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公开(公告)号：EP3260655B1
公开(公告)日：2019-07-31
申请号：EP17020249.3
申请日：2017-06-12
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公开(公告)号：EP3260655A1
公开(公告)日：2017-12-27
申请号：EP17020249.3
申请日：2017-06-12
CPC分类号： F04C27/009 , F01C19/125
摘要： Gegenstand der Erfindung ist eine Vakuumpumpe mit einem Pumpaggregat (1) mit einem Pumpengehäuse (3) und mit einem mit dem Pumpaggregat (1) verbundenen Antriebsmotor (4) mit einem Motorgehäuse (5), wobei im Pumpengehäuse (3) ein Schöpfraum (7) mit Einlass (8) und Auslass (9) ausgebildet ist, in dem mindestens ein Gasförderelement (10) auf einer Antriebswelle (11) angeordnet ist, wobei im Motorgehäuse (5) ein Antriebsraum (12) ausgebildet ist, in dem sich entsprechende Antriebsbauteile des Antriebsmotors (4), insbesondere ein Teil der mindestens einen Antriebswelle (11), befinden, wobei die mindestens eine Antriebswelle (11) sich aus dem Antriebsraum (12) in den Schöpfraum (7) erstreckt und im Motorgehäuse (5) am Übergang zum Pumpengehäuse (3) in einem Lagerabschnitt (13) drehbar gelagert ist, wobei der Antriebsraum (12) gegenüber dem Schöpfraum (7) gegen Durchtritt von Gas aus dem Schöpfraum (7) in den Antriebsraum (12) abgedichtet ist und dazu die mindestens eine Antriebswelle (11) zwischen dem Lagerabschnitt (13) und dem Schöpfraum (7) mittels einer Wellendichtungsanordnung (14) abgedichtet ist und wobei die Wellendichtungsanordnung (14) mit einer Sperrgasleitung (15) verbunden ist, über die ein Sperrgas unter Druck der Wellendichtungsanordnung (14) zuführbar ist. Diese ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Sperrgasüberwachung (17; 20) vorgesehen ist, durch die ein relevanter Parameter des Sperrgases erfassbar ist, dass eine Steuereinrichtung (18) vorgesehen ist, an die die Sperrgasüberwachung (17; 20) angeschlossen ist, und dass von der Steuereinrichtung (18) dann, wenn der von der Sperrgasüberwachung (17; 20) erfasste Parameter einen bestimmten Grenzwert über- oder unterschreitet, ein Steuersignal abgebbar und/oder eine Steuerfunktion für die Vakuumpumpe auslösbar ist.
摘要翻译： 本发明提供一种真空泵，其包括泵送单元（1）与泵壳体（3），并用与泵送单元（1）连接到所述驱动马达（4）具有马达壳体（5），其特征在于，所述泵壳体（3）的泵室（7） 与入口（8）和出口（9），被设置在在驱动轴（11）的至少一个气体输送元件（10），其特征在于，（5），形成在马达壳体中的驱动室（12）在相应的驱动部件所形成的 所述驱动马达（4），特别是所述至少一个驱动轴（11）的一部分的位置，其中，从所述驱动室（12）的所述至少一个驱动器轴（11）延伸到所述泵室（7）和在过渡到泵壳体的电机壳体（5） （3）在（13）可转动地安装在轴承部，其中，所述驱动室（12）的吸入室相反的（7），以防止气体的通道从吸入室（7）到所述驱动室（12）密封到所述至少一个致动器 通过一个轴密封组件的装置的轴承部（13）和吸入室（7）之间的轴（11）（14）是密封的，并且其中所述轴密封组件（14）被连接到阻隔气体管线（15），通过该密封气体（在压力下的轴密封组合件14 ）可以提供。 这是其特征在于，密封气体监测器（17; 20）设置，其是通过密封气体的相关参数可检测的，该控制装置（18）设置，向其中阻挡气体监测器（17; 20）连接，而的 （17; 20）时显示器的密封气体控制装置（18）感测到的参数为所述真空泵的控制功能被超过一定限度或低于，控制信号可以被发射和/或触发。
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公开(公告)号：EP2642127B1
公开(公告)日：2019-01-09
申请号：EP13002962.2
申请日：2011-06-06
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公开(公告)号：EP2423509A2
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：EP11006400.3
申请日：2011-08-04
IPC分类号： F04C29/02
CPC分类号： F04C25/02 , F04C11/005 , F04C18/12 , F04C18/16 , F04C29/0092 , F04C2220/12 , F04C2240/402
摘要： Dargestellt und beschrieben ist eine Vakuumpumpe (1), insbesondere eine Wälzkolben-, Klauen- oder Schraubenpumpe. Die Vakuumpumpe hat wenigstens einen Rotor (2, 3) als Pumpeinrichtung, der auf einer Welle (4, 5) angeordnet ist. Ferner hat die Vakuumpumpe (1) wenigstens einen Lager- und/oder Antriebsbereich (8, 9) für die Welle (4, 5) und wenigstens einen Schöpfraum (7). Bei einem Pumpvorgang ein Medium durch Rotation des Rotors (2, 3) von einem Einlass (10) des Schöpfraums (7) zu einem Auslass (11) des Schöpfraums (7) gefördert. Erfindungsgemäß ist wenigstens eine Gasfördereinrichtung (12, 13) vorgesehen. Diese ist ausgebildet zum Fördern des Mediums weg vom Lager- und/oder Antriebsbereich (8, 9) in Richtung zum Rotor (2, 3) und/oder zum Auslass (11) des Schöpfraums (7).
摘要翻译： 真空泵（1）具有作为泵单元的转子（2,3），用于轴的存储或驱动区域（8,9）和抽吸室（7）的轴（4,5）。 设置有气体输送单元（12,13），其被设计用于将介质沿着朝向转子或吸入室的出口的方向从存储或驱动区域输送。
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公开(公告)号：EP3531096A1
公开(公告)日：2019-08-28
申请号：EP19156423.6
申请日：2019-02-11
IPC分类号： G01L19/08
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Messung und Regelung eines Gasdrucks in einer geschlossenen Apparatur, wobei die Vorrichtung (1) Folgendes umfasst:
- eine Gasdruckmesseinrichtung (2) mit einem Gasdrucksensor (3),
- eine Bedieneinrichtung (4) und
- eine Verbindungseinrichtung (5) zur Verbindung der Gasdruckmesseinrichtung (2) mit der Bedieneinrichtung (4), so dass Daten von der Gasdruckmesseinrichtung (2) über die Verbindungseinrichtung (5) zur Bedieneinrichtung (4) übertragbar sind.
Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Gasdruckmesseinrichtung (2) und die Bedieneinrichtung (4) jeweils eine Schnittstelle (6, 7) aufweisen, die, insbesondere zur Durchführung einer Gasdruckmessung, mechanisch unmittelbar miteinander verbindbar sind, so dass Daten von der Schnittstelle (6) der Gasdruckmesseinrichtung (2) direkt zur Schnittstelle (7) der Bedieneinrichtung (4) übertragbar sind und dass, insbesondere zur Durchführung einer Gasdruckmessung, die Gasdruckmesseinrichtung (2) von der Bedieneinrichtung (4) derart separierbar ist, dass Daten von der Gasdruckmesseinrichtung (2) über die Verbindungseinrichtung (5) zur Bedieneinrichtung (4) übertragbar sind.-
公开(公告)号：EP2995922A1
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：EP15002064.2
申请日：2015-07-10
CPC分类号： G01L21/12 , G01L19/0627
摘要： Die Erfindung betrifft eine Gasdruckmessvorrichtung mit einem Gehäuse (1) mit einem von einer Gehäusewandung (2) begrenzten Innenraum (3), mindestens einer vom Innenraum (3) ausgehenden Durchgangsöffnung (4) in der Gehäusewandung (2) und mindestens einer im Innenraum (3) angeordneten, an der Gehäusewandung (2) angebrachten Gasdruckmessanordnung (5) und/oder einer an der Gehäusewandung (2) vorgesehenen Anbringungsposition (6) für eine im Innenraum (3) anzuordnende Gasdruckmessanordnung (5). Diese ist erfindungsgemäße dadurch gekennzeichnet, dass die Gehäusewandung (2) zumindest dort, wo sie den Innenraum (3) und die Durchgangsöffnung (4) begrenzt, aus mindestens zwei Schichten (7, 8) aufgebaut ist, dass eine innere, den Innenraum (3) und die Durchgangsöffnung (4) unmittelbar begrenzende Schicht (7) aus einem für korrosive Gase und Dämpfe widerstandsfähigen, also ein hohe chemische Beständigkeit sowie hohe Gas- und Diffusionsdichtigkeit aufweisenden Werkstoff besteht und dass eine äußere, vorzugsweise an die innere Schicht (7) unmittelbar angrenzende, aber den Innenraum (3) und die Durchgangsöffnung (4) nicht unmittelbar begrenzende Schicht (8) aus einem eine hohe Wärmleitfähigkeit aufweisenden Werkstoff besteht.
摘要翻译： 本发明涉及一种具有壳体（1）具有壳体中的一个的气体压力测量装置（2）从内部空间限定内部空间（3），至少一个（3）后期通道开口（4）在所述壳体（2）和至少一个（在内部3 ）设置（在壳体壁装2）气体压力测量装置（5）和/或（在外壳上2）旨在附接位置（6），用于一个（在内部3）是设置气体压力测量装置（5）。 根据本发明，这是其特征在于：所述壳体壁（2）至少其中的内部空间（3）和所述通道开口（4）由至少两个层限制（7,8）被构造成使得内部，所述内部（3 ）和所述通道开口（4）直接限制层（7）由对腐蚀性气体和蒸汽，从而具有高的耐化学性和高的气体和具有材料扩散密封性和一个外，优选耐（到内层7立即） 相邻的，但（3）内部和通路开口（4）不是直接限制层（8）由一个具有材料的高导热性的。
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公开(公告)号：EP2642127A1
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：EP13002962.2
申请日：2011-06-06
IPC分类号： F04C18/16 , F04C23/02 , F04C25/02 , F01C21/02 , F01C17/00 , F01C21/10 , F04C27/02 , F04C29/00 , F04C29/04 , H02K9/02 , H02K15/03 , H02K21/14
CPC分类号： F04C25/02 , F01C17/00 , F01C21/02 , F01C21/10 , F04C18/16 , F04C23/02 , F04C27/02 , F04C29/0078 , F04C29/0092 , F04C29/042 , F04C29/045 , F04C2230/20 , F04C2230/23 , F04C2230/24 , F04C2230/60 , F04C2230/601 , F04C2240/20 , F04C2240/40 , F04C2240/402 , F04C2240/51 , F04C2240/52 , F04C2240/60 , F05C2201/021
摘要： Die Offenbarung betrifft eine Vakuumpumpe, vorzugsweise mit einem Saugvermögen unter 50 m 3 /h, mit einem Schraubenpumpenaggregat mit zwei schraubenförmigen, in gegenseitigem Eingriff stehenden Rotoren in einem Schöpfraum eines Schraubenpumpenstators, der eine Saugseite mit einem Einlass und eine Druckseite mit einem Auslass aufweist. Die Vakuumpumpe hat einen Zwei-Wellen-Synchronantrieb mit zwei magnetisierten, sich nicht berührenden Zylindern, die auf die Rotoren tragenden Rotorwellen befestigt sind. Die Rotorwellen sind infolge der gegenseitigen magnetischen Wechselwirkung der beiden Zylinder gegenläufig synchronisierbar. Die Vakuumpumpe hat einen oder mehrere, die beiden Zylinder umgebende Wicklungen eines Motorstators, durch deren Bestromung wandernde Magnetfelder erzeugbar und die beiden Zylinder und damit die Rotorwellen gegenläufig synchron drehbar sind. Die Lagerung der beiden Rotorwellen ist nur am Antrieb vorgesehen, es ist also keine Lagerung auf der vom Antrieb fernen Seite des Schöpfraums vorhanden.
Offenbarungsgemäß ist zwischen dem Antrieb und dem Schöpfraum ein einteiliges oder mehrteiliges Gehäuselagerschild und antriebsseitig ein einteiliges oder mehrteiliges Motorlagerschild angeordnet. Am Gehäuselagerschild sind Mittel zur Positionierung des Schraubenpumpenstators und Mittel zur Positionierung des Motorlagerschildes vorgesehen sind. Das Gehäuselagerschild ist so ausgelegt, dass zumindest ein Teil dieser Mittel gleichzeitig zur Positionierung des Schraubenpumpenstators und des Motorlagerschildes dient.摘要翻译： 真空泵（1）具有电动机定子（12），该电动机定子（12）由围绕磁化气缸（11,11'）围绕的绕组组成，用于产生磁场，使得气缸和转子轴（6,6'）沿着相反的方向同步旋转 方向。 轴的固定轴承（13）设置在驱动部分（3）上，而不设置在远离驱动部分的吸入室（7“）侧。 泵单元（2）的压力侧搁置在转向驱动部分的室侧。 固定轴承和驱动部分保持在大气压下。
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