专利检索 ap:("Carl Zeiss MultiSEM GmbH") AND inv:"MÜLLER, Ingo" 第 1 页

1.

发明公开
TEILCHENSTRAHLSYSTEM 审中-公开

公开(公告)号：EP3811394A2

公开(公告)日：2021-04-28

申请号：EP19734307.2

申请日：2019-06-18

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： ZEIDLER, Dirk , FRITZ, Hans , MÜLLER, Ingo , SCHUBERT, Stefan , THOMA, Arne , MAJOR, András

IPC分类号： H01J37/06 , H01J37/147 , H01J37/28

2.

发明公开
HIGH THROUGHPUT MULTI-BEAM CHARGED PARTICLE INSPECTION SYSTEM WITH DYNAMIC CONTROL 审中-公开

公开(公告)号：EP4158674A1

公开(公告)日：2023-04-05

申请号：EP21722823.8

申请日：2021-04-29

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： ZEIDLER, Dirk , BIHR, Ulrich , ADOLF, Andreas , KAUFMANN, Nicolas , MÜLLER, Ingo , BEHNKE, Michael

IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/26 , H01J37/20

3.

发明公开
PARTICLE BEAM SYSTEM COMPRISING A MULTI-BEAM DEFLECTION DEVICE AND A BEAM STOP, METHOD FOR OPERATING THE PARTICLE BEAM SYSTEM AND ASSOCIATED COMPUTER PROGRAM PRODUCT 审中-公开

公开(公告)号：EP4066270A1

公开(公告)日：2022-10-05

申请号：EP20812226.7

申请日：2020-11-24

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： SCHUBERT, Stefan , SCHUMACHER, Dieter , ESSERS, Erik , MÜLLER, Ingo , THOMA, Arne , JACOBI, Jörg , BOLSINGER, Wilhelm , ZEIDLER, Dirk

IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/28