公开(公告)号：EP0263849B1

公开(公告)日：1992-11-25

申请号：EP87901979.2

申请日：1987-03-09

Applicant: Hughes Aircraft Company ,  Government of the United States ,  Oregon Graduate Institute of Science and Technology

Inventor： CLARK, William, M. Jr. ,  UTLAUT, Mark, W. ,  BEHRENS, Robert, G. ,  SZKLARZ, Eugene, G. ,  STORMS, Edmund, K. ,  SANTANDREA, Robert, P. ,  SWANSON, Lynwood, W.

IPC: H01J27/26

CPC classification number: H01J27/26

Abstract: A liquid metal ion source and alloy, wherein the species to be emitted from the ion source is contained in a congruently vaporizing alloy. In one embodiment, the liquid metal ion source acts as a source of arsenic, and in a source alloy the arsenic is combined with palladium, preferably in a liquid alloy having a range of compositions from about 24 to about 33 atomic percent arsenic. Such an alloy may be readily prepared by a combustion synthesis technique. Liquid metal ion sources thus prepared produce arsenic ions for implantation, have long lifetimes, and are highly stable in operation.

公开(公告)号：EP0263849A1

公开(公告)日：1988-04-20

申请号：EP87901979.0

申请日：1987-03-09

Applicant: Hughes Aircraft Company

Inventor： CLARK, William, M. Jr. ,  UTLAUT, Mark, W. ,  BEHRENS, Robert, G. ,  SZKLARZ, Eugene, G. ,  STORMS, Edmund, K. ,  SANTANDREA, Robert, P. ,  SWANSON, Lynwood, W.

IPC: H01J27 ,  H01J37

CPC classification number: H01J27/26

Abstract: Source d'ions et alliage sous forme de métal liquide, où l'espèce de matériaux devant être émis par la source d'ions est contenue dans un alliage à vaporisation congruente. Dans une réalisation la source d'ions sous forme de métal liquide sert de source d'arsenic, et dans un alliage source l'arsenic est associé à du palladium, de préférence dans un alliage liquide dont la plage de compositions varie depuis environ 24 à environ 33 pourcent atomique d'arsenic. Un alliage de ce genre peut être préparé facilement par une technique de synthèse par combustion. Les sources d'ions sous forme de métal liquide qui sont ainsi préparées fournissent des ions d'arsenic destinés à l'implantation, possèdent une grande longivité et présentent une stabilité de fonctionnement élevée.