公开(公告)号：EP2883244A4

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：EP13828155

申请日：2013-05-20

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  PANZER MATTHEW ALAN

IPC: H01L21/66 ,  H01J61/12 ,  H01J61/16 ,  H01J61/28 ,  H01J61/30 ,  H01J61/52 ,  H01J61/54 ,  H01J65/04

CPC classification number: H01J61/02 ,  H01J61/12 ,  H01J61/125 ,  H01J61/14 ,  H01J61/16 ,  H01J61/28 ,  H01J61/302 ,  H01J61/52 ,  H01J61/54 ,  H01J65/04 ,  H01J65/042