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    Method for sharpening microprobe tips
    3.
    发明公开
    Method for sharpening microprobe tips 有权
    VERFAHREN ZURSCHÄRFUNGVON MIKROSONDENSPITZEN

    公开(公告)号：EP2524648A1

    公开(公告)日：2012-11-21

    申请号：EP11166865.3

    申请日：2011-05-20

    申请人： IMEC ,  Katholieke Universiteit Leuven, K.U. Leuven R&D

    发明人： Aarts, Arno ,  Puers, Robert

    IPC分类号： A61B5/04

    CPC分类号： A61B5/04001 ,  A61B5/685 ,  A61B2562/125 ,  B24B19/16

    摘要： The present invention is related to a method for sharpening the tip of a microprobe, in particular a neural probe (2) or an array (1) of neuroprobes (2) having a common base portion (3). The probes have a constant thickness and a chisel-shaped tip portion (5). The probes are attached to the slanted side (12) of a wedge-shaped carrier (10), with the probe tips (5) placed in close proximity to the edge (13) of the carrier, preferably extending over said edge. The base (11) of the carrier is then subjected to a grinding step, possibly followed by a polishing step, so that the probe tips of the probes are ground to form a sharp pointed tip shape (101).

    摘要翻译： 本发明涉及一种用于锐化微探针的尖端的方法，特别是具有公共基部（3）的神经探针（2）或神经元（2）的阵列（1）。 探针具有恒定的厚度和凿状的尖端部分（5）。 探针附接到楔形载体（10）的倾斜侧（12），探针尖端（5）放置在载体的边缘（13）附近，优选地在所述边缘上延伸。 然后将载体的基部（11）进行研磨步骤，可能之后是抛光步骤，使得探针的探针尖端被研磨以形成尖锐的尖端形状（101）。

    A method for precisely controlled masked anodization
    4.
    发明公开
    A method for precisely controlled masked anodization 审中-公开
    Verfahren zurpräzisegesteuerten maskierten Anodisierung

    公开(公告)号：EP2458037A1

    公开(公告)日：2012-05-30

    申请号：EP11162495.3

    申请日：2011-04-14

    申请人： IMEC ,  Katholieke Universiteit Leuven, K.U. Leuven R&D

    发明人： Zerky, Joseph ,  Tilmans, Hendrikus ,  Van Hoof, Chris ,  Puers, Robert

    IPC分类号： C25D11/02 ,  C25D11/04 ,  C25D11/12 ,  C25D11/18 ,  C25D11/24

    CPC分类号： C25D11/12 ,  C25D11/022 ,  C25D11/08 ,  C25D11/10 ,  C25D11/18 ,  C25D11/24 ,  C25D11/246

    摘要： The present invention is related to a method for masked anodization of an anodizable layer on a substrate, for example an aluminium layer present on a sacrificial layer, wherein the sacrificial layer needs to be removed from a cavity comprising a Micro or Nano Electromechanical System (MEMS or NEMS). Anodization of an Al layer leads to the formation of elongate pores, through which the sacrificial layer can be removed. According to the method of the invention, the anodization of the Al layer is done with the help of a first mask which defines the area to be anodized, and a second mask which defines a second area to be anodized, said second area surrounding the first area. Anodization of the areas defined by the first and second mask leads to the formation of an anodized structure in the form of a closed ring around the first area, which forms a barrier against unwanted lateral anodization in the first area.

    摘要翻译： 本发明涉及一种用于掩模阳极氧化底物上阳极氧化层的方法，例如存在于牺牲层上的铝层，其中牺牲层需要从包括微型或纳米机电系统（MEMS） 或NEMS）。 Al层的阳极化导致形成细长的孔，通过该细孔可以去除牺牲层。 根据本发明的方法，通过限定待阳极化区域的第一掩模和限定待阳极氧化的第二区域的第二掩模来进行Al层的阳极氧化，所述第二区域围绕第一 区。 由第一和第二掩模限定的区域的阳极化导致形成围绕第一区域的封闭环形式的阳极氧化结构，其在第一区域中形成防止不希望的横向阳极氧化的阻挡层。

    Connecting scheme for the orthogonal assembly of microstructures
    6.
    发明公开
    Connecting scheme for the orthogonal assembly of microstructures 有权
    Schaltdiagrammfürdie orthogonale Anordnung von Mikrostrukturen

    公开(公告)号：EP1985579A2

    公开(公告)日：2008-10-29

    申请号：EP08154893.5

    申请日：2008-04-21

    申请人： Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) ,  Katholieke Universiteit Leuven

    发明人： Aarts, Arno ,  Neves, Hercules Pereira ,  Van Hoof, Chris ,  Beyne, Eric ,  Puers, Robert

    IPC分类号： B81C3/00

    CPC分类号： B81C3/008 ,  A61B5/04001 ,  A61B5/0478 ,  A61B2562/125 ,  A61N1/0529 ,  A61N1/0531 ,  B81B2201/055 ,  Y10T29/49222

    摘要： In the present invention a device for sensing and/or actuation purposes is presented in which microstructures (20) comprising shafts (2) with different functionality and dimensions can be inserted in a modular way. That way out-of-plane connectivity, mechanical clamping between the microstructures (20) and a substrate (1) of the device, and electrical connection between electrodes (5) on the microstructures (20) and the substrate (1) can be realized. Also connections to external circuitry can be realised. Also microfluidic channels (10) in the microstructures (20) can be connected to external equipment. Also a method to fabricate and assemble the device is provided.

    摘要翻译： 在本发明中，提供了用于感测和/或致动目的的装置，其中可以以模块化方式插入包括具有不同功能和尺寸的轴（2）的微结构（20）。 通过这种方式，可以实现平面外连接，微结构（20）和器件的衬底（1）之间的机械夹紧以及微结构（20）和衬底（1）上的电极（5）之间的电连接 。 还可以实现与外部电路的连接。 微结构（20）中的微流体通道（10）也可以连接到外部设备。 还提供了一种制造和组装该装置的方法。