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1.发明授权Teilchenstrahlgerät mit einer Blendeneinheit und Verfahren zur Einstellung eines Strahlstroms in einem Teilchenstrahlgerät 有权与屏幕单元和方法，用于在一个粒子束调整射束电流粒子束装置
公开(公告)号：EP2278607B9
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：EP10170421.1
申请日：2010-07-22
发明人： Preikszas, Dirk , Albiez, Michael
CPC分类号： H01J37/09 , H01J37/15 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/0492 , H01J2237/14 , H01J2237/2002 , H01J2237/26 , H01J2237/31749
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2.发明授权Teilchenstrahlgerät mit einer Blendeneinheit und Verfahren zur Einstellung eines Strahlstroms in einem Teilchenstrahlgerät 有权与屏幕单元和方法，用于在一个粒子束调整射束电流粒子束装置
公开(公告)号：EP2278607B1
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：EP10170421.1
申请日：2010-07-22
发明人： Preikszas, Dirk , Albiez, Michael
CPC分类号： H01J37/09 , H01J37/15 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/0492 , H01J2237/14 , H01J2237/2002 , H01J2237/26 , H01J2237/31749
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公开(公告)号：EP2320217B1
公开(公告)日：2019-02-13
申请号：EP10014424.5
申请日：2010-11-09
发明人： Preikszas, Dirk
IPC分类号： G01N23/203 , H01J37/28 , H01J37/295 , H01J37/147
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4.发明授权
公开(公告)号：EP2355125B1
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：EP11152427.8
申请日：2011-01-27
发明人： Preikszas, Dirk
IPC分类号： H01J37/145 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/05
CPC分类号： H01J37/145 , H01J37/05 , H01J37/244 , H01J37/28
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公开(公告)号：EP2461346B1
公开(公告)日：2018-05-02
申请号：EP11191531.0
申请日：2011-12-01
发明人： Preikszas, Dirk , Hayn, Armin Heinz
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/1474 , H01J37/28 , H01J2237/1534 , H01J2237/188 , H01J2237/31749
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6.发明授权Elektronenstrahlgerät und Verfahren zum Betrieb dessen 有权Elektronenstrahlgerätund Verfahren zum Betrieb dessen
公开(公告)号：EP2463889B1
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：EP12158480.9
申请日：2004-01-07
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0458 , H01J2237/2443 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448
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