公开(公告)号：EP2882883B1

公开(公告)日：2017-10-04

申请号：EP13752822.0

申请日：2013-08-05

申请人： Plansee SE ,  Veeco Instruments Inc.

发明人： PLANKENSTEINER, Arno ,  FEIST, Christian ,  BOGUSLAVSKIY, Vadim ,  GURARY, Alexander I. ,  CHANG, Chenghung Paul

IPC分类号： C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  H01L21/67

CPC分类号： H05B1/00 ,  C23C16/4585 ,  C23C16/46 ,  H01L21/67115

摘要： A terminal for mechanical support of a heating element, includes a base device, a mounting device, the mounting device adapted to support the heating element, and a support device connecting the base device to the mounting device, the support device allowing displacement of the heating element about a radial axis and less than about 10% displacement of the heating element about a tangential and/or axial axis.

摘要翻译： 一种用于加热元件的机械支撑的端子，包括基座装置，安装装置，适于支撑加热元件的安装装置以及将基座装置连接到安装装置的支撑装置，支撑装置允许加热 元件围绕径向轴线并小于加热元件围绕切向和/或轴向轴线的约10％的位移。

公开(公告)号：EP2882883A1

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：EP13752822.0

申请日：2013-08-05

申请人： Plansee SE ,  Veeco Instruments Inc.

发明人： PLANKENSTEINER, Arno ,  FEIST, Christian ,  BOGUSLAVSKIY, Vadim ,  GURARY, Alexander I. ,  CHANG, Chenghung Paul

IPC分类号： C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  H01L21/67

CPC分类号： H05B1/00 ,  C23C16/4585 ,  C23C16/46 ,  H01L21/67115

摘要： A terminal for mechanical support of a heating element, includes a base device, a mounting device, the mounting device adapted to support the heating element, and a support device connecting the base device to the mounting device, the support device allowing displacement of the heating element about a radial axis and less than about 10% displacement of the heating element about a tangential and/or axial axis.

摘要翻译： 一种用于加热元件的机械支撑的端子，包括基座装置，安装装置，适于支撑加热元件的安装装置，以及将基座装置连接到安装装置的支撑装置，支撑装置允许加热 元件围绕径向轴线并且围绕切线和/或轴向轴线小于约10％的加热元件的位移。

公开(公告)号：EP4104198A1

公开(公告)日：2022-12-21

申请号：EP20804207.7

申请日：2020-11-09

申请人： Plansee SE

发明人： FEIST, Christian ,  GERZOSKOVITZ, Stefan ,  SCHATTE, Jürgen ,  PLANKENSTEINER, Arno ,  BIENERT, Christian ,  HUBER, Karl

IPC分类号： H01J35/10