专利检索 ap:("centrotherm international AG") AND inv:"FUCHS, Jens-Uwe" 第 1 页

1.

发明公开
WERKSTÜCKTRÄGER, SYSTEM UND BETRIEBSVERFAHREN FÜR PECVD 审中-公开

公开(公告)号：EP4214352A1

公开(公告)日：2023-07-26

申请号：EP21790070.3

申请日：2021-09-14

申请人： centrotherm international AG

发明人： FUCHS, Jens-Uwe , TRÖLLER, Mirko , REIZE, Ralf , LEICHTLE, Roland

IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/509 , H01J37/32 , H01L21/687 , C23C16/46

2.

发明公开
VORRICHTUNG, SYSTEM UND VERFAHREN ZUR PLASMAUNTERSTÜTZTEN CHEMISCHEN GASPHASENABSCHEIDUNG 审中-公开

公开(公告)号：EP4214351A1

公开(公告)日：2023-07-26

申请号：EP21786758.9

申请日：2021-09-14

申请人： centrotherm international AG

发明人： TRÖLLER, Mirko , FUCHS, Jens-Uwe , REIZE, Ralf , LEICHTLE, Roland

IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/509 , H01J37/32 , H01L21/67