专利检索 ap:("NITTO DENKO CORP") AND inv:"UENDA DAISUKE" 第 1 页

1.

发明公开
CLEANING MEMBER, DELIVERY MEMBER WITH CLEANING FUNCTION, AND METHOD OF CLEANING SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS 有权
标题翻译：清洁四肢，四肢供应带清洗功能和方法清洁基板处理装置

公开(公告)号：EP2050515A4

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：EP07767769

申请日：2007-06-28

申请人： NITTO DENKO CORP

发明人： SUGO YUKI , TERADA YOSHIO , UENDA DAISUKE , NAMIKAWA MAKOTO , YOSHIDA YOSHINORI , MAENO YOUHEI

IPC分类号： B08B1/00 , H01L21/304

CPC分类号： H01L21/67046 , B08B1/00 , B08B7/0028 , C23C16/4407

2.

发明公开
CLEANING SHEET, TRANSFER MEMBER PROVIDED WITH CLEANING FUNCTION, AND METHOD FOR CLEANING SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS 审中-公开
标题翻译：带清洗功能EQUIPPED传递构件和方法清洁基板处理装置的清洁片

公开(公告)号：EP1942519A4

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：EP06811663

申请日：2006-10-12

申请人： NITTO DENKO CORP

发明人： UENDA DAISUKE , ARIMITSU YUKIO , TERADA YOSHIO , AMANO YASUHIRO , MURATA AKIHISA

IPC分类号： B08B1/00 , A47L25/00 , H01L21/304

CPC分类号： B08B1/00 , B08B7/0028 , H01L21/02096 , Y10T428/24355 , Y10T428/2457 , Y10T428/24612 , Y10T428/31