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发明公开
CVD DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING SUSCEPTOR IN WHICH CVD DEVICE IS USED, AND SUSCEPTOR 审中-公开
标题翻译： CVD装置中，产生一个基座WITH A CVD装置和基座的方法

公开(公告)号：EP2767612A4

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：EP12840633

申请日：2012-10-12

申请人： TOYO TANSO CO

发明人： KITA MASAAKI , KUBOTA TAKESHI , HIRANO HIROYUKI

IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/04 , C23C16/32 , C23C16/44 , C30B35/00 , H01L21/205

CPC分类号： C30B35/00 , C04B41/009 , C04B41/5057 , C04B41/5059 , C04B41/87 , C23C16/042 , C23C16/325 , C23C16/4404 , C23C16/4588 , C04B35/52 , C04B41/4531 , C04B41/4572