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    Procédé de réalisation de composants optiques intégrés
    4.
    发明公开
    Procédé de réalisation de composants optiques intégrés 失效
    Verfahren zur Herstellung optischer integrierter Komponenten。

    公开(公告)号：EP0467746A1

    公开(公告)日：1992-01-22

    申请号：EP91401885.8

    申请日：1991-07-08

    申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

    发明人： Valette, Serge

    IPC分类号： G02B6/12

    CPC分类号： G02B6/136

    摘要： L'invention concerne un procédé de réalisation de composants optiques intégrés sur un substrat permettant d'associer des microguides, des lames séparatrices, des lentilles, des dioptres. Le procédé consiste pour cela à réaliser un premier masque ayant des motifs de formes et de dimensions déterminées ; réaliser une gravure anisotrope du substrat non protégé par le masque pour obtenir des cavités (20) à flancs verticaux ; éliminer le masque ; réaliser une oxydation thermique des flancs verticaux pour constituer des couches d'arrêt (31) et le masque servant à la gravure de la phase principale, puis à réaliser un masque (12) ayant des motifs de formes et de dimensions déterminées ; effectuer une gravure du substrat non protégé par le masque de manière à obtenir au moins une cavité (13) de forme désirée ; effectuer une oxydation thermique pour former une couche périphérique (15, 16a, 16b, 16c) d'épaisseur donnée sur une partie ou sur toute la surface intérieure des cavités ; réaliser un remplissage (17, 18) des cavités par un matériau approprié.

    摘要翻译： 本发明涉及一种在基板上制造集成光学部件的方法，其使得能够组合的微导体，分离板，透镜和折射元件。 这样做的方法在于制作具有指定形状和尺寸的图案的第一掩模; 通过掩模各向异性地蚀刻未保护的衬底，以获得具有垂直侧壁的空腔（20）; 去除面膜; 产生垂直侧壁的热氧化，以形成停止层（31）和用于蚀刻主相的掩模，然后制造具有规定形状和尺寸的图案的掩模（12）; 通过掩模蚀刻未受保护的衬底，以获得至少一个所需形状的腔（13）; 进行热氧化以形成在空腔的一部分或全部内表面上的给定厚度的周边层（15,16a，16b，16c）; 并用适当的材料填充（17,18）空腔。

    Dispositif réversible de démultiplexage de plusieurs signaux lumineux en optique intégrée
    5.
    发明公开
    Dispositif réversible de démultiplexage de plusieurs signaux lumineux en optique intégrée 失效
    多个在集成光学光信号的可逆解复用。

    公开(公告)号：EP0196948A1

    公开(公告)日：1986-10-08

    申请号：EP86400499.9

    申请日：1986-03-10

    申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

    发明人： Lizet, Jacques ,  Valette, Serge

    IPC分类号： H04J14/02 ,  H04B10/02 ,  G02B6/34 ,  G02B6/12

    CPC分类号： G02B6/12007 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/124 ,  G02B6/29325 ,  G02B6/2938

    摘要： Dispositif réversible de démultiplexage de plusieurs signaux lumineux en optique intégrée.
    Ce dispositif réversible servant notamment à séparer n signaux lumineux de longueurs d'onde différentes (λ 1 ,... λn) formant un faisceau lumineux (4) transporté par une première fibre optique (2) et à réinjecter respectivement dans n secondes fibres optiques (F,,... F n ) les n signaux lumineux comprend, réalisés dans un guide de lumière (6), une optique d'entrée achromatique (18) servant à rendre parallèle ledit faisceau lumineux, n réseaux (R 1 ,... R n ) disposés en cascade, travaillant en régime de Bragg, chaque réseau servant à diffracter la partie du faisceau lumineux transportant l'un des n signaux lumineux et à transmettre la partie non encore diffractée dudit faisceau lumineux en direction du réseau suivant, et n optiques de sortie (M 1 ,..., M n ) associées aux n réseaux, chaque optique de sortie servant à focaliser ladite partie du faisceau lumineux diffractée par le réseau associé.

    Modulateur électro-optique à mode tranverse électrique et procédé de réalisation d'un tel modulateur
    9.
    发明公开
    Modulateur électro-optique à mode tranverse électrique et procédé de réalisation d'un tel modulateur 失效
    Elektrooptischer调制器电子横机elektrischen Anordnung und dessen Herstellungsverfahren

    公开(公告)号：EP0709710A1

    公开(公告)日：1996-05-01

    申请号：EP95402353.7

    申请日：1995-10-23

    申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

    发明人： Faderl, Ingo ,  Valette, Serge

    IPC分类号： G02F1/01 ,  G02B6/13

    CPC分类号： G02F1/065 ,  A61K48/00 ,  C07K14/4707

    摘要： L'invention concerne une cellule électro-optique à mode transverse électrique pour un modulateur, et son procédé de réalisation.
    La cellule comporte sur un substrat (4), une région active (10), et des électrodes de commande (16) de modulation disposées de part et d'autre de la région active (10). Selon l'invention, la cellule comporte des régions de confinement (14) en un matériau de plus faible indice de réfraction et de plus faible résistivité que le matériau de la région active, les régions de confinement étant disposées de part et d'autre et contre la région active (10) et entre les électrodes de commande (16).

    摘要翻译： 例如，基底（4） SiO 2：在Si晶片（2）上具有10微米厚的P P，承载例如有机区域（10）。 借助于衬底上的附着层，电解生长的非线性聚合物（12）在任一侧上具有共面调制控制电极（16）。 在每个电极和有源区域之间，限制区域（14）由例如电极形成。 SiO 2：N或SiO 2：P重掺杂，以将电阻降低10-100倍。 活性区域和有利的约束区域被覆盖（22），其中掺杂的SiO 2或PMMA或Teflon AF（RTM）为1-10微米。

    Capteur en optique intégrée, notamment pour substances chimiques
    10.
    发明公开
    Capteur en optique intégrée, notamment pour substances chimiques 失效
    Integrierter Optischer Sensor，insbesonderefürchemische Substanzen。

    公开(公告)号：EP0584005A1

    公开(公告)日：1994-02-23

    申请号：EP93402021.5

    申请日：1993-08-06

    申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

    发明人： Valette, Serge

    IPC分类号： G01N21/77 ,  G01N21/45

    CPC分类号： G02B6/132 ,  G01N21/552 ,  G01N21/85 ,  G01N2021/432 ,  G01N2021/8578 ,  G02B2006/12038 ,  G02B2006/2865

    摘要： L'invention concerne un capteur en optique intégrée, notamment pour substances chimiques, comprenant une double spirale (10) entrelacée de guides d'ondes (11, 12), intégrée sur un substrat (13), recevant le signal d'une source de lumière (14) au travers d'un premier composant optique (15) permettant de séparer en deux parties l'intensité lumineuse émise par la source, et envoyant ses signaux de sortie sur au moins un détecteur (17) au travers d'un second composant optique (16), le premier des deux guides (11) étant un guide de référence isolé de l'influence de la substance à mesurer, et le second (12) étant un guide de mesure affecté par la substance à mesurer.
    Application notamment à la détection de la présence d'un fluide.

    摘要翻译： 本发明涉及一种特别用于化学物质的集成光学传感器，其包括整合在衬底（13）上的波导（11,12）的隔行双螺旋（10），通过一个光源（14）接收来自光源 第一光学部件（15），其允许源发射的光强度被分成两部分，并且通过第二光学部件（16）将其输出信号发送到至少一个检测器（17），两个引导件中的第一个 11）作为与被测量物质的影响绝缘的参考指南，第二（12）是受待测物质影响的测量指南。 尤其适用于检测流体的存在。