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公开(公告)号：EP0212054B1
公开(公告)日：1990-06-20
申请号：EP86104299.2
申请日：1986-03-27
IPC分类号： G03F1/00
CPC分类号： G03F1/22 , Y10S430/143 , Y10S430/168
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2.发明公开Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl plattenförmiger Mikrostrukturkörper aus Metall 失效一种用于制造多个从金属板形微观结构体的方法。
公开(公告)号：EP0331208A2
公开(公告)日：1989-09-06
申请号：EP89105374.6
申请日：1986-03-18
发明人： Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagman, Peter, Dr. , Maner, Asim, Dr. , Münchmeyer, Dietrich, Dr. , Becker, Erwin, Prof. Dr.
CPC分类号： B81C99/008 , B81C2201/0128 , B81C2201/032 , B81C2201/034 , C25D1/10
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl plattenförmiger Mikrostrukturkörper aus Metall, bei dem durch wiederholtes Abformen eines die Mikrostrukturen aufweisenden Werkzeugs mit einer elektrisch isolierenden Abformmasse Negativformen der Mikrotrukturen erzeugt werden, die galvanisch mit einem Metall aufgefüllt werden, wonach die Negativformen entfernt werden, und bei dem die elektrisch isolierende Abformmasse mit einer elektrisch leitenden, als Elektrode für die Galvanik dienenden Schicht verbunden wird, wobei die Dicke der elektrisch isolierenden Abformmasse der Höhe der herzustellenden Mikrostrukturen entspricht. Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der gattungsgemäßen Art so zu gestalten, daß der Herstellungsaufwwand verringert und damit bessere Voraussetzungen für eine Massenherstellung geschaffen werden. Zur Lösung schlägt die vorliegende Erfindung vor, daß vor dem Abformen eine Schicht (31) aus der elektrisch isolierende Abformmasse mit der Schicht (3) aus elektrisch leitender Abformmasse verbunden wird, und daß das Werkzeug (31) soweit in die Schicht (31) aus der elektrisch isolierenden Abformmasse eingedrückt wird, bis die Stirnflächen (33a) der Mikrostrukturen (33) des Werkzeugs (31) die Schicht (30) aus elektrisch leitender Abformmasse berühren.
摘要翻译： 本发明涉及一种方法，用于制造多个由金属板形微观结构体，通过重复模制具有与Mikrotrukturen的电绝缘模制化合物的负形式，其中，其被流电填充有金属，随后负模具移除工具的微结构中创建，并且 其中所述电绝缘模制化合物被结合到导电的，用作用于电镀层的电极，其中所述微结构的高度的电绝缘模制化合物的厚度要生产对应。 本发明的目的来设计的一般类型的方法，使得减少Herstellungsaufwwand并创建大规模生产更好的条件。 为了解决本发明提出的是，电绝缘模制化合物与层（3）的层（31）被模制之前，连接在导电印模材料，并且所述工具（31），只要进入的层（31） 电绝缘模制化合物被按压，直到端面（33A）接触的工具（31）导电性模塑复合物的层（30）的所述微结构（33）。
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公开(公告)号：EP0212054A3
公开(公告)日：1988-11-09
申请号：EP86104299
申请日：1986-03-27
IPC分类号： G03F01/00
CPC分类号： G03F1/22 , Y10S430/143 , Y10S430/168
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4.发明授权
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5.发明公开Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl plattenförmiger Mikrostrukturkörper aus Metall 失效一种用于制造多个从金属板形微观结构体的方法。
公开(公告)号：EP0328161A2
公开(公告)日：1989-08-16
申请号：EP89105375.3
申请日：1986-03-18
发明人： Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagmann, Peter, Dr. , Maner, Asim, Dr. , Münchmeyer, Dietrich, Dr. , Becker, Erwin, Prof. Dr.
CPC分类号： B81C99/008 , B81C2201/0128 , B81C2201/032 , B81C2201/034 , C25D1/10
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl plattenförmiger Mikrostrukturkörper aus Metall, bei dem durch wiederholtes Abformen eines die Mikrostrukturen aufweisenden Werkzeugs mit einer elektrisch isolierenden Abformmasse Negativformen der Mikrostrukturen erzeugt werden, die galvanisch mit einem Metall aufgefüllt werden, wonach die Negativformen entfernt werden, und bei dem elektrisch leitendes Material wieder lösbar auf die Mikrostrukturen des Werkzeugs aufgebracht und im Zuge des Abformens auf die Abformmasse übertragen wird. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der gattungsgemäßen Art so zu gestalten, daß damit eine störungsfreie galvanische Auffüllung der Negativformen selbst bei sehr hohen Aspektverhältnissen und kleinsten charakteristischen, lateralen Abmessungen der Mikrostrukturen ermöglicht wird. Zur Lösung schlägt die vorliegende Erfindung vor, daß das elektrisch leitende Material auf die Stirnflächen (5a) der Mikrostrukturen (5) des Werkzeugs (4) aufgebracht wird, von wo es im Zuge des Abformens auf die diesen Stirnflächen (5a) gegenüberliegenden Formböden (10a) der Abformmasse (9) übertragen wird.
摘要翻译： 本发明涉及一种方法，用于制造多个由金属板形微观结构体，通过重复模制具有与所述微结构，其中，其被流电填充有金属，随后负模具除去的电绝缘模制化合物阴模的工具微结构创建的，并 可拆卸地施加在导电材料回到工具的微结构和在印模材料模制的过程中传输。 本发明解决了设计的一般类型，使得负模具，从而无故障的电填充成为可能，即使具有非常高的纵横比和微结构的最小特征的横向尺寸的方法的问题。 为了解决本发明提出的是在端面上（图5a）中的导电材料被施加到微结构（5）的工具（4），（从它在这些端面（5a）的模制模的底部10a的过程中相对 ）被发送到所述印模材料（9）。
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6.发明公开Verfahren zur Herstellung von elektrischen Kontaktwerkstoffen 失效Verfahren zur Herstellung von elektrischen Kontaktwerkstoffen。
公开(公告)号：EP0285941A2
公开(公告)日：1988-10-12
申请号：EP88104920.9
申请日：1988-03-26
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Hertellung von elektrischen Kontaktwerkstoffen.
Die Erfindung hat zur Aufgabe, ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Kontaktwerkstoffes in Gestalt eines Kontaktkörpers aus einem heterogen Verbund aus zwei Komponenten zu schaffen, bei dem die laterale, d.h. quer zum elektrischen Stromfluß des Kontaktkörpers sich erstreckende Verteilung und Geometrie der beiden Komponenten im µm-Bereich frei wählbar und mit hoher Genauigkeit einhaltbar sind.
Die Lösung ist durch folgende Verfahrensschritte gekennzeichnet:
a) Herstellen einer Form aus von einer Trägerschicht vorspringenden Kunststoffzapfen;
b) Auffüllen der freien Bereiche der Form mit der einen Komponente und Entfernen des Kunststoffes;
c) Auffüllen der Vertiefungen der so entstandenen Struktur mit der anderen Komponente.摘要翻译： 本发明涉及一种用于制造电触头材料的方法。 本发明的目的是制造一种用于制造接触体形式的电接触材料的方法，所述接触体由具有两个组分的异种复合材料构成，其中复合材料的横向，即与直流电流 两个部件的接触体，分布和几何形状可在mu m范围内自由选择，并可以高精度地保持。 该解决方案的特征在于以下工艺步骤：a）制造从载体层突出的塑料钉的模制件; b）用一个部件填充模制件的自由区域并移除塑料; c）用其他部件填充以这种方式制造的结构的凹陷。
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公开(公告)号：EP0285941B1
公开(公告)日：1993-08-25
申请号：EP88104920.9
申请日：1988-03-26
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8.发明授权Verfahren zur Herstellen einer Vielzahl plattenförmiger Mikrostrukturkörper aus Metall 失效用于制造多个由金属制成的板状微结构体的方法
公开(公告)号：EP0224630B1
公开(公告)日：1990-08-29
申请号：EP86103636.6
申请日：1986-03-18
发明人： Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagmann, Peter, Dr. , Maner, Asim, Dr. , Münchmeyer, Dietrich, Dr. , Becker, Erwin, Prof. Dr.
CPC分类号： B81C99/008 , B81C2201/0128 , B81C2201/032 , B81C2201/034 , C25D1/10
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9.发明公开Verfahren zur Reproduktion eines strukturierten, plattenförmigen Körpers 失效Verfahren zur Reproduktion eines strukturierten，plattenförmigenKörpers。
公开(公告)号：EP0374429A1
公开(公告)日：1990-06-27
申请号：EP89119817.8
申请日：1989-10-25
发明人： Maner, Asim, Dr.
IPC分类号： C25D1/10
CPC分类号： C25D1/10
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reproduktion eines strukturierten, plattenförmigen Körpers durch Einpressen eines Werkzeuges in eine Abformmasse.
Der Einpreßvorgang des Werkzeugs in die Abformmasse und das Zurückziehen des Werkzeugs soll vereinfacht werden.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Werkzeug mit Ultraschallunterstützung in die Abformmasse eingepreßt wird.摘要翻译： 本发明涉及通过将模具压入印模组合物来再现平面结构体的方法。 ...将模具压入印模组合物和模具取出的操作简化。 根据本发明，通过用超声波支撑将模具压入印模组合物来实现该目的。
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10.发明公开Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl plattenförmiger Mikrostrukturkörper aus Metall 失效用于生产具有多个微结构的金属体的方法
公开(公告)号：EP0331208A3
公开(公告)日：1990-01-31
申请号：EP89105374.6
申请日：1986-03-18
发明人： Ehrfeld, Wolfgang, Dr. , Hagman, Peter, Dr. , Maner, Asim, Dr. , Münchmeyer, Dietrich, Dr. , Becker, Erwin, Prof. Dr.
CPC分类号： B81C99/008 , B81C2201/0128 , B81C2201/032 , B81C2201/034 , C25D1/10
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl plattenförmiger Mikrostrukturkörper aus Metall, bei dem durch wiederholtes Abformen eines die Mikrostrukturen aufweisenden Werkzeugs mit einer elektrisch isolierenden Abformmasse Negativformen der Mikrotrukturen erzeugt werden, die galvanisch mit einem Metall aufgefüllt werden, wonach die Negativformen entfernt werden, und bei dem die elektrisch isolierende Abformmasse mit einer elektrisch leitenden, als Elektrode für die Galvanik dienenden Schicht verbunden wird, wobei die Dicke der elektrisch isolierenden Abformmasse der Höhe der herzustellenden Mikrostrukturen entspricht. Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der gattungsgemäßen Art so zu gestalten, daß der Herstellungsaufwwand verringert und damit bessere Voraussetzungen für eine Massenherstellung geschaffen werden. Zur Lösung schlägt die vorliegende Erfindung vor, daß vor dem Abformen eine Schicht (31) aus der elektrisch isolierende Abformmasse mit der Schicht (3) aus elektrisch leitender Abformmasse verbunden wird, und daß das Werkzeug (31) soweit in die Schicht (31) aus der elektrisch isolierenden Abformmasse eingedrückt wird, bis die Stirnflächen (33a) der Mikrostrukturen (33) des Werkzeugs (31) die Schicht (30) aus elektrisch leitender Abformmasse berühren.
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