公开(公告)号：EP1474824B1

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：EP03739657.9

申请日：2003-02-14

申请人： Toyoda Gosei Co.,Ltd.

发明人： MIKI, Hisayuki, ,  SAKURAI, Tetsuo, ,  OKUYAMA, Mineo,

IPC分类号： H01L21/205 ,  C30B25/02 ,  C30B25/14 ,  C30B29/40

CPC分类号： C30B25/02 ,  C30B25/00 ,  C30B25/14 ,  C30B29/403 ,  C30B29/406 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01L33/007 ,  H01L33/38 ,  H01L33/42