公开(公告)号：EP2612342A4

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：EP11822623

申请日：2011-08-31

申请人： FEI CO

发明人： RUE CHAD

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/08 ,  H01J37/304 ,  H01J37/305

CPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/0805 ,  H01J2237/0825 ,  H01J2237/30466 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31749

摘要： An improved method and apparatus for imaging and milling a substrate using a FIB system. Preferred embodiments of the present invention use a mixture of light and heavy ions, focused to the same focal point by the same beam optics, to simultaneously mill the sample surface (primarily with the heavy ions) while the light ions penetrate deeper into the sample to allow the generation of images of subsurface features. Among other uses, preferred embodiments of the present invention provide improved methods of navigation and sample processing that can be used for various circuit edit applications, such as backside circuit edit.

公开(公告)号：EP2943769A4

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：EP14737997

申请日：2014-01-10

申请人： FEI CO

发明人： FOORD DAVID ,  RUE CHAD

IPC分类号： H01J37/305 ,  G01N1/32 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/3056 ,  G01N1/32 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/31713 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749 ,  Y10T428/24479

摘要： Implanting a material in a pattern hardens the material in the pattern for subsequent etching. When the region is etched, by ion beam sputtering, chemically enhanced charged particle beam etching, or chemical etching, a thicker structure remains because of the reduced etch rate of the hardened pattern. The invention is particularly useful for the preparation of thin lamella for viewing on a transmission electron microscope.

摘要翻译： 将图案中的材料植入硬化图案中的材料以进行后续蚀刻。 当该区域被蚀刻时，通过离子束溅射，化学增强的带电粒子束蚀刻或化学蚀刻，由于硬化图案的蚀刻速率降低，保留较厚的结构。 本发明特别可用于制备用于在透射电子显微镜上观察的薄片层。

公开(公告)号：EP2591490A4

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：EP11804426

申请日：2011-07-08

申请人： FEI CO

发明人： RUE CHAD ,  CROWLEY DANIEL

IPC分类号： H01J37/22 ,  G01J3/02 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/30 ,  H01J37/305

CPC分类号： G01J3/0262 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0278 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/95684 ,  G01N2021/8825 ,  G01N2021/95653 ,  H01J37/226 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/31749

公开(公告)号：EP2332162A4

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：EP09820024

申请日：2009-10-11

申请人： FEI CO

发明人： YOUNG RICHARD J ,  RUE CHAD ,  CARLESON PETER D

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01L21/66

CPC分类号： H01L22/12 ,  G06T7/73 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/31749 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00