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1.

发明公开
WATER-SOLUBLE RESIN COMPOSITION FOR THE FORMATION OF MICROPATTERNS AND PROCESS FOR THE FORMATION OF MICROPATTERNS WITH THE SAME 有权
标题翻译：水溶性树脂组合物微构造FOR地层微结构的形成与方法

公开(公告)号：EP2146250A4

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：EP08752271

申请日：2008-05-01

申请人： AZ ELECTRONIC MATERIALS USA

发明人： HONG SUNG-EUN , TAKANO YUSUKE , KANG WEN-BING

IPC分类号： G03F7/40 , H01L21/027

CPC分类号： H01L21/0271 , G03F7/40 , H01L21/3085 , H01L21/3086 , H01L21/3088

2.

发明公开
COMPOSITION FOR FORMING SILICON-CONTAINING FINE PATTERN AND METHOD FOR FORMING FINE PATTERN USING THE SAME 有权
标题翻译：形成组合物含有硅精细图案和方法形成精细图案，以便

公开(公告)号：EP2199861A4

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：EP08830189

申请日：2008-09-12

申请人： AZ ELECTRONIC MATERIALS USA

发明人： DAMMEL RALPH R , KANG WEN-BING , SHIMIZU YASUO , ISHIKAWA TOMONORI

IPC分类号： G03F7/40 , G03F7/075 , H01L21/027

CPC分类号： H01L21/0273 , G03F7/0757 , G03F7/405