公开(公告)号：EP1914330A4

公开(公告)日：2010-03-03

申请号：EP06766798

申请日：2006-06-16

申请人： UNIV TOHOKU ,  MITSUBISHI CHEM CORP ,  NIHON CERATEC CO LTD

发明人： OHMI TADAHIRO ,  SHIRAI YASUYUKI ,  MORINAGA HITOSHI ,  KAWASE YASUHIRO ,  KITANO MASAFUMI ,  MIZUTANI FUMIKAZU ,  ISHIKAWA MAKOTO ,  KISHI YUKIO

IPC分类号： C23C28/00 ,  C23C8/10 ,  C25D11/08 ,  C25D11/10 ,  C25D11/16 ,  C25D11/18 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC分类号： C23C4/02 ,  C23C8/80 ,  C23C28/00 ,  C23C28/042 ,  C25D11/02 ,  C25D11/04 ,  C25D11/08 ,  C25D11/10 ,  C25D11/16 ,  C25D11/18 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/31678

公开(公告)号：EP1918427A4

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：EP06746158

申请日：2006-05-09

申请人： UNIV TOHOKU ,  MITSUBISHI CHEM CORP

发明人： OHMI TADAHIRO ,  SHIRAI YASUYUKI ,  MORINAGA HITOSHI ,  KAWASE YASUHIRO ,  KITANO MASAFUMI ,  MIZUTANI FUMIKAZU ,  ISHIKAWA MAKOTO

IPC分类号： C25D11/04 ,  C25D11/06 ,  C25D11/18 ,  H01L21/3065

CPC分类号： C25D11/06 ,  C25D11/18 ,  Y10T428/265