公开(公告)号：EP2331946A2

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：EP09791973.2

申请日：2009-08-27

申请人： Carl Zeiss NTS, LLC.

发明人： RAHMAN, FHM-Faridur ,  FARKAS, Louis, S., III ,  NOTTE, John, A., IV

IPC分类号： G01N23/225 ,  H01J37/08 ,  H01J27/26

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/24514

摘要： Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods provide high ion beam stability.

摘要翻译： 公开了离子显微镜的方法和系统。 通常，这些系统和方法提供了高离子束稳定性。

公开(公告)号：EP2288906A2

公开(公告)日：2011-03-02

申请号：EP09767266.1

申请日：2009-05-26

申请人： Carl Zeiss NTS, LLC.

发明人： NOTTE, John, A., IV ,  SIJBRANDIJ, Sybren

IPC分类号： G01N23/225 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J37/285 ,  G01N23/2255 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2817

摘要： Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods involve relatively light isotopes, minority isotopes or both. In some embodiments, He-3 is used.

摘要翻译： 公开了离子显微镜的方法和系统。 通常，系统和方法涉及相对较轻的同位素，少数同位素或两者。 在一些实施方案中，使用He-3。