公开(公告)号：EP1614199A4

公开(公告)日：2006-05-17

申请号：EP04759747

申请日：2004-03-23

申请人： CORNING INC

发明人： MAIER ROBERT L ,  THEN PAUL M ,  SPARROW ROBERT W

IPC分类号： H01S3/034 ,  B32B9/00 ,  B32B9/04 ,  B32B19/00 ,  C23C14/10 ,  G02B1/02 ,  G02B1/10 ,  H01S3/08 ,  H01S3/225 ,  H01S5/028

CPC分类号： G02B1/14 ,  G02B1/02 ,  G02B1/105 ,  H01S3/034 ,  H01S3/0346 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  Y10T428/265

摘要： The invention is directed to a coated metal fluoride crystals that are resistant to laser-induced damage by a below 250 nm UV laser beam; methods of making such coated crystals, and the use of such coated crystals. The method includes the steps of providing an uncoated metal fluoride crystal of general formula MF2, where M is beryllium, magnesium, calcium, strontium and barium, and mixtures thereof, and coating the uncoated metal fluoride crystal with a coating of a selected material to thereby form a coated metal material resistant to laser induced damage. Preferred coating materials include MgF2, MgF2 doped fused silica and fluorine doped fused silica.

摘要翻译： 本发明涉及一种涂覆的金属氟化物晶体，该涂层金属氟化物晶体能够抵抗低于250nm的UV激光束的激光诱导的损伤; 制造这种涂层晶体的方法，以及使用这种涂层晶体。 该方法包括以下步骤：提供通式为MF2的未涂布的金属氟化物晶体，其中M为铍，镁，钙，锶和钡及其混合物，并且用选定材料的涂层涂布未涂布的金属氟化物晶体 形成抗激光损伤的涂覆金属材料。 优选的涂层材料包括MgF 2，MgF 2掺杂的熔凝硅石和掺氟的熔凝硅石。

公开(公告)号：EP1449013A4

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：EP02728371

申请日：2002-03-01

申请人： CORNING INC

发明人： PELL MICHAEL A ,  SMITH CHARLENE M ,  SPARROW ROBERT W ,  THEN PAUL M ,  GRAY SANDRA LEE

IPC分类号： C30B29/12 ,  C30B11/00 ,  H01S3/02 ,  H01S3/034 ,  H01S3/08 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106 ,  H01S3/225 ,  G02B1/00 ,  B29D11/00 ,  C01D3/02 ,  C01F5/24 ,  C01F5/28 ,  C01F11/18 ,  C01F11/22

CPC分类号： H01S3/225 ,  C30B11/00 ,  C30B29/12 ,  H01S3/034 ,  H01S3/0346 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106

摘要： The invention relates to an High Repetition Rate UV Excimer Laser which includes a source of a laser beam and one or more windows which include magnesium fluoride. Another aspect of the invention relates to an excimer laser which includes a source of a laser beam, one or more windows which include magnesium fluoride and a source for annealing the one or more windows. Another aspect of the invention relates to a method of producing a predetermined narrow width laser beam.

摘要翻译： 本发明涉及在高重复率的UV准分子激光器，其包括激光束和一个或多个窗口包括哪个氟化镁的来源。 本发明的另一个方面涉及在受激准分子激光器，其包括激光束，一个或多个窗口包括哪个氟化镁和用于退火的一个或多个窗口的源极的源极。 本发明的另一个方面涉及一种制造预定宽度窄激光束的方法。

公开(公告)号：EP1371117A4

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：EP02728380

申请日：2002-03-01

申请人： CORNING INC

发明人： PELL MICHAEL A ,  SMITH CHARLENE M ,  THEN PAUL M ,  SPARROW ROBERT W

IPC分类号： C30B29/12 ,  C30B11/00 ,  H01S3/02 ,  H01S3/034 ,  H01S3/08 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106 ,  H01S3/225

CPC分类号： H01S3/225 ,  C30B11/00 ,  C30B29/12 ,  H01S3/034 ,  H01S3/0346 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106

摘要： The invention relates to an High Repetition Rate UV Excimer Laser which includes a source of a laser beam and one or more windows which include magnesium fluoride. Another aspect of the invention relates to an excimer laser which includes a source of a laser beam, one or more windows which include magnesium fluoride and a source for annealing the one or more windows. Another aspect of the invention relates to a method of producing a predetermined narrow width laser beam.

摘要翻译： 本发明涉及一种高重复率UV准分子激光器，其包括激光束源和包括氟化镁的一个或多个窗口。 本发明的另一方面涉及一种准分子激光器，其包括激光束源，一个或多个窗口，其包括氟化镁和用于退火所述一个或多个窗口的源。 本发明的另一方面涉及一种制造预定的窄宽度激光束的方法。