公开(公告)号：EP4434077A1

公开(公告)日：2024-09-25

申请号：EP22899645.0

申请日：2022-11-29

申请人： Quantum Brilliance Pty Ltd. ,  The Australian National University

发明人： DOHERTY, Marcus ,  OBERG, Lachlan ,  WEBER, Cedric ,  SERGEIEVA, Tetiana ,  PAKES, Chris ,  SCHENK, Alex ,  STACEY, Alastair

IPC分类号： H01L21/02 ,  B28B3/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01Q60/10 ,  C30B23/02 ,  C30B25/18 ,  C30B29/04 ,  G06N10/40

CPC分类号： B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01Q60/10 ,  G06N10/40 ,  C30B29/04 ,  G01Q80/00 ,  C30B25/186 ,  C30B25/205 ,  H01L29/1602 ,  H01L21/02376 ,  H01L21/02527 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/02639 ,  H01L21/02642 ,  H01L21/0259 ,  H01L21/02444 ,  H01L21/02494 ,  H01L21/02631 ,  H01L29/66977 ,  H01L29/32 ,  H01L29/34