公开(公告)号：EP2027594A4

公开(公告)日：2010-03-17

申请号：EP06786767

申请日：2006-07-10

申请人： NEXGEN SEMI HOLDING INC

发明人： ZANI MICHAEL JOHN ,  SCOTT JEFFREY WINFIELD ,  BENNAHMIAS MARK JOSEPH ,  MAYSE MARK ANTHONY

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/04 ,  H01J37/302

CPC分类号： H01J37/3056 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/045 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3172 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31713 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/31735 ,  H01J2237/31737 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749 ,  H01J2237/3175 ,  H01J2237/31766 ,  H01L21/265 ,  H01L21/26513 ,  H01L21/76267 ,  H01L21/84 ,  H01L27/0629 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/66659 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/24893