公开(公告)号：EP2077574B1

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：EP07830086.0

申请日：2007-10-18

申请人： ULVAC, INC.

发明人： IIJIMA, Eiichi ,  SHEN, Guo Hua ,  SATAKE, Tohru

IPC分类号： H01J37/06 ,  H01J37/04 ,  H01J3/02 ,  H01J37/07 ,  H01J37/304

CPC分类号： H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/06 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/182

公开(公告)号：EP2077574A1

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：EP07830086.0

申请日：2007-10-18

申请人： ULVAC, INC.

发明人： IIJIMA, Eiichi ,  SHEN, Guo Hua ,  SATAKE, Tohru

IPC分类号： H01J37/06 ,  H01J37/04

CPC分类号： H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/06 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/182

摘要： [Object] In the control of electron beam focusing of a pierce-type electron gun, any influences from the space charge effect and space charge neutralizing action within the electron gun are eliminated to attain complete control of an electron beam.
[Solving Means] Feedback control of the pressure within the electron gun is performed by directly measuring temperature at an internal of the pierce-type electron gun. It is desirable that locations where the direct measurement of the temperature at the internal of the electron gun is performed are an anode (39) and a flow register (43). Further, the direct measurement can be performed at any one of a ring, an aperture and an exhaust pipe provided at an outlet or an inlet of any one of a cathode chamber (31), an intermediate chamber, and a scanning chamber (33). Accordingly, all of stabilization of beam producing area (optimized design of electron gun itself), stabilization of beam transporting portion and stabilization of beam using portion have become appropriate.

摘要翻译： [目的]在穿透型电子枪的电子束聚焦的控制中，消除了电子枪内的空间电荷效应和空间电荷中和作用的任何影响，以实现电子束的完全控制。 [解决方法]电子枪内的压力的反馈控制通过直接测量穿孔式电子枪内部的温度来进行。 期望进行电子枪内部的温度的直接测量的位置是阳极（39）和流动寄存器（43）。 此外，直接测量可以在设置在阴极室（31），中间室和扫描室（33）中的任一个的出口或入口处的环，孔和排气管中的任一个处进行， 。 因此，光束产生区域的所有稳定（电子枪本身的优化设计），光束传送部分的稳定和光束使用部分的稳定已经变得合适。