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1.发明授权
公开(公告)号：EP3006925B1
公开(公告)日：2018-08-15
申请号：EP15188456.6
申请日：2015-10-06
申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES , Université Joseph Fourier - Grenoble
IPC分类号： G01N23/203 , G01N23/205 , G01N23/20
CPC分类号： G01N23/20058 , G01N23/20 , G01N2223/0566 , G01N2223/401 , G01N2223/427 , G01N2223/646
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公开(公告)号：EP3109614B1
公开(公告)日：2019-07-24
申请号：EP16175621.8
申请日：2016-06-22
发明人： BERNIER, Nicolas , DANSAS, Hugo
IPC分类号： G01N1/28 , G01N1/32 , C01B33/021
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3.发明公开PROCEDE DE DETECTION DE DISCONTINUITES DANS UN ECHANTILLON PAR ANALYSE D'IMAGES DE DIFFRACTION 审中-公开法不连续性在样本检测衍射图像的分析
公开(公告)号：EP3006925A1
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：EP15188456.6
申请日：2015-10-06
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES , Université Joseph Fourier - Grenoble
IPC分类号： G01N23/203 , G01N23/205 , G01N23/20
CPC分类号： G01N23/20058 , G01N23/20 , G01N2223/0566 , G01N2223/401 , G01N2223/427 , G01N2223/646
摘要： L'invention concerne un procédé de détection de discontinuités dans un échantillon, l'échantillon comportant une surface s'étendant suivant un plan de référence (X, Y), le procédé comportant les étapes suivantes :
o (a) acquisition d'une série d'images de diffraction de la surface de l'échantillon, chaque image de diffraction étant réalisée par illumination de la surface de l'échantillon avec un faisceau de particules apte à être diffracté par la surface de l'échantillon la série d'images de diffraction étant réalisée en déplaçant le faisceau de particules relativement à la surface de l'échantillon suivant une direction X et suivant une direction Y;
o (b) pour chaque image de diffraction, détermination d'une quantité de variations d'intensité totale entre cette image de diffraction et chacune des images de diffraction qui sont adjacentes à cette image de diffraction.
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