公开(公告)号：EP1779418A4

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：EP05773487

申请日：2005-06-17

Applicant: ION OPTICS INC

Inventor： PRALLE MARTIN U ,  DALY JAMES T ,  PUSCASU IRINA ,  MCNEAL MARK P ,  JOHNSON EDWARD A

IPC: H01L33/00

CPC classification number: G01J5/20 ,  B82Y20/00 ,  G01J1/02 ,  G01J1/0252 ,  G01J1/42 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/108 ,  G01J5/02 ,  G01J5/023 ,  G01J5/024 ,  G01J5/04 ,  G01J5/045 ,  G01J5/046 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0803 ,  G01J5/0853 ,  G01J5/0862 ,  G01N21/3504 ,  G01N2021/317 ,  G01N2021/3513 ,  G02B6/1225 ,  H01L27/14676

公开(公告)号：EP1779444A4

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：EP05771278

申请日：2005-07-08

Applicant: ION OPTICS INC

Inventor： PUSCASU IRINA ,  PRALLE MARTIN U ,  DALY JAMES T ,  MCNEAL MARK P ,  JOHNSON EDWARD A

IPC: H01L33/00

CPC classification number: G01N21/255 ,  B82Y20/00 ,  B82Y30/00 ,  G01J1/42 ,  G01J3/108 ,  G01J5/20 ,  G01N21/3504 ,  H01L31/101