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公开(公告)号:EP4453998A1
公开(公告)日:2024-10-30
申请号:EP22912313.8
申请日:2022-12-15
发明人: HU, Bin , DUONG, Binh , BALLESTEROS, Carl , LIANG, Yannan , LEE, Hyosang
IPC分类号: H01L21/304 , B08B3/04 , B08B3/10
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公开(公告)号:EP3631045A1
公开(公告)日:2020-04-08
申请号:EP18805643.6
申请日:2018-05-21
发明人: LIANG, Yannan , WEN, Liqing , HU, Bin , LEE, Hyosang , CHANG, Shu-Wei , LIN, Sung Tsai , LIN, Tawei
IPC分类号: C23F1/28
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公开(公告)号:EP4314178A1
公开(公告)日:2024-02-07
申请号:EP22776388.5
申请日:2022-03-21
发明人: CHENG, Qingmin , HU, Bin , KELLY, Kristopher, D. , LIANG, Yannan , LEE, Hyosang , TURNER, Eric , MISHRA, Abhudaya
IPC分类号: C09G1/02 , C09K3/14 , H01L21/304
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公开(公告)号:EP4237501A1
公开(公告)日:2023-09-06
申请号:EP21887258.8
申请日:2021-10-25
发明人: CHENG, Qingmin , HU, Bin , LIANG, Yannan , LEE, Hyosang , WEN, Liqing , ZHANG, Yibin , MISHRA, Abhudaya
IPC分类号: C09G1/02 , C09G1/04 , C09K3/14 , C23F1/14 , H01L21/321
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