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发明公开
RESIST COMPOSITION, RESIST PATTERN FORMATION METHOD, POLYMERIC COMPOUND, AND COMPOUND 审中-公开
标题翻译：涂料组合物，形成涂料结构的方法和相关的聚合物复合

公开(公告)号：EP2584409A4

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：EP11795722

申请日：2011-06-14

申请人： TOKYO OHKA KOGYO CO LTD

发明人： KAWAUE AKIYA , DOHTANI KAZUSHIGE , UTSUMI YOSHIYUKI , IWASHITA JUN , KONNO KENRI , SHIONO DAIJU , TAKAKI DAICHI

IPC分类号： G03F7/039 , C07C381/12 , C08F20/38 , G03F7/004 , H01L21/027

CPC分类号： G03F7/027 , C07C69/54 , C07C309/04 , C07C309/09 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C311/48 , C07C311/51 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C08F20/38 , C08F2220/382 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , Y10S430/111 , Y10S430/121