公开(公告)号：EP3622592B1

公开(公告)日：2023-11-29

申请号：EP18727560.7

申请日：2018-05-09

发明人： LITMANOVIC, Jacob ,  BETHEL, Jason ,  WHEELER, Ross ,  KOLSCH, Patrick

IPC分类号： H01S3/082 ,  H01S3/137 ,  H01S3/081 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106 ,  H01S3/223

公开(公告)号：EP3002836B1

公开(公告)日：2020-02-12

申请号：EP14200180.9

申请日：2014-12-23

申请人： Lumentum Operations LLC

发明人： Larson, Michael C

IPC分类号： H01S5/00 ,  H01S5/50 ,  H01S5/0625 ,  G02B26/00 ,  H01S5/026 ,  G02B6/293 ,  H01S3/1055 ,  H01S5/125 ,  H01S5/0687 ,  H01S5/12

公开(公告)号：EP2521226B1

公开(公告)日：2019-09-11

申请号：EP10841067.1

申请日：2010-12-30

申请人： National University Corporation Chiba University

发明人： MURO Kiyohumi ,  ENDO Tomohisa ,  SHIMADA Yasutaka ,  FUKUOKA Daisuke

IPC分类号： H01S5/14 ,  H01S5/022 ,  H01S5/02 ,  H01S5/024 ,  H01S5/028 ,  H01S5/10 ,  H01S3/081 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/02

公开(公告)号：EP2521226A4

公开(公告)日：2017-09-20

申请号：EP10841067

申请日：2010-12-30

申请人： NAT UNIV CORP CHIBA UNIV

发明人： MURO KIYOHUMI ,  ENDO TOMOHISA ,  SHIMADA YASUTAKA ,  FUKUOKA DAISUKE

IPC分类号： H01S5/14 ,  H01S3/02 ,  H01S3/081 ,  H01S3/1055 ,  H01S5/02 ,  H01S5/022 ,  H01S5/024 ,  H01S5/028 ,  H01S5/10

CPC分类号： H01S5/06 ,  H01S3/025 ,  H01S3/0815 ,  H01S3/1055 ,  H01S5/02 ,  H01S5/02248 ,  H01S5/02252 ,  H01S5/02415 ,  H01S5/02438 ,  H01S5/0286 ,  H01S5/1085 ,  H01S5/143 ,  H01S2301/02

摘要： Disclosed is an ASE-free continuously tunable external resonator laser in which reduction in tuning range and decrease in O utput are suppressed. The external resonator laser comprises: a fixed support body which has a half mirror that partially reflects incident light and partially t ransmits incident light fixed therein; and a rotatory support body which is rotat ably supported by the fixed support body by way of a shaft, and which has a laser chip that emits light, a collimator lens that collimates light emitted from the laser chip, and a diffraction grating that diffracts light emitted from the la ser chip, fixed therein.

摘要翻译： 公开了一种无ASE的连续可调谐外部谐振器激光器，其中抑制了调谐范围的减小和输出的减小。 外部共振器激光器包括：固定支撑体，其具有部分地反射入射光并部分地发射固定在其中的入射光的半反射镜; 以及旋转支撑体，该旋转支撑体通过轴可旋转地支撑在固定支撑体上，并且具有发射光的激光芯片，准直从激光芯片发射的光的准直透镜和衍射光的衍射光栅 从芯片发射出来，固定在其中。

公开(公告)号：EP2283551B1

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：EP08763801.1

申请日：2008-04-11

申请人： Google Inc.

发明人： BARONI, Paolo ,  DE DONNO, Marco ,  RONCHI, Anna

IPC分类号： H01S5/14 ,  H01S5/062 ,  H01S3/10 ,  H01S5/10 ,  H01S3/1055 ,  H01S5/022 ,  H01S5/024 ,  H01S5/0625 ,  H01S5/0683 ,  H01S5/065

CPC分类号： H01S3/10038 ,  H01S3/1055 ,  H01S5/02216 ,  H01S5/02248 ,  H01S5/02284 ,  H01S5/02415 ,  H01S5/02476 ,  H01S5/02492 ,  H01S5/062 ,  H01S5/06213 ,  H01S5/06246 ,  H01S5/06251 ,  H01S5/0653 ,  H01S5/0683 ,  H01S5/10 ,  H01S5/101 ,  H01S5/141

公开(公告)号：EP1521942A4

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：EP03736659

申请日：2003-05-23

申请人： CYMER INC

发明人： SANDSTROM RICHARD L ,  MELCHIOR JOHN T ,  RAO RAHASEKHAR

IPC分类号： G01B9/02 ,  H01S3/00 ,  G01J1/42 ,  G01J3/02 ,  G01J3/26 ,  G01J9/02 ,  G03F7/20 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/04 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08 ,  H01S3/097 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/102 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/11 ,  H01S3/13 ,  H01S3/134 ,  H01S3/139 ,  H01S3/22 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/23

CPC分类号： G01J3/26 ,  G01J1/4257 ,  G01J1/429 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/024 ,  G01J3/027 ,  G01J9/02 ,  G01J9/0246 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/70933 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/02 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0401 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/097 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/134 ,  H01S3/139 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/2366

公开(公告)号：EP1729382B1

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：EP05111743.0

申请日：2005-12-06

申请人： Electronics and Telecommunications Research Institute

发明人： Kim, Hyun-Soo ,  Sim, EunDeok

IPC分类号： H01S5/14 ,  H01S3/1055

CPC分类号： H01S5/141 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/1228 ,  G02B2006/12102 ,  G02B2006/12107 ,  G02B2006/12121 ,  H01S5/0071 ,  H01S5/026 ,  H01S5/0654 ,  H01S5/1014 ,  H01S5/143 ,  H01S5/2231

公开(公告)号：EP1310022A4

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：EP01954584

申请日：2001-04-30

申请人： CYMER INC

发明人： SPANGLER RONALD L ,  JACQUES ROBERT N ,  EVERAGE GEORGE J ,  ANDERSON STUART L ,  PALENSCHAT FREDERICK A ,  FOMENKOV IGOR V ,  SANDSTROM RICHARD L ,  PARTLO WILLIAM N ,  ALGOTS JOHN M ,  BROWN DANIEL J W

IPC分类号： H01S3/137 ,  G03F7/20 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/04 ,  H01S3/041 ,  H01S3/097 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/11 ,  H01S3/13 ,  H01S3/131 ,  H01S3/134 ,  H01S3/22 ,  H01S3/225

CPC分类号： G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70333 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/70933 ,  H01S3/02 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0404 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/097 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1312 ,  H01S3/134 ,  H01S3/137 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/225

摘要： Fast wavelenght correction equipment for an electric discharge laser includes at least one piezoelectic drive (80) and a fast wavelength measurement system and a fast feedback response time. In a preferred embodiment equipment is provided to control wavelength on a slow, intermediate amd fast time scales, which vary in range from several milliseconds to a few microseconds respectively. Techniques include a combination of a relatively slow stepper motor (82) and a very fast piezoelectric drive (80) for tuning the laser wavelength using a tuning mirror (14).

公开(公告)号：EP1449013A4

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：EP02728371

申请日：2002-03-01

申请人： CORNING INC

发明人： PELL MICHAEL A ,  SMITH CHARLENE M ,  SPARROW ROBERT W ,  THEN PAUL M ,  GRAY SANDRA LEE

IPC分类号： C30B29/12 ,  C30B11/00 ,  H01S3/02 ,  H01S3/034 ,  H01S3/08 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106 ,  H01S3/225 ,  G02B1/00 ,  B29D11/00 ,  C01D3/02 ,  C01F5/24 ,  C01F5/28 ,  C01F11/18 ,  C01F11/22

CPC分类号： H01S3/225 ,  C30B11/00 ,  C30B29/12 ,  H01S3/034 ,  H01S3/0346 ,  H01S3/08004 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106

摘要： The invention relates to an High Repetition Rate UV Excimer Laser which includes a source of a laser beam and one or more windows which include magnesium fluoride. Another aspect of the invention relates to an excimer laser which includes a source of a laser beam, one or more windows which include magnesium fluoride and a source for annealing the one or more windows. Another aspect of the invention relates to a method of producing a predetermined narrow width laser beam.

摘要翻译： 本发明涉及在高重复率的UV准分子激光器，其包括激光束和一个或多个窗口包括哪个氟化镁的来源。 本发明的另一个方面涉及在受激准分子激光器，其包括激光束，一个或多个窗口包括哪个氟化镁和用于退火的一个或多个窗口的源极的源极。 本发明的另一个方面涉及一种制造预定宽度窄激光束的方法。

公开(公告)号：EP1386376A4

公开(公告)日：2006-06-28

申请号：EP02731433

申请日：2002-04-19

申请人： CYMER INC

发明人： KROYAN ARMEN ,  LALOVIC IVAN ,  FOMENKOV IGOR ,  DAS PALASH P ,  SANDSTROM RICHARD L ,  ALGOTS JOHN M ,  AHMED KHURSHID

IPC分类号： G03F7/207 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/04 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08 ,  H01S3/097 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/102 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/11 ,  H01S3/13 ,  H01S3/134 ,  H01S3/137 ,  H01S3/139 ,  H01S3/22 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/10

CPC分类号： G03F7/70025 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70333 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/70933 ,  H01S3/02 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0404 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/097 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/13 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/134 ,  H01S3/139 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2308

摘要： An integrated circuit lithograohy technique (pectral engineering) for bandwidth control of an electric discharge laser. A computer models lithographic parameters to determine a desired laser spectrum needed to produce a desired lithographic result. A fast responding tuning mechanism (104) adjusts the center wavelength of laser pulses in a burst of pulses to achieve an integrated spectrum approximating the desired laser spectrum. The laser beam bandwidth is controlled to produce an effective beam spectrum having at least two spectral peaks to produce improved pattern resolution in photo resits film. Line narrowing equipment (106) is provided having at least one piezoelectric drive and a fast banwidth detection control system having a time response of less than about 2.0 millisecond. A wavelength tuning mirror is dithered at dither rates of more than 500 dithers per second in phase with the repetition rate of the laser.