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    PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN COMPOSANT HORLOGER HYBRIDE
    1.
    发明公开
    PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN COMPOSANT HORLOGER HYBRIDE 审中-公开
    生产混合钟表部件的方法

    公开(公告)号：EP3202708A1

    公开(公告)日：2017-08-09

    申请号：EP16154126.3

    申请日：2016-02-03

    Applicant: ROLEX SA

    Inventor： BOSSART, Richard ,  CALAME, Florian

    IPC: B81C99/00 ,  G04B13/02

    CPC classification number: G04B31/06 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/0085 ,  B81C2201/034 ,  G04B1/145 ,  G04B13/02

    Abstract: Procédé de fabrication d'un composant horloger hybride, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes:
    - Structurer au moins une plaque (14) d'un premier matériau micro-usinable de sorte à former au moins une ouverture traversante (15) au sein de la plaque (14), ladite plaque (14) structurée étant destinée à former une première partie (4) du composant horloger hybride ;
    - Déposer un métal par électroformage, de sorte que le métal s'étende au travers l'ouverture traversante (15) et sur les deux faces supérieure et inférieure de la plaque (14) d'un seul tenant résultant d'une même étape d'électroformage, le métal électroformé étant destiné à former une seconde partie (8) du composant horloger hybride.

    Abstract translation: 一种制造混合式手表部件的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤： - 将第一可微加工材料的至少一个板（14）构造成形成至少一个通孔（15） 在所述板（14）内，所述结构板（14）旨在形成所述混合式手表部件的第一部分（4）; - 通过电铸来沉积金属，使得金属通过贯通开口（15）并且在板（14）的上下两个面上延伸成一个整体，由相同的步骤 所述电铸金属用于形成所述混合式手表部件的第二部分（8）。

    Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Formkörpers
    3.
    发明公开
    Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Formkörpers 有权
    Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturiertenFormkörpers

    公开(公告)号：EP2650256A2

    公开(公告)日：2013-10-16

    申请号：EP13162904.0

    申请日：2013-04-09

    Applicant: Technische Universität Ilmenau

    Inventor： Schober, Andreas ,  Hampl, Jörg ,  Weise, Frank ,  Schlingloff, Gregor ,  Fernekorn, Uta

    IPC: B81C1/00 ,  B81C99/00

    CPC classification number: B44C1/227 ,  B81B2201/06 ,  B81B2203/0346 ,  B81B2207/056 ,  B81C99/0085 ,  B81C2201/034 ,  Y10T428/24281

    Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Formkörpers, welcher insbesondere zur Kultivierung von biologischen Zellen vorgesehen ist. Gemäß diesem Verfahren wird zunächst eine plastisch verformbare, poröse erste Folie (01) bereitgestellt. Weiterhin werden eine verformbare zweite Folie (02) und eine verformbare Opferfolie (03) bereitgestellt. Die erste Folie (01), die zweite Folie (02) und die Opferfolie (03) werden zu einem Folienstapel (01, 02, 03) gestapelt. Anschließend wird die Opferfolie (03) mit einem Druck beaufschlagt, um den Folienstapel (01, 02 ,03) in eine Form (04) zu pressen. Die Form (04) weist Ausnehmungen (06) auf, wodurch in der Opferfolie (03), in der ersten Folie (01) und in der zweiten Folie (02) jeweils verformte Bereiche (07, 09) in Form von Kavitäten ausgebildet werden und unverformte Bereiche (08, 11) verbleiben. Beim Pressen des Folienstapels (01, 02, 03) in die Form (04) werden die erste Folie (01) und die zweite Folie (02) miteinander verbunden, sodass sie einen Folienverbund (01, 02) ausbilden. Daraufhin erfolgt ein Ätzen von zumindest Teilen der verformten Bereiche (09) der zweiten Folie (02), wodurch Abschnitte der zweiten Folie (02) chemisch aufgelöst werden. In diesen Abschnitten der zweiten Folie (02) werden Abschnitte (12) in den verformten Bereichen (07) der ersten Folie (01) freigelegt, sodass die Poren in diesen Abschnitten (12) wieder geöffnet werden.

    Abstract translation: 该方法包括堆叠具有孔的可变形的第一膜（01），可变形的第二膜（O 2）和可变形的第一牺牲膜以形成一叠膜，用压力将膜堆叠压在模具中 其中变形部分以空腔形式形成，未变形区域保留在第一牺牲膜中，在第一膜和第二膜中，并且第一膜和第二膜（O 2）连接在一起以形成复合膜 并从复合膜中除去第一受害膜。 该方法包括堆叠具有孔的可变形的第一膜（01），可变形的第二膜（O 2）和可变形的第一牺牲膜以形成一叠膜，用压力将膜堆叠压在模具中 其中变形部分以空腔形式形成，未变形区域保留在第一牺牲膜中，在第一膜和第二膜中，并且第一膜和第二膜（O 2）连接在一起以形成复合膜 从复合膜去除第一受害膜，并且通过化学溶解部分以暴露第一膜中的变形部分（07）来蚀刻第二膜的变形部分的部分。 第一膜和第二膜彼此连接。 孔的直径为500〜2μm。 第一片厚度为20-80微米。 模具具有用于形成空腔的凹槽。 凹槽的直径为50-500亩。 第二片中的变形部分的厚度厚度小于变形前厚度的50％。 该方法还包括用第一膜，第二膜和第一受害膜层叠第三膜以形成膜堆叠，在压制膜堆的同时在第三膜中形成变形和未变形的部分，蚀刻第三膜中的变形部分 通过化学溶解所述部分，将具有孔的可变形的第四塑料膜和第二受害膜堆叠在复合膜上，用压力加压第二受害膜以将复合膜中的第四膜压制，使得形成变形部分 以空腔和未变形区域的形式保留在第二受害者薄膜和第四薄膜中，并且去除第二受害薄膜。 第三膜布置在第一膜和第二膜之间。 第一，第二和第三部电影面临着第一部受害者电影。 第三膜和第二膜相互连接以形成复合膜。

    Aerogel-bases mold for MEMS fabrication and formation thereof
    6.
    发明公开
    Aerogel-bases mold for MEMS fabrication and formation thereof 审中-公开
    形成Aerogelbasis zur MEMS-Herstellung und -Bildung

    公开(公告)号：EP2082990A2

    公开(公告)日：2009-07-29

    申请号：EP09150686.5

    申请日：2009-01-15

    Applicant: Honeywell International Inc.

    Inventor： Carlson, Robert J.

    IPC: B81C5/00

    CPC classification number: B29C33/3842 ,  B29C41/00 ,  B29C59/14 ,  B29C59/16 ,  B29K2909/00 ,  B29K2995/0037 ,  B81B7/00 ,  B81B2201/05 ,  B81B2201/058 ,  B81B2203/0127 ,  B81C99/009 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0143 ,  B81C2201/034 ,  C23F1/02 ,  H01L21/30604 ,  Y10T428/24496

    Abstract: The invention is directed to a patterned aerogel-based layer that serves as a mold for at least part of a microelectromechanical feature. The density of an aerogel is less than that of typical materials used in MEMS fabrication, such as poly-silicon, silicon oxide, single-crystal silicon, metals, metal alloys, and the like. Therefore, one may form structural features in an aerogel-based layer at rates significantly higher than the rates at which structural features can be formed in denser materials. The invention further includes a method of patterning an aerogel-based layer to produce such an aerogel-based mold. The invention further includes a method of fabricating a microelectromechanical feature using an aerogel-based mold. This method includes depositing a dense material layer directly onto the outline of at least part of a microelectromechanical feature that has been formed in the aerogel-based layer.

    Abstract translation: 本发明涉及用作至少部分微机电特征的模具的图案化气凝胶基层。 气凝胶的密度小于MEMS制造中使用的典型材料的密度，例如多晶硅，氧化硅，单晶硅，金属，金属合金等。 因此，可以以比在更致密的材料中形成结构特征的速率显着更高的速率在气凝胶层中形成结构特征。 本发明还包括一种图案化气凝胶层以产生这种基于气凝胶的模具的方法。 本发明还包括使用基于气凝胶的模具制造微机电特征的方法。 该方法包括将致密材料层直接沉积在已经形成在气凝胶层中的微机电特征的至少一部分的轮廓上。

    MICROFABRICATION
    9.
    发明公开
    MICROFABRICATION 审中-公开
    一种制备微腔的具有限定轮廓过程

    公开(公告)号：EP1940733A2

    公开(公告)日：2008-07-09

    申请号：EP06808341.9

    申请日：2006-10-20

    Applicant: BAE Systems plc

    Inventor： HUCKER, Martyn, John ,  WARSOP, Clyde

    IPC: B81C5/00

    CPC classification number: B81C1/00103 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/033 ,  B81B2203/0376 ,  B81B2203/0384 ,  B81C2201/034

    Abstract: A method of forming a surface of micrometer dimensions conforming to a desired contour for a MEMS device, the method comprising providing a crystalline silicon substrate with a recess in an upper surface, providing a thinner layer of crystalline silicon over the upper surface of the substrate, fusion bonding the layer to the substrate under vacuum conditions, and applying heat to the layer and applying atmospheric pressure on the layer, such as to plastically deform the diaphragm within the recess to the desired contour. The substrate may form the fixed electrode of an electrostatic MEMS actuator, operating on the zip principle.

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