PASSIVE COMPONENT
    3.
    发明公开
    PASSIVE COMPONENT 审中-公开
    无源元件

    公开(公告)号:EP1222669A1

    公开(公告)日:2002-07-17

    申请号:EP01933981.1

    申请日:2001-05-16

    IPC分类号: H01C17/26

    摘要: The passive component (1) has a first part (22) of a material with a first resistance value, which value can be lowered to a second value by laser trimming. The second value is at most one tenth of the first value and preferably less. Said material crystallizes in a laser trimming process, which locally heats the material to at least a transition temperature. Said material contains at least two different elements, which are preferably aluminum and germanium. The passive component (1) may be, for example, a resistor or a capacitor and may be part of a thin-film network of resistors, capacitors and/or inductors. In a resistor, it is preferred to have a second part (4) which contains a different resistance material with a resistance value lower than the first value and preferably higher than the second value.

    Procédé de modification du dopage d'une couche de silicium
    6.
    发明公开
    Procédé de modification du dopage d'une couche de silicium 失效
    改变硅层掺杂的方法

    公开(公告)号:EP0766293A3

    公开(公告)日:1997-04-16

    申请号:EP96410099.4

    申请日:1996-09-24

    摘要: L'invention concerne un procédé de modification du dopage d'une région ou couche de silicium dopé, comprenant les étapes consistant à revêtir la région ou couche de silicium (11) d'une couche de siliciure d'un métal réfractaire (14) ; et à chauffer la région d'interface entre le silicium et le siliciure à une température choisie. Application à la fabrication d'une résistance ajustable ou d'un transistor MOS à tension de seuil ajustable.

    摘要翻译: 一种改变掺杂硅区域或层的掺杂的方法,包括以下步骤:用难熔金属(14)的硅化物层涂覆硅区域或层(11); 以及在选定温度下加热硅和硅化物之间的界面区域。 应用于制造可调电阻器或阈值电压可调的MOS晶体管。

    Procédé de modification du dopage d'une couche de silicium
    7.
    发明公开
    Procédé de modification du dopage d'une couche de silicium 失效
    Verfahren zurÄnderungder Dotierung einer Silizium-Schicht

    公开(公告)号:EP0766293A2

    公开(公告)日:1997-04-02

    申请号:EP96410099.4

    申请日:1996-09-24

    摘要: L'invention concerne un procédé de modification du dopage d'une région ou couche de silicium dopé, comprenant les étapes consistant à revêtir la région ou couche de silicium (11) d'une couche de siliciure d'un métal réfractaire (14) ; et à chauffer la région d'interface entre le silicium et le siliciure à une température choisie.
    Application à la fabrication d'une résistance ajustable ou d'un transistor MOS à tension de seuil ajustable.

    摘要翻译: 修改从多个掺杂的硅区域或多个层选择的区域的掺杂的方法包括用难熔金属硅化物层(14)涂覆硅区域或层(11),然后加热所选择的硅区域和 硅化物为750-1050摄氏度。硅是单晶或多晶硅,硅化物是硅化钛。 还声称使用上述过程(i)产生。 通过用硅化物(14a,14b)涂覆硅区域或层(11)的端部并加热硅和硅化物之间的界面区域来形成可调电阻器; 和(ii)产品。 通过形成具有栅极区域的MOS晶体管的可调阈值电压MOS晶体管,栅极区包括栅极绝缘层,多晶硅和硅化钛区域,并加热硅与硅化物之间的界面区域。