公开(公告)号：EP3163609B1

公开(公告)日：2024-09-11

申请号：EP15827897.8

申请日：2015-07-22

IPC分类号： H01L21/60 ,  H01L23/485 ,  H01L25/16 ,  H01G2/06

CPC分类号： H01L2224/1120130101 ,  H01L2224/4809120130101 ,  H01L2224/7320420130101 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L2224/034520130101 ,  H01L2224/0345220130101 ,  H01L2224/040120130101 ,  H01L2224/0404220130101 ,  H01L2224/0555720130101 ,  H01L2224/0557120130101 ,  H01L2224/0562420130101 ,  H01L2224/0564720130101 ,  H01L2224/4822720130101 ,  H01L2224/7320720130101 ,  H01L2224/7574520130101 ,  H01L2224/8119120130101 ,  H01L2224/9212520130101 ,  H01L2924/18120130101 ,  H01G2/065 ,  H01L2224/7574420130101 ,  H01L24/03 ,  H01L2924/1910420130101 ,  H01L2224/1622720130101 ,  H01L25/16 ,  H01L24/81 ,  H01L24/11 ,  H01L2224/1626820130101 ,  H01L2224/1314420130101 ,  H01L2224/1313920130101 ,  H01L2224/1314720130101 ,  H01L2224/1315520130101 ,  H01L2224/1312420130101 ,  H01L2224/1316620130101 ,  H01L2224/8120320130101 ,  H01L2224/8120520130101 ,  H01L2224/8119320130101 ,  H01L2224/1302320130101 ,  H01L2224/1364420130101 ,  H01L2224/1361120130101 ,  H01L2224/1364720130101 ,  H01L2224/1365520130101 ,  H01L2224/1366420130101 ,  H01L2224/8180120130101 ,  H01L2224/113420130101 ,  H01L2924/1904120130101 ,  H01L2924/1904220130101 ,  H01L2924/1904320130101