公开(公告)号：EP4381022A1

公开(公告)日：2024-06-12

申请号：EP22853720.5

申请日：2022-07-28

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A., Inc.

发明人： HUANG, Ting-Kai ,  HU, Bin ,  LIANG, Yannan ,  PIAO, Hong

IPC分类号： C09G1/04 ,  H01L21/321 ,  B24B37/04

CPC分类号： H01L21/02074 ,  H01L21/02065 ,  C09G1/04

公开(公告)号：EP4211200A1

公开(公告)日：2023-07-19

申请号：EP21867406.7

申请日：2021-09-03

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.

发明人： BJELOPAVLIC, Mick ,  BALLESTEROS, Carl

IPC分类号： C09K13/08 ,  H01L21/306

公开(公告)号：EP4204490A1

公开(公告)日：2023-07-05

申请号：EP21862835.2

申请日：2021-08-27

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.

发明人： KNEER, Emil A ,  DORY, Thomas ,  MIZUTANI, Atsushi

IPC分类号： C08K5/3472 ,  C08K5/42 ,  C08L31/06 ,  C08L79/02 ,  C11D1/40 ,  H01L21/02

公开(公告)号：EP4034605A1

公开(公告)日：2022-08-03

申请号：EP20867124.8

申请日：2020-09-18

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.

发明人： LIANG, Yannan ,  WEN, Liqing ,  HU, Bin ,  LIN, Tawei

IPC分类号： C09G1/00 ,  C09G1/02 ,  C23F1/10

公开(公告)号：EP3995550A1

公开(公告)日：2022-05-11

申请号：EP21206058.6

申请日：2021-11-02

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A., Inc.

发明人： TURNER, Eric ,  MISHRA, Abhudaya ,  BALLESTEROS, Carl

IPC分类号： C09G1/02 ,  C08K5/523

摘要： This disclosure relates to a polishing composition that includes at least one abrasive; at least one nitride removal rate reducing agent, an acid or a base; and water. The at least one nitride removal rate reduce agent can include a hydrophobic portion containing a C 4 to C 40 hydrocarbon group; and a hydrophilic portion containing at least one group selected from the group consisting of a sulfinite group, a sulfate group, a sulfonate group, a carboxylate group, a phosphate group, and a phosphonate group; in which the hydrophobic portion and the hydrophilic portion are separated by zero to ten alkylene oxide groups. The polishing composition can have a pH of from about 2 to about 6.5.

公开(公告)号：EP3963036A1

公开(公告)日：2022-03-09

申请号：EP20798029.3

申请日：2020-04-23

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.

发明人： KNEER, Emil A.

IPC分类号： C11D7/50 ,  C11D7/32

公开(公告)号：EP3918110A1

公开(公告)日：2021-12-08

申请号：EP20748869.3

申请日：2020-01-22

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.

发明人： KNEER, Emil A. ,  WOJTCZAK, William A.

IPC分类号： C23F1/16 ,  C09K13/00 ,  C09K13/06 ,  C23F1/30 ,  H01L21/02 ,  H01L21/306

公开(公告)号：EP3891248A1

公开(公告)日：2021-10-13

申请号：EP19892583.6

申请日：2019-07-22

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.

发明人： BJELOPAVLIC, Mick ,  BALLESTEROS, Carl

IPC分类号： C09K13/08 ,  H01L21/311

公开(公告)号：EP3883676A1

公开(公告)日：2021-09-29

申请号：EP19887485.1

申请日：2019-11-15

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.

发明人： COLE-YOCOM, Marcia ,  HINZIE, Bryan ,  HELZER, Jack ,  CHEN, Yuan ,  AHMADIANNAMINI, Pejman

IPC分类号： B01D61/14 ,  B01D61/18 ,  B01D61/58 ,  B01D71/32 ,  B01D71/56

公开(公告)号：EP3883663A1

公开(公告)日：2021-09-29

申请号：EP19888213.6

申请日：2019-11-21

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.

发明人： COLE-YOCOM, Marcia ,  HINZIE, Bryan ,  CHEN, Yuan ,  HELZER, Jack W. ,  AHMADIANNAMINI, Pejman

IPC分类号： B01D15/18 ,  B01D15/36 ,  B01D61/02 ,  B01D61/08