公开(公告)号：EP4291873A1

公开(公告)日：2023-12-20

申请号：EP22708482.9

申请日：2022-02-10

Applicant: trinamiX GmbH

Inventor： MUELLER, Felix Berno ,  KAESTEL, David ,  HORSAK, Andre ,  ISLAM, Samiul ,  KULKARNI, Sourabh ,  OEGUEN, Celal Mohan

IPC: G01N21/27 ,  G01J3/00 ,  H05B39/04

公开(公告)号：EP4483152A1

公开(公告)日：2025-01-01

申请号：EP23708710.1

申请日：2023-02-24

Applicant: trinamiX GmbH

Inventor： HORSAK, Andre ,  ZIMMERMANN, Henning ,  SCHMIDT, Felix ,  MUELLER, Felix Berno ,  KAESTEL, David ,  SIEBRECHT, Philipp ,  LOVRINCIC, Robert ,  KAELBLEIN, Daniel

IPC: G01J3/10 ,  G01J3/26 ,  G01J3/42 ,  G01J3/12 ,  G01N21/31 ,  G01N21/35 ,  G01J3/02 ,  G01N21/27 ,  G01J3/433 ,  G01N21/47

公开(公告)号：EP4430923A1

公开(公告)日：2024-09-18

申请号：EP22813316.1

申请日：2022-11-08

Applicant: trinamiX GmbH

Inventor： KAESTEL, David ,  SCHMIDT, Felix ,  MUELLER, Felix Berno

IPC: H05B47/20

CPC classification number: H05B47/20

公开(公告)号：EP4352472A1

公开(公告)日：2024-04-17

申请号：EP22732499.3

申请日：2022-06-07

Applicant: trinamiX GmbH

Inventor： SCHMIDT, Felix ,  MUELLER, Felix Berno ,  KAESTEL, David ,  CALABEK, Martin ,  ACKU, Uemit ,  OEGUEN, Celal Mohan

IPC: G01J3/10 ,  G01J3/02 ,  G01J3/433 ,  G01J3/42

CPC classification number: G01J3/10 ,  G01J3/0294 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/433 ,  G01J2003/433420130101 ,  G01J3/027 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/42

公开(公告)号：EP4097770A1

公开(公告)日：2022-12-07

申请号：EP21702270.6

申请日：2021-01-29

Applicant: trinamiX GmbH

Inventor： OEGUEN, Celal Mohan ,  SCHERWATH, Bernd ,  FEJES, Peter ,  MUELLER, Felix Berno

IPC: H01L31/09 ,  G01J5/24