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公开(公告)号：EP2454573B1
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：EP10731526.9
申请日：2010-07-13
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives , California Institute of Technology
发明人： ANDREUCCI, Philippe , DURAFFOURG, Laurent , MARCOUX, Carine , BRIANCEAU, Pierre , HENTZ, Sébastien , MINORET, Stéphane , MYERS, Edward , ROUKES, Michael
CPC分类号： G01P15/097 , B81B3/0021 , B81B2203/0118 , B81B2203/058 , G01N29/022 , G01N2291/014 , G01N2291/0427 , G01P15/123
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2.发明公开OPTOMECHANICAL DEVICE WITH MECHANICAL ELEMENTS AND OPTICAL FILTERS FOR ACTUATING AND/OR DETECTING THE MOVEMENT OF THE ELEMENTS 审中-公开用于控制和/或元件的移动采集机械元件和光学滤波器OPTO机械装置
公开(公告)号：EP3039465A1
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：EP14786509.1
申请日：2014-10-21
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives , California Institute of Technology
CPC分类号： G02B6/12007 , G01D5/266 , G01D5/268 , G01D5/35312 , G01G3/165 , G01H9/00 , G01N2015/1043 , G02B6/1225 , G02B6/29343 , G02B6/29395 , G02B6/3536
摘要： An optomechanical device with mechanical elements and optical filters for actuating and/or detecting movement of the elements, including a support, and on the support: an array of mechanical elements anchored to the support and configured to move with respect thereto, and an actuating and/or detection device actuating the elements and/or detecting movement of the elements or frequency variations of the movement. The actuating and/or detection device includes an array of optical filters. Each filter resonates at a particular wavelength and is coupled to one of the elements. The actuating and/or detecting device is positioned in vicinity of all or some of the elements, between the elements and the support. The optical filters are fixed with respect to the support and the mechanical elements and the optical filters are superimposed.
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公开(公告)号：EP2454573A1
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：EP10731526.9
申请日：2010-07-13
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives , California Institute of Technology
发明人： ANDREUCCI, Philippe , DURAFFOURG, Laurent , MARCOUX, Carine , BRIANCEAU, Pierre , HENTZ, Sébastien , MINORET, Stéphane , MYERS, Edward , ROUKES, Michael
CPC分类号： G01P15/097 , B81B3/0021 , B81B2203/0118 , B81B2203/058 , G01N29/022 , G01N2291/014 , G01N2291/0427 , G01P15/123
摘要： The invention relates to a nano electro- mechanical system (NEMS) formed on a substrate (21) and comprising at least one fixed part associated with the substrate and at least one movable part (23) in relation to the substrate, said system comprising transduction means (24) capable of exciting the movable part to confer on it a movement and/or to detect a movement of the movable part, the transduction means comprising at least one electrically conductive material. The electrically conductive material is made of an AlSi alloy based deposition, said deposition being supported at least in part by the movable part of the system.
摘要翻译： 本发明涉及形成在基板（21）上的纳米机电系统（NEMS），并且包括与基板相关联的至少一个固定部分和相对于基板的至少一个可移动部分（23），所述系统包括转换 能够激励所述可移动部件以赋予其运动和/或检测所述可移动部件的运动的装置（24），所述转换装置包括至少一种导电材料。 导电材料由基于AlSi合金的沉积物制成，所述沉积物至少部分由系统的可移动部分支撑。
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公开(公告)号：EP3424874A1
公开(公告)日：2019-01-09
申请号：EP18187837.2
申请日：2010-02-24
IPC分类号： B81B3/00
摘要： L'invention concerne un dispositif capteur, de type à nanofil, comportant :
- au moins un nanofil (33, 33', 35, 35'), comportant une première zone (2), conductrice, et une deuxième zone (4, 4'), en matériau isolant, cette deuxième zone n'occupant pas toute l'épaisseur du nanofil, et un courant pouvant circuler dans ce dernier depuis l'une de ses extrémités à l'autre ;
- au moins une masse (30, 37) mobile fixée à l'une des extrémités du nanofil.-
公开(公告)号：EP3244169A1
公开(公告)日：2017-11-15
申请号：EP17167899.8
申请日：2017-04-25
IPC分类号： G01D5/26 , G01L9/00 , G01D5/34 , G01N29/036
CPC分类号： G01D5/353 , G01D5/26 , G01D5/34 , G01L1/103 , G01L9/0023 , G01M11/3172 , G01N29/036 , G01N29/2418 , G01N2291/015 , G01N2291/0256 , G01N2291/0427 , G01P15/093 , G01P15/097
摘要： Système de mesure résonant de type MEMS et/ou NEMS, comportant :
Un dispositif optomécanique (4) comprenant au moins un élément résonant (14) à au moins une fréquence de résonance fr, un guide d'onde (10) couplé à un anneau optique (12) dont l'indice optique est sensible au déplacement de l'élément résonant (14),
Des moyens d'excitation (6) de l'élément résonant (14) à au moins sa fréquence de résonance fr,
Des moyens (2) aptes à injecter un faisceau lumineux à une fréquence f1 = fr + Δf dans le dispositif optomécanique, comportant une diode laser et des moyens de modulation disposés entre la diode laser (18) et le guide d'onde (10) à la fréquence f1.
Un dispositif de photodétection (8) apte à mesurer l'intensité d'un faisceau lumineux de mesure sortant du guide d'onde (10), l'intensité du faisceau de mesure ayant au moins une composante à une fréquence 2Δf.摘要翻译： 谐振测量系统MEMS和/或NEMS，包括：耦合到一个环上的光 - 机械装置（4）包括至少一个谐振元件（14）连接到至少一个谐振频率fr，波导（10） 光学系数（12），其光学指数对谐振元件（14）的位移敏感;用于将谐振元件（14）激励（6）至少其谐振频率fr的装置; 2），其能够以频率f1 = fr +Δf将光束注入到光机械装置中，该光机械装置包括激光二极管和以该频率布置在激光二极管（18）和波导（10）之间的调制装置 F1。 一种能够测量从波导（10）出射的测量光束的强度的光电检测装置（8），该测量光束的强度具有至少一个频率为2Δf的分量。
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8.发明授权ACCELEROMETRE A POUTRE RESONANTE AVEC BRAS DE LEVIER ARTICULE EN ROTATION 有权采用旋转手臂口齿的响应光束ACCELEROMETER
公开(公告)号：EP2064559B1
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：EP07803524.3
申请日：2007-09-17
IPC分类号： G01P15/097 , G01P15/10
CPC分类号： G01P15/097
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公开(公告)号：EP2491406A1
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：EP10776608.1
申请日：2010-10-20
发明人： ROBERT, Philippe , HENTZ, Sébastien
CPC分类号： G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0817
摘要： The invention relates to an in-plane MEMS or NEMS detection device for measuring movements oriented in one direction (Y1) comprising a seismic mass (202) suspended relative to a substrate, said seismic mass (202) capable of swiveling about an axis (Z) perpendicular to the plane of the substrate, at least one piezoresistive strain gauge (8), which is mechanically linked to the seismic mass (202) and to the substrate, wherein said piezoresistive gauge (8) has a thickness smaller than that of the seismic mass (202) and wherein the axis (Y) of the piezoresistive strain gauge (8) is orthogonal to the plan containing the swiveling axis (Z) and the center of gravity (G) of the seismic mass (202) and said plane is orthogonal to the direction (Y1) of the movements to be measured.
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公开(公告)号：EP4350425A1
公开(公告)日：2024-04-10
申请号：EP23201539.6
申请日：2023-10-04
摘要： Un aspect de l'invention concerne une structure opto-mécanique (SOM) comportant un substrat (SB) s'étendant selon un plan (P) ; un élément support (ES) agencé sur le substrat (SB ; au moins un élément conducteur (EC) adapté pour créer un champ électrique orienté perpendiculairement au plan (P) du substrat (SB) ; et un résonateur opto-mécanique. De plus, le résonateur opto-mécanique comprend un élément mobile mécaniquement (EM) réalisé dans un matériau piézoélectrique et agencé sur l'élément support (ES), le matériau piézoélectrique étant choisi de sorte que le champ électrique créé par l'élément conducteur (EC) lorsque ce dernier est soumis à un potentiel électrique entraîne un déplacement dudit élément mobile (EM) ; un résonateur optique (RO) couplé à l'élément mobile (EM). Enfin, l'élément conducteur (EC) est situé au-dessus ou au-dessous dudit élément mobile (EM), à une distance non nulle dudit élément mobile (EM), ledit élément conducteur (EC) et ledit élément mobile (EM) ayant une surface en regard l'une de l'autre.
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