公开(公告)号：EP2454573B1

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：EP10731526.9

申请日：2010-07-13

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives ,  California Institute of Technology

发明人： ANDREUCCI, Philippe ,  DURAFFOURG, Laurent ,  MARCOUX, Carine ,  BRIANCEAU, Pierre ,  HENTZ, Sébastien ,  MINORET, Stéphane ,  MYERS, Edward ,  ROUKES, Michael

IPC分类号： G01L1/18 ,  B81B3/00

CPC分类号： G01P15/097 ,  B81B3/0021 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/058 ,  G01N29/022 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/0427 ,  G01P15/123

公开(公告)号：EP2454573A1

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：EP10731526.9

申请日：2010-07-13

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives ,  California Institute of Technology

发明人： ANDREUCCI, Philippe ,  DURAFFOURG, Laurent ,  MARCOUX, Carine ,  BRIANCEAU, Pierre ,  HENTZ, Sébastien ,  MINORET, Stéphane ,  MYERS, Edward ,  ROUKES, Michael

IPC分类号： G01L1/18 ,  B81B3/00

CPC分类号： G01P15/097 ,  B81B3/0021 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/058 ,  G01N29/022 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/0427 ,  G01P15/123

摘要： The invention relates to a nano electro- mechanical system (NEMS) formed on a substrate (21) and comprising at least one fixed part associated with the substrate and at least one movable part (23) in relation to the substrate, said system comprising transduction means (24) capable of exciting the movable part to confer on it a movement and/or to detect a movement of the movable part, the transduction means comprising at least one electrically conductive material. The electrically conductive material is made of an AlSi alloy based deposition, said deposition being supported at least in part by the movable part of the system.

摘要翻译： 本发明涉及形成在基板（21）上的纳米机电系统（NEMS），并且包括与基板相关联的至少一个固定部分和相对于基板的至少一个可移动部分（23），所述系统包括转换 能够激励所述可移动部件以赋予其运动和/或检测所述可移动部件的运动的装置（24），所述转换装置包括至少一种导电材料。 导电材料由基于AlSi合金的沉积物制成，所述沉积物至少部分由系统的可移动部分支撑。

公开(公告)号：EP3702323A1

公开(公告)日：2020-09-02

申请号：EP20171331.0

申请日：2014-07-21

申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

发明人： OLLIER, Eric ,  MARCOUX, Carine

IPC分类号： B81B7/00 ,  B81B3/00

摘要： Dispositif comportant un substrat comprenant au moins une structure microélectronique et/ou nanoélectronique comportant au moins une partie sensible et un canal fluidique (2) défini entre ledit substrat et un capot (6), ledit canal fluidique (2) comportant au moins deux ouvertures pour assurer une circulation dans ledit canal, ladite structure microélectronique et/ou nanoélectronique étant située à l'intérieur du canal fluidique, ledit capot étant assemblé avec le substrat au niveau d'une interface d'assemblage, ledit dispositif comportant des connexions électriques entre ladite structure microélectronique et/ou nanoélectronique et l'extérieur du canal fluidique (2), lesdites connexions électriques (8) étant formées par des vias réalisés à travers le substrat (4) à l'aplomb de ladite structure microélectronique et/ou nanoélectronique et en contact électrique avec ladite structure microélectronique et/ou nanoélectronique, ledit dispositif comportant également une couche de fonctionnalisation (18, 118) recouvrant au moins une partie de la partie sensible de la structure microélectronique et/ou nanoélectronique.