公开(公告)号：EP1992012A4

公开(公告)日：2011-08-17

申请号：EP07861255

申请日：2007-03-01

Applicant: IBM

Inventor： YANG CHIH-CHAO ,  SPOONER TERRY A ,  VAN DER STRATEN OSCAR

IPC: H01L21/4763

CPC classification number: H01L21/76831 ,  H01L21/02063 ,  H01L21/31105 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/32131 ,  H01L21/76805 ,  H01L21/76808 ,  H01L21/76814 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76844 ,  H01L21/76873 ,  H01L23/5226 ,  H01L23/53238 ,  H01L23/5329 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：EP1941545A4

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：EP06825349

申请日：2006-10-03

Applicant: IBM

Inventor： YANG CHIH-CHAO ,  GAUDET SIMON ,  LAVOIE CHRISTIAN ,  PONOTH SHOM ,  SPOONER TERRY A

IPC: H01L23/58 ,  H01L23/532

CPC classification number: H01L21/76843 ,  H01L21/76844 ,  H01L21/76846 ,  H01L21/76856 ,  H01L21/76873 ,  H01L23/53238 ,  H01L2221/1089 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00