公开(公告)号：EP1460684B1

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：EP04075615.7

申请日：2004-02-26

申请人： Intel Corporation

发明人： Workman, Derek B. ,  Stepniak, Frank ,  Chaudhuri, Arun K. ,  Walsh, Matthew R.

IPC分类号： H01L21/56 ,  H01L21/58 ,  H01L21/60 ,  H01L23/29 ,  H01L23/00 ,  C08K5/54 ,  C08L63/00

CPC分类号： H01L24/29 ,  C08K5/54 ,  H01L21/563 ,  H01L23/293 ,  H01L24/81 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/056 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/81191 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2224/83192 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/3512 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014