公开(公告)号：EP4364177A1

公开(公告)日：2024-05-08

申请号：EP21739773.6

申请日：2021-06-28

申请人： Ienai Space, S.L. ,  Consejo Superior De Investigaciones Científicas ,  Fundació Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia (ICN2) ,  Institució Catalana de Recerca i Estudis Avançats

发明人： SEPULVEDA MARTÍNEZ, Borja ,  NOGUÉS SANMIQUEL, Josep ,  GÜELL I GRAU, Pau ,  PÉREZ GRANDE, Daniel ,  WIJNEN, Mick ,  CRUZ, Javier ,  CORREYERO, Sara

IPC分类号： H01J27/26 ,  B82Y40/00 ,  F03H1/00 ,  G03F7/00 ,  B05B5/00

CPC分类号： F03H1/0037 ,  H01J27/26 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  B05B5/0533 ,  B05B5/057 ,  B05B5/16 ,  B05B5/1608