公开(公告)号：EP2047506A4

公开(公告)日：2012-04-25

申请号：EP07783916

申请日：2007-05-18

Applicant: IBM

Inventor： STANDAERT THEODORUS E ,  DAVIS PEGEEN M ,  FITZSIMMONS JOHN A ,  GRECO STEPHEN E ,  KO TZE-MAN ,  LUSTIG NAFTALI E ,  NICHOLSON LEE M ,  SANKARAN SUJATHA

IPC: H01L21/4763 ,  H01L21/768

CPC classification number: H01L21/76808 ,  H01L21/76805 ,  H01L21/76814 ,  H01L21/76846 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：EP1721334A4

公开(公告)日：2010-04-07

申请号：EP05711281

申请日：2005-01-06

Applicant: IBM

Inventor： EDELSTEIN DANIEL ,  NICHOLSON LEE M

IPC: H01L23/34 ,  H01L23/053 ,  H01L23/12 ,  H01L23/29 ,  H01L23/31

CPC classification number: H01L23/3135 ,  H01L23/3121 ,  H01L23/3178 ,  H01L23/3185 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/1433 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2224/29099 ,  H01L2924/00