公开(公告)号：EP2287593B1

公开(公告)日：2017-10-04

申请号：EP10008279.1

申请日：2010-08-09

申请人： Carl Zeiss OIM GmbH

发明人： Knupfer, Klaus-Georg ,  Beck, Rolf ,  Huss, Volker

IPC分类号： G01B11/25 ,  G01N21/88

CPC分类号： G01B11/25 ,  G01N21/8806

公开(公告)号：EP2531836A1

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：EP11705434.6

申请日：2011-02-01

申请人： Carl Zeiss OIM GmbH

发明人： BECK, Rolf

IPC分类号： G01N21/47 ,  G01N21/88 ,  G01B11/25

CPC分类号： G01N21/4738 ,  G01B11/245 ,  G01B11/25 ,  G01B11/2527 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N2021/8829 ,  H04N5/2256 ,  H04N7/18

摘要： A device for optically inspecting a test object with an at least partially reflective surface (22) has a camera (12) with a number of pixels (48) and an illuminating device (14) comprising a plurality of spatially distributed light sources (16). A workpiece receiving portion is used to position the test object relative to the illuminating device (14) and to the camera (12) such that light from the light sources (16) is reflected to the camera (12) via the surface (22). An analyzing and controlling unit (32) generates a series of different illumination patterns (38, 38'; 40) on the surface (22), wherein different light sources (16) are switched on in the course of the series. According to one aspect of the invention, an individual light origin region (60), which represents a spatial distribution of individual light contributions (56, 58) that the light sources (16) generate on at least one pixel (48) via the surface (22), is determined using the images for the at least one pixel (48), said images being received with the camera. Properties of the test object (20) are determined using the individual light origin region (60).

公开(公告)号：EP2287593A1

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：EP10008279.1

申请日：2010-08-09

申请人： Carl Zeiss OIM GmbH

发明人： Knupfer, Klaus-Georg ,  Beck, Rolf ,  Huss, Volker

IPC分类号： G01N21/88

CPC分类号： G01B11/25 ,  G01N21/8806

摘要： Eine Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (28) an einem Gegenstand (26) besitzt einen Mustergenerator (12), um variable Hell-Dunkel-Muster (16a, 16b) zu erzeugen. Die Oberfläche (28) beinhaltet eine Vielzahl von Oberflächenpunkten (54, 58, 62), die entlang einer Richtung verteilt sind. Eine Kamera (32) ist auf einen Teilabschnitt der Oberfläche (28) gerichtet. Eine Werkstückaufnahme (20) ist dazu ausgebildet, den Gegenstand (26) relativ zu der Kamera (32) in der Richtung zu bewegen, um die Oberflächenpunkte (54, 58, 62) zeitlich nacheinander mit der Kamera (32) zu erfassen. Eine Steuer- und Auswerteeinheit (34) ist dazu ausgebildet, den Mustergenerator (12), die Werkstückaufnahme (20) und die Kamera (32) so anzusteuern, dass jeder Oberflächenpunkt aus der Vielzahl der verteilten Oberflächenpunkte (54, 58, 62) mit einer Vielzahl verschiedener Hell-Dunkel-Muster (16a, 16b) aufgenommen wird, wobei der Mustergenerator (12) die verschiedenen Hell-Dunkel-Muster (16a, 16b) in einer zusammenhängenden zeitlichen Abfolge bereitstellt, und wobei die Kamera (32) während der zusammenhängenden zeitlichen Abfolge stets auf den gleichen Oberflächenpunkt (54, 58, 62) gerichtet ist, wobei die Hell-Dunkel-Muster (16a, 16b) jeweils einen Intensitätsverlauf (22) mit einer definierten und jeweils gleichen Periode (24) aufweisen, wobei mindestens drei Hell-Dunkel-Muster (16a, 16b) der Abfolge den gleichen Intensitätsverlauf (22) besitzen, und wobei die drei Hell-Dunkel-Muster (16a, 16b) sich dadurch unterscheiden, dass der Intensitätsverlauf (22) mit jeweils unterschiedlichen Phasenlagen angeordnet ist.

摘要翻译： 所述装置（10）具有用于产生形成的可变光照：黑暗样品图案发生器（12）。 一种照相机（32）被提供用于记录的图片，其中仅示出了表面（28）的截面。 强度处理（22）被布置成与不同的相位位置。 因此独立claimsoft被包括用于在一个表面的光学检查在制品的方法。

公开(公告)号：EP2236979A3

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：EP10003123.6

申请日：2010-03-24

申请人： Carl Zeiss OIM GmbH

发明人： Knupfer, Klaus-Georg

IPC分类号： G01B11/25 ,  G01N21/88

CPC分类号： G01B11/2513 ,  G01B11/2518 ,  G01B2210/52 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8829

摘要： Zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche (52) an einem Gegenstand (50) wird ein Muster (28) mit einer Vielzahl von helleren und dunkleren Bereichen (30, 32) bereitgestellt. Die helleren und dunkleren Bereiche bilden mindestens einen ersten räumlichen Intensitätsverlauf (34, 36) mit einer ersten räumlichen Periode. Der Gegenstand mit der Oberfläche wird relativ zu dem Muster um eine definierte Schiebedistanz verschoben, wobei der erste Intensitätsverlauf auf die Oberfläche fällt. Dabei nimmt die Oberfläche entlang der Schiebedistanz eine Vielzahl von unterschiedlichen Positionen relativ zu dem ersten Intensitätsverlauf ein. Es wird eine Vielzahl von Bildern über zumindest einen Bildsensor (40) aufgenommen, der eine Lichtstärke erfasst wobei die Bilder die Oberfläche mit dem ersten Intensitätsverlauf an den unterschiedlichen Positionen zeigen. In Abhängigkeit von den Bildern werden Eigenschaften der Oberfläche bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird die Lichtstärke des ersten Intensitätsverlaufs (34, 36) beim Aufnehmen von mindestens einem der Bilder mit einer definierten Charakteristik (82) variiert. (Fig. 1)

公开(公告)号：EP2251639B1

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：EP10004908.9

申请日：2010-05-10

申请人： Carl Zeiss OIM GmbH

发明人： Knupfer, Klaus-Georg ,  Reimann, Joachim ,  Beck, Rolf

IPC分类号： G01B11/25 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95

CPC分类号： G01B11/2518 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8829

公开(公告)号：EP2391884A1

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：EP09810743.6

申请日：2009-12-23

申请人： Carl Zeiss OIM GmbH

发明人： REIMANN, Joachim ,  HUSS, Volker ,  SCHÖLLKOPF, Volker ,  KNUPFER, Klaus-Georg

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/15

CPC分类号： G01N21/8806 ,  G01N21/15 ,  G01N21/9515 ,  G01N2021/151 ,  G01N2021/1772 ,  G01N2021/1774 ,  G01N2021/8812 ,  G01N2021/8816 ,  G01N2021/8835 ,  G01N2201/0245 ,  G01N2201/0614 ,  G01N2201/0626 ,  G01N2201/0634 ,  G01N2201/0694

摘要： The invention relates to a device for optically inspecting an at least partially reflecting surface of an item, having a first and at least one second crossbeam (12, 14) each forming a section (32) largely in the shape of a circular segment. The crossbeams (12, 14) are disposed at a longitudinal distance (D) from one another, defining a longitudinal axis (17). The two crossbeams (12, 14) are held at the longitudinal distance (D) by means of a plurality of longitudinal beams (16). The longitudinal beams (16) are disposed at a defined radial distance (38) from the sections (32) in the shape of circular segments. The crossbeams (12, 14) support a light-transparent diffusing screen (34) forming a tunnel-shaped inspection space (36). A plurality of light sources (48) are disposed outside of the tunnel-shaped inspection space (36) behind the diffusing screen, said sources being controllable individually or in small groups in order to generate variable light-dark patterns (90) on the diffusing screen. At least one camera (74, 78) is set up in the tunnel-shaped inspection space (36).

公开(公告)号：EP2251639A1

公开(公告)日：2010-11-17

申请号：EP10004908.9

申请日：2010-05-10

申请人： Carl Zeiss OIM GmbH

发明人： Knupfer, Klaus-Georg ,  Reimann, Joachim ,  Beck, Rolf

IPC分类号： G01B11/25 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95

CPC分类号： G01B11/2518 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8829

摘要： Zum optischen Inspizieren eines Gegenstandes (14) wird eine Vorrichtung (10) bereitgestellt, die ein Trägerelement (20) aufweist. Das Trägerelement ist um eine Drehachse (28) drehbar gelagert, die eine Drehrichtung (26) definiert. An dem Trägerelement ist eine Anzahl von Lichtquellen (30) angeordnet, die eine Anordnung (32) von Lichtquellen bilden. Eine Bildaufnahmeeinheit (34) dient zum Aufnehmen einer Anzahl von Bildern von dem Gegenstand. Weiter bestimmt eine Auswerte- und Steuereinheit (36) anhand der Bilder Eigenschaften des Gegenstandes. Das Trägerelement definiert bei einer Drehung in der Drehrichtung einen Inspektionsraum (44) zur Aufnahme des Gegenstandes. Ferner definiert die Anordnung bei der Drehung eine Mantelfläche (42) mit einer ersten Quererstreckung (46) in Drehrichtung. Die Anordnung besitzt eine zweite Quererstreckung (104) in Drehrichtung. Die zweite Quererstreckung ist kleiner als die erste Quererstreckung der Mantelfläche. Die Auswerte- und Steuereinheit (36) ist dazu ausgebildet, die Lichtquellen in Abhängigkeit von einer momentanen Drehposition des Trägerelements zu steuern, um auf der gesamten Mantelfläche ein variables Hell-Dunkel-Muster (49) mithilfe der Lichtquellen zu erzeugen.

摘要翻译： 该光学检测装置（10）具有一个支承元件（18），其被支撑围绕旋转轴线（28），它定义了一个旋转方向（26）。 多个光源（30）被布置在承载元件上，并形成光源装置（32）。 成像单元（34）被提供用于记录所述对象（14）的多个图像。 评估和控制单元（36）被提供用于确定性采矿的对象的特性的图像的基础上。 因此独立claimsoft包括用于物体的光学检查的方法。

公开(公告)号：EP2221609A3

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：EP10001174.1

申请日：2010-02-05

申请人： Carl Zeiss OIM GmbH

发明人： Knupfer, Klaus-Georg

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01B11/25

CPC分类号： G01N21/8806 ,  G01B11/2513 ,  G01N2021/8829

摘要： Zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (32) an einem Gegenstand (26) wird ein erstes Muster mit einer Vielzahl von helleren und dunkleren Bereichen bereitgestellt, die einen ersten Intensitätsverlauf mit einer ersten Periode bilden. Der Gegenstand (26) wird mit der Oberfläche (32) relativ zu dem Muster positioniert. Dies geschieht auf eine Weise, so dass der erste Intensitätsverlauf auf die Oberfläche (32) fällt. Anschließend wird der erste Intensitätsverlauf relativ zu der Oberfläche (32) um eine definierte Schiebedistanz (126) verschoben. Entlang dieser Schiebedistanz (126) kann die Oberfläche (32) eine Vielzahl von unterschiedlichen Positionen relativ zu dem ersten Intensitätsverlauf einnehmen. Es werden zudem eine Vielzahl von Bildern aufgenommen, die die Oberfläche (32) mit dem ersten Intensitätsverlauf an den jeweils unterschiedlichen Positionen zeigen. Anhand dieser Bilder werden Eigenschaften der Oberfläche (32) bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung weist das erste Muster eine Rotationssymmetrie relativ zu einem definierten Ursprungspunkt auf.

公开(公告)号：EP2237026A1

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：EP10003246.5

申请日：2010-03-26

申请人： Carl Zeiss OIM GmbH

发明人： Knupfer, Klaus-Georg ,  Huss, Volker ,  Kimmig, Wolfgang ,  Beck, Rolf

IPC分类号： G01N21/88

CPC分类号： G01B11/2518 ,  G01N21/956

摘要： Eine Vorrichtung (10) zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (58) an einem Gegenstand (56) besitzt ein Muster (28), das mit einer Vielzahl von helleren und dunkleren Bereichen (29, 30) ausgebildet ist. Die helleren und dunkleren Bereiche bilden einen ersten räumlichen Intensitätsverlauf (31) mit einer ersten räumlichen Periode. Ferner weist die Vorrichtung eine Aufnahme (54) zum Positionieren des Gegenstandes mit der Oberfläche (58) relativ zu dem Muster (28) auf. Das Positionieren erfolgt derart, dass der erste Intensitätsverlauf auf die Oberfläche fällt. Es ist weiter eine Steuereinheit (20) vorgesehen, die ein Verschieben des ersten Intensitätsverlaufs relativ zu der Oberfläche um eine definierte Schiebedistanz ermöglicht. Dabei nimmt die Oberfläche entlang der Schiebedistanz eine Vielzahl von unterschiedlichen Positionen relativ zu dem ersten Intensitätsverlauf ein. Eine Bildaufnahmeeinheit (50) ermöglicht ein Aufnehmen einer Vielzahl von Bildern, die die Oberfläche mit dem ersten Intensitätsverlauf an den unterschiedlichen Positionen zeigen. Weiter ist eine Auswerteeinheit (46) vorgesehen, die Eigenschaften der Oberfläche in Abhängigkeit von den Bildern bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung ist eine Messeinheit (48) vorgesehen, die die Momentanposition des ersten Intensitätsverlaufs relativ zu dem Gegenstand (56) erfasst.

摘要翻译： 装置（10）具有用于相对于样本（28）定位具有表面积（58）的物体（56）的调节器（54）和从表面区域落下的强度曲线（31）。 控制单元（20）沿着相对于强度曲线的可变位置的滑动距离相对于表面区域调节强度曲​​线。 提供了一种用于容纳可变图像的图像采集装置（50），并且包括具有可变位置上的强度曲线的表面区域。 评估单元（46）根据图像分配表面积上的特征。

公开(公告)号：EP2236979A2

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：EP10003123.6

申请日：2010-03-24

申请人： Carl Zeiss OIM GmbH

发明人： Knupfer, Klaus-Georg

IPC分类号： G01B11/25 ,  G01N21/88

CPC分类号： G01B11/2513 ,  G01B11/2518 ,  G01B2210/52 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8829

摘要： Zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche (52) an einem Gegenstand (50) wird ein Muster (28) mit einer Vielzahl von helleren und dunkleren Bereichen (30, 32) bereitgestellt. Die helleren und dunkleren Bereiche bilden mindestens einen ersten räumlichen Intensitätsverlauf (34, 36) mit einer ersten räumlichen Periode. Der Gegenstand mit der Oberfläche wird relativ zu dem Muster um eine definierte Schiebedistanz verschoben, wobei der erste Intensitätsverlauf auf die Oberfläche fällt. Dabei nimmt die Oberfläche entlang der Schiebedistanz eine Vielzahl von unterschiedlichen Positionen relativ zu dem ersten Intensitätsverlauf ein. Es wird eine Vielzahl von Bildern über zumindest einen Bildsensor (40) aufgenommen, der eine Lichtstärke erfasst wobei die Bilder die Oberfläche mit dem ersten Intensitätsverlauf an den unterschiedlichen Positionen zeigen. In Abhängigkeit von den Bildern werden Eigenschaften der Oberfläche bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird die Lichtstärke des ersten Intensitätsverlaufs (34, 36) beim Aufnehmen von mindestens einem der Bilder mit einer definierten Charakteristik (82) variiert. ( Fig. 1 )

摘要翻译： 该方法包括提供具有多个较亮和较暗的区域（30,32），其形成有一个空间周期的空间强度序列（34,36）的样品（28）。 物体（50）被定位成与表面（52）相对于测试所做的强度下降的序列在表面处的样品。 因此独立权利要求中包括了以下内容：在在对象的部分反射表面的光学检测（1）的装置; 和（2）的计算机程序具有程序代码。