公开(公告)号：EP1914330A4

公开(公告)日：2010-03-03

申请号：EP06766798

申请日：2006-06-16

申请人： UNIV TOHOKU ,  MITSUBISHI CHEM CORP ,  NIHON CERATEC CO LTD

发明人： OHMI TADAHIRO ,  SHIRAI YASUYUKI ,  MORINAGA HITOSHI ,  KAWASE YASUHIRO ,  KITANO MASAFUMI ,  MIZUTANI FUMIKAZU ,  ISHIKAWA MAKOTO ,  KISHI YUKIO

IPC分类号： C23C28/00 ,  C23C8/10 ,  C25D11/08 ,  C25D11/10 ,  C25D11/16 ,  C25D11/18 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC分类号： C23C4/02 ,  C23C8/80 ,  C23C28/00 ,  C23C28/042 ,  C25D11/02 ,  C25D11/04 ,  C25D11/08 ,  C25D11/10 ,  C25D11/16 ,  C25D11/18 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/31678

公开(公告)号：EP1783554A4

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：EP05751379

申请日：2005-06-16

申请人： UNIV TOHOKU ,  NIHON CERATEC CO LTD ,  TAIHEIYO CEMENT CORP

发明人： OHMI TADAHIRO ,  TAKEHISA KIWAMU ,  MORIYAMA S ,  SASAKI S ,  HIROSE M ,  ISHII M ,  SUGAYA T ,  KATAOKA M ,  UMEZU MOTOHIRO

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68

CPC分类号： G03F7/7095 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70825

摘要： A stage member having a high resistance and resonance frequency against torsional oscillation is provided. The stage member has a honeycomb structure wherein a square pole shaped space part is provided and a wall constituting the space part is arranged vertical to a torsional deformation direction. Exposure equipment including such stage member is also provided. The honeycomb structure of the stage member is desirably constituted of ceramics.

公开(公告)号：EP1918427A4

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：EP06746158

申请日：2006-05-09

申请人： UNIV TOHOKU ,  MITSUBISHI CHEM CORP

发明人： OHMI TADAHIRO ,  SHIRAI YASUYUKI ,  MORINAGA HITOSHI ,  KAWASE YASUHIRO ,  KITANO MASAFUMI ,  MIZUTANI FUMIKAZU ,  ISHIKAWA MAKOTO

IPC分类号： C25D11/04 ,  C25D11/06 ,  C25D11/18 ,  H01L21/3065

CPC分类号： C25D11/06 ,  C25D11/18 ,  Y10T428/265

公开(公告)号：EP1602978A4

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：EP04710494

申请日：2004-02-12

申请人： NIHON CERATEC CO LTD ,  OHMI TADAHIRO

发明人： TAKEHISA KIWAMU ,  MORIYAMA SHIROU ,  SAKAMAKI MAKOTO ,  OHMI TADAHIRO

IPC分类号： G02F1/13 ,  C04B35/565 ,  C04B35/584 ,  C04B38/00 ,  G02F1/1343 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/70716 ,  C04B35/565 ,  C04B35/584 ,  C04B2235/36 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/9607 ,  G03F7/7095

摘要： A composite ceramic material with a honeycomb structure which is composed by adding glass into silicon carbide is used for a mask stage (2) and a substrate stage (12) in a exposure apparatus (100) for liquid crystal panels.

公开(公告)号：EP2669933A4

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：EP12739117

申请日：2012-01-23

申请人： UNIV TOHOKU NAT UNIV CORP ,  FURUKAWA ELECTRIC CO LTD

发明人： KAMBAYASHI HIROSHI ,  TERAMOTO AKINOBU ,  OHMI TADAHIRO

IPC分类号： H01L21/20 ,  H01L21/302 ,  H01L21/306 ,  H01L29/66 ,  H01L29/778

CPC分类号： H01L21/30604 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/02507 ,  H01L21/02521 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02664 ,  H01L21/302 ,  H01L21/30621 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/4236 ,  H01L29/51 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/66522 ,  H01L29/7783 ,  H01L29/7827

公开(公告)号：EP2669951A4

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：EP12739888

申请日：2012-01-23

申请人： UNIV TOHOKU ,  FURUKAWA ELECTRIC CO LTD ,  FUJI ELECTRIC CO LTD ,  TOKYO ELECTRON LTD

发明人： TERAMOTO AKINOBU ,  KAMBAYASHI HIROSHI ,  UEDA HIROKAZU ,  MOROZUMI YUICHIRO ,  HARADA KATSUSHIGE ,  HASEBE KAZUHIDE ,  OHMI TADAHIRO

IPC分类号： H01L29/78 ,  H01L21/02 ,  H01L21/28 ,  H01L21/316 ,  H01L21/336 ,  H01L21/338 ,  H01L29/20 ,  H01L29/423 ,  H01L29/51 ,  H01L29/778 ,  H01L29/786 ,  H01L29/812

CPC分类号： H01L21/02274 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02178 ,  H01L21/022 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/28264 ,  H01L23/564 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/205 ,  H01L29/42364 ,  H01L29/51 ,  H01L29/513 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/778 ,  H01L29/7787 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：EP1976017A4

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：EP06835010

申请日：2006-12-20

申请人： UNIV TOHOKU ,  FOUND ADVANCEMENT INT SCIENCE

发明人： OHMI TADAHIRO ,  TERAMOTO AKINOBU ,  WATANABE KAZUFUMI

IPC分类号： H01L29/786 ,  H01L21/8238 ,  H01L27/08 ,  H01L27/092

CPC分类号： H01L27/1211 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823821 ,  H01L21/823878 ,  H01L29/045 ,  H01L29/785 ,  H01L2029/7857

公开(公告)号：EP1898456A4

公开(公告)日：2009-11-18

申请号：EP06757104

申请日：2006-06-07

申请人： UNIV TOHOKU ,  TOKYO ELECTRON LTD

发明人： OHMI TADAHIRO ,  TERAMOTO AKINOBU ,  HONDA MINORU ,  NAKANISHI TOSHIO

IPC分类号： H01L21/318

CPC分类号： H01L21/3185

公开(公告)号：EP1811562A4

公开(公告)日：2008-11-19

申请号：EP05787588

申请日：2005-09-30

申请人： TOKYO ELECTRON LTD ,  UNIV TOHOKU

发明人： KITAGAWA JUNICHI ,  OZAKI SHIGENORI ,  TERAMOTO AKINOBU ,  OHMI TADAHIRO

IPC分类号： H01L21/8247 ,  H01L21/318 ,  H01L27/115 ,  H01L29/51 ,  H01L29/788 ,  H01L29/792

CPC分类号： H01L29/792 ,  H01L21/28202 ,  H01L21/28273 ,  H01L29/513

摘要： [PROBLEMS] To provide a semiconductor storage device having excellent electrical characteristics (writing/erasing characteristics) by excellent nitrogen concentration profile of a gate insulating film and to provide a method for manufacturing such device. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] In a semiconductor device manufacturing method relating to a first embodiment of this invention, a method for manufacturing a semiconductor storage device which operates by transferring charges through a gate insulating film formed between a semiconductor substrate and a gate electrode includes a process of introducing oxynitriding species previously diluted by using a gas for plasma excitation into a plasma processing apparatus, generating the oxynitriding species by plasma, and forming an oxynitride film on the semiconductor substrate as the gate insulating film. The oxynitriding species contain an NO gas of 0.00001-0.01% to the total gas quantity introduced into the plasma processing apparatus.

摘要翻译： 本发明提供一种通过栅极绝缘膜的优异的氮浓度分布而具有优异的电特性（写入/擦除特性）的半导体存储装置，并提供用于制造该装置的方法。 用于解决问题的手段本发明的第一实施方式涉及的半导体装置的制造方法中，通过在半导体基板与栅电极之间形成的栅极绝缘膜转移电荷而工作的半导体存储装置的制造方法包括： 将通过使用用于等离子体激发的气体预先稀释的氮氧化物种引入到等离子体处理设备中，通过等离子体产生氮氧化物种，以及在作为栅极绝缘膜的半导体基板上形成氧氮化物膜。 对于导入等离子体处理装置的总气体量，氮氧化物质含有0.00001-0.01％的NO气体。

公开(公告)号：EP2284882A4

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：EP09758223

申请日：2009-05-22

申请人： UNIV TOHOKU NAT UNIV CORP ,  FOUND ADVANCEMENT INT SCIENCE

发明人： OHMI TADAHIRO ,  SUGAWA SHIGETOSHI ,  IMAI HIROSHI ,  TERAMOTO AKINOBU

IPC分类号： H05K1/02 ,  H01L23/12 ,  H01L23/66 ,  H01P3/08 ,  H05K3/46

CPC分类号： H05K1/0218 ,  H01L23/66 ,  H01L2223/6616 ,  H01L2223/6627 ,  H01L2223/6688 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/19032 ,  H01L2924/3011 ,  H05K1/025 ,  H05K1/0265 ,  H05K3/4652 ,  H05K2201/0191 ,  H05K2201/0352 ,  H05K2201/0715 ,  H05K2201/096 ,  H05K2201/09618 ,  H05K2201/09727 ,  H05K2201/09972 ,  H01L2924/00