DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'UN FAISCEAU D'IONS AVEC FILTRE MAGNÉTIQUE
    1.
    发明公开
    DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'UN FAISCEAU D'IONS AVEC FILTRE MAGNÉTIQUE 有权
    EINRICHTUNG ZUM ERZEUGEN EINES IONENSTRAHLS MIT MAGNETFILTER

    公开(公告)号:EP2342732A1

    公开(公告)日:2011-07-13

    申请号:EP09749164.1

    申请日:2009-09-14

    IPC分类号: H01J27/02 H01J3/40 H01J37/08

    CPC分类号: H01J27/26 H01J37/08

    摘要: The invention relates to a device (2) for generating an ion beam (4), comprising a support (6), an ion source (18), this ion source having a lower end (8) connected to the support (6) and an upper end (10) opposite the lower end (8), and an extraction means (12), for extracting the ions emitted by the source, this extraction means (12) comprising a wall (14) having an opening (16), the opening (16) being placed close to the upper end (10) of the ion source (18), so as to allow the extracted ions to pass through this opening. The device (2) further includes a means (M1, M2) for the generation of a magnetic field (B) capable of generating a magnetic field in the opening (16) of the extraction means, the generated magnetic field (B) being capable of deflecting charged particles (20) attracted by the ion source so that these charged particles do not reach the ion source.

    摘要翻译: 用于产生包括液体金属离子源(18)的离子束(4)的该装置(2)的特征在于,离子源被保持在低温的低温阱(28)包围,该低温阱能够 挥发性化学物质(G)通过在它们到达离子源之前冷凝来捕获。

    Schnellwechselwerkzeughalter
    2.
    发明公开
    Schnellwechselwerkzeughalter 审中-公开
    快换刀柄

    公开(公告)号:EP1147839A3

    公开(公告)日:2003-02-12

    申请号:EP01100015.5

    申请日:2001-01-03

    申请人: Alfred Raith GmbH

    发明人: Hynek, Vesely

    IPC分类号: B23B31/107

    CPC分类号: B23B31/1071 B23B51/0473

    摘要: Es wird eine Schnellwechselaufnahme zum schnellen Verbinden von Bearbeitungswerkzeugen mit einem Antriebsmotor beschrieben. Die Aufnahme ist derart gestaltet, daß eine Federkraft ein Betätigungsteil in einer Stellung hält, in der dieses Arretierkörper in Ausnehmungen im Werkzeugschaft drückt. Wird das Betätigungsteil in Richtung zum Werkzeug hin verschoben, so lassen in den Betätigungsteilen vorhandene Ausweichbereiche den wenigstens einen Arretierkörper ausweichen, wodurch das Werkzeug freigegeben wird.

    DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'UN FAISCEAU D'IONS AVEC PIÈGE CRYOGÉNIQUE
    3.
    发明公开
    DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'UN FAISCEAU D'IONS AVEC PIÈGE CRYOGÉNIQUE 有权
    EINRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES IONENSTRAHLS MIT CRYOGENFALLE

    公开(公告)号:EP2342733A1

    公开(公告)日:2011-07-13

    申请号:EP09749165.8

    申请日:2009-09-14

    IPC分类号: H01J27/26 H01J37/08 B01D8/00

    CPC分类号: H01J27/26 H01J37/08

    摘要: This device (2) for generating an ion beam (4), which includes a liquid metal ion source (18), is characterized in that the ion source is surrounded by a cryogenic trap (28) maintained at a low temperature, this cryogenic trap being capable of trapping volatile chemical species (G) by condensing them before they can reach the ion source.

    摘要翻译: 用于产生包括液体金属离子源(18)的离子束(4)的该装置(2)的特征在于,离子源被保持在低温的低温阱(28)包围,该低温阱能够 挥发性化学物质(G)通过在它们到达离子源之前冷凝来捕获。

    Schnellwechselwerkzeughalter
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:EP1147839A2

    公开(公告)日:2001-10-24

    申请号:EP01100015.5

    申请日:2001-01-03

    申请人: Alfred Raith GmbH

    发明人: Hynek, Vesely

    IPC分类号: B23B31/107

    CPC分类号: B23B31/1071 B23B51/0473

    摘要: Es wird eine Schnellwechselaufnahme zum schnellen Verbinden von Bearbeitungswerkzeugen mit einem Antriebsmotor beschrieben.
    Die Aufnahme ist derart gestaltet, daß eine Federkraft ein Betätigungsteil in einer Stellung hält, in der dieses Arretierkörper in Ausnehmungen im Werkzeugschaft drückt. Wird das Betätigungsteil in Richtung zum Werkzeug hin verschoben, so lassen in den Betätigungsteilen vorhandene Ausweichbereiche den wenigstens einen Arretierkörper ausweichen, wodurch das Werkzeug freigegeben wird.

    摘要翻译: 在套筒(1)中引导的锁定体(4)被推入到工具轴上的凹部(15)中,其压力由操作部件(6)施加,该操作部件能够抵抗弹簧力(11)轴向移动, 工具(2)向相同方向移动。 用于施加压力的弹簧(11)设置在套筒周围。 操作部分仅覆盖由弯曲弹簧包围的套筒的圆周的一部分。