngtes Ende (51) die abgesaugte Flüssigkeit in Form von Tropfen (22) abgeführt wird.
摘要:
Der beschriebene optische Sensor weist einen aus Glas bestehenden Sensorkörper (10) auf. Das von einer Lichtquelle erzeugte Licht (30) wird einem Detektor (32) nach Totalreflexion an den optischen Grenzflächen (11 und 12) zugeführt. Taucht der Sensorkörper (10) mit seinen Grenzflächen (11 und 12) in einen Flüssigkeitsspiegel, so erfolgt an den Grenzflächen (11 und 12) nur noch eine Teil-Reflexion. Um zu verhindern, daß in dampfgesättigter Atmosphäre befindlichen Grenzflächen (11 und 12) schon vor dem Eintauchen mit einer Flüssigkeit benetzt werden, ist unterhalb der Strukturspitze (13) ein Saugkörper (50) vorgesehen. Dieser besteht aus einem Kapillarrohr, über dessen verjüngtes Ende (51) die abgesaugte Flüssigkeit in Form von Tropfen (22) abgeführt wird.
摘要:
Die optoelektrische Trennschicht- und Brechzahlanzeigevorrichtung weist eine Leuchtdiode (10) auf, deren emittiertes Licht über einen Lichtwellenleiter (32, 31) einem Sensorkörper (20) zugeführt wird. Mittels einer Plankonvexlinse (22) wird das Licht parallel gerichtet und über ein kreiszylindrisches Element (21) dem Kreiskegel (23) zugeführt. An seiner Mantelfläche (23a) erfolgt, soweit sich der Kreiskegel (23) in gasförmiger Atmosphäre befindet, eine Totalreflexion. Das reflektierte Licht wird über das kreiszylindrische Element (21), die Plankonvexlinse (22), den gemeinsamen Leiter (31) und den Empfängerleiter (33) der Fotodiode (11) zugeführt. Taucht der Kreiskegel (23) ganz oder teilweise in den angestiegenen Flüssigkeitsspiegel (45), so erfährt das in den Sensorkörper (20) eingekoppelte Licht zu einem wesentlichen Teil keine Totalreflexion. Das von der Fotodiode (11) erzeugte Signal verringert sich entsprechend. Durch Parallelrichten des eingekoppelten Lichtes mittels der Plankonvexlinse (22) werden Signalverluste deutlich vermindert.